一种SPV硅片少子寿命检测系统技术方案

本实用新型专利技术涉及硅片检测技术领域，尤其为一种SPV硅片少子寿命检测系统，包括测量模块、信号处理模块、控制模块和基座，所述基座上固定设有承载平台，所述承载平台端面中心处固定设有内嵌有光电传感器，所述光电传感器的上方并且位于承载平台的端面上设有硅片，所述硅片的上方设有红外光源，所述红外光源的安装在固定架上，所述固定架设置在基座的端面上，所述固定架上并且位于红外光源的同侧设有静电耦合传感器，所述基座的端面上并且位于固定架的左上侧固定设有LCD触摸屏安装架，所述LCD触摸屏安装架上安装有LCD触摸屏，本实用新型专利技术通过设计检测系统具有无接触、抗干扰能力强、故障率低、操作方便、维护成本低、快速、准确等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种SPV硅片少子寿命检测系统
本技术涉及硅片检测
，具体为一种SPV硅片少子寿命检测系统。
技术介绍
随着微电子技术、太阳能电池技术的发展，半导体硅片在各个领域的需求日益增长，同时对半导体企业的硅片生产工艺提出了更高的要求。少子寿命是半导体材料和器件的重要参数，它直接反映了材料的质量和器件特性，能够准确的得到这个参数，对于半导体器件制造具有重要意义。测量硅片的少子寿命可以为制造半导体器件、太阳能电池片等半导体产品提供原始依据，以满足微电子、光伏产业或者其他客户的技术指标。目前测量半导体硅片少子寿命的有多种方法，主要有：直流光电导衰减法；高频光电导衰减法；微波光电导衰减法；表面光电压法等。对于不同的测试方法，测试结果可能会有出入，因为不同的注入方法，表面状况的不同，探测和算法等也各不相同。因此少子寿命没有绝对的精度概念，只有重复性，分辨率的概念。对于同一样品，不同测试方法之间需要作对比试验。SPV法相对于其它方法，有如下特点：无接触、无损伤、快速测试、即可以测试P型材料也可以测试N型材料、对测试样品厚度没有特殊要求。<br>另外，目前市场本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种SPV硅片少子寿命检测系统，包括测量模块(1)、信号处理模块(2)、控制模块(3)和基座(133)，其特征在于：所述基座(133)上固定设有承载平台(132)，所述承载平台(132)端面中心处固定设有内嵌有光电传感器(134)，所述光电传感器(134)的上方并且位于承载平台(132)的端面上设有硅片(131)，所述硅片(131)的上方设有红外光源(111)，所述红外光源(111)的安装在固定架(141)上，所述固定架(141)设置在基座(133)的端面上，所述固定架(141)上并且位于红外光源(111)的同侧设有静电耦合传感器(121)，所述基座(133)的端面上并且位于固定架(141...

【技术特征摘要】
1.一种SPV硅片少子寿命检测系统，包括测量模块(1)、信号处理模块(2)、控制模块(3)和基座(133)，其特征在于：所述基座(133)上固定设有承载平台(132)，所述承载平台(132)端面中心处固定设有内嵌有光电传感器(134)，所述光电传感器(134)的上方并且位于承载平台(132)的端面上设有硅片(131)，所述硅片(131)的上方设有红外光源(111)，所述红外光源(111)的安装在固定架(141)上，所述固定架(141)设置在基座(133)的端面上，所述固定架(141)上并且位于红外光源(111)的同侧设有静电耦合传感器(121)，所述基座(133)的端面上并且位于固定架(141)的左上侧固定设有LCD触摸屏安装架(4)，所述LCD触摸屏安装架(4)上安装有LCD触摸屏(32)，所述测量模块(1)包括脉冲信号发生器(151)和放大电路(152)，所述信号处理模块(2)包括第一信号处理单元(21)和第二信号处理单元(22)，所述控制模块(3)包括微处理器(31)，模/数与数/模转换处理器(33)。


2.根据权利要求1所述的一种SPV硅片少子寿命检测系统，其特征在于：所述红外光源(111)、静电耦合传感器(121)和光电传感器(134)均为测量模块(1)中的检测感应...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱洪伟，曹伟兵，
申请(专利权)人：上海柏凌电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31