表贴式压电微泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种表贴式压电微泵，泵体内入流沉腔和中心沉腔通过进液孔连通，中心沉腔和出流沉腔通过排液孔连通。泵体下表面的入出液口与入出流沉腔连通；压电振子安装在泵体上表面，压电振子底电极和顶电极分别通过导电通道从泵体下表面引出；泵体上表面设有将外露的底电极、顶电极和导电通道上端覆盖的绝缘层。在泵体上表面设有顶盖，顶盖将压电振子和泵体上表面封盖，顶盖和泵体上表面之间形成气压平衡腔，在入流沉腔与气压平衡腔之间之间设有气压平衡通道。泵体由四块设有孔道和型腔的基板构成。本压电微泵方便加工，具有体积小、重量轻、封装接口一体化集成、输出流量大、适于封闭流体回路的特点。

【技术实现步骤摘要】
表贴式压电微泵
本技术涉及压电微泵，具体涉及一种表贴式压电微泵，属于微电子机械系统、流体驱动、微系统液冷散热以及生物医疗等

技术介绍
近年来，随着微机电系统（MEMS）技术快速发展，压电微泵因其体积小、功耗低、输出压力高等独特优势在热管理、生物医疗等
受到广泛关注。例如，2016年电子科技大学罗文博等人在公开的专利技术专利（中国专利公开号为CN105977370，专利技术名称为“一种基于压电微泵的嵌入式制冷器件及其制备方法”）中提出了一种集成压电微泵的嵌入式制冷器件及其制备方法，以解决高密度集成微系统的一体化热管理技术问题，该专利技术专利提出了利用微加工工艺在每个发热芯片下方制作微流道和压电微泵，该压电微泵的压电陶瓷片置于压电微泵外表面，并采用了扩散/收缩管的无阀结构，属于一种传统的压电微泵。实际上，早在上世纪九十年代，压电微泵技术就得到了极为广泛的研究；例如，1995年，Gerlach和Wurmus两人发表的题为“Workingprincipleandperformanceofthedynamicmicropump”论文就提出本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.表贴式压电微泵，包括泵体、进液阀片、排液阀片、压电振子，所述泵体内设有中心沉腔、入流沉腔和出流沉腔，中心沉腔位于入流沉腔和出流沉腔上方，入流沉腔和中心沉腔通过进液孔连通，中心沉腔和出流沉腔之间通过排液孔连通；进液阀片安装在中心沉腔底部并将进液孔封盖，排液阀片安装在出流沉腔底部并将排液孔封盖；在泵体下表面分别设有入液口和出液口；入液口与入流沉腔连通，出液口与出流沉腔连通；压电振子安装在泵体上表面并位于中心沉腔正上方；压电振子下表面和泵体上表面之间设有底电极，压电振子上表面设有顶电极；其特征在于：底电极和顶电极分别通过泵体内竖直设置的导电通道从泵体下表面引出；泵体上表面设有绝缘层，绝缘层将外露...

【技术特征摘要】
1.表贴式压电微泵，包括泵体、进液阀片、排液阀片、压电振子，所述泵体内设有中心沉腔、入流沉腔和出流沉腔，中心沉腔位于入流沉腔和出流沉腔上方，入流沉腔和中心沉腔通过进液孔连通，中心沉腔和出流沉腔之间通过排液孔连通；进液阀片安装在中心沉腔底部并将进液孔封盖，排液阀片安装在出流沉腔底部并将排液孔封盖；在泵体下表面分别设有入液口和出液口；入液口与入流沉腔连通，出液口与出流沉腔连通；压电振子安装在泵体上表面并位于中心沉腔正上方；压电振子下表面和泵体上表面之间设有底电极，压电振子上表面设有顶电极；其特征在于：底电极和顶电极分别通过泵体内竖直设置的导电通道从泵体下表面引出；泵体上表面设有绝缘层，绝缘层将外露的底电极、顶电极和导电通道上端部覆盖；
在泵体上表面设有顶盖，顶盖将压电振子封盖的同时将至少部分泵体上表面一起封盖，顶盖和压电振子及被封盖的泵体上表面之间的空腔形成气压平衡腔，在入流沉腔与气压平衡腔之间或者出流沉腔与气压平衡腔之间设有连通两者的气压平衡通道。


2.根据权利要求1所述的表贴式压电微泵，其特征在于：所述顶盖由下表面具有顶部沉腔的基板一构成，泵体由从上往下的基板二、基板三、基板四和基板五组装而成；其中基板二下表面设有主型腔、上下贯穿的气压平衡孔和导电通孔；基板三设有上下贯穿的气压平衡孔、导电通孔、排液孔以及局部减薄形成的悬臂结构的进液阀片，进液阀片下表面与基板三下表面平齐；基板四下表面设有入流沉腔、出流沉腔、上下贯穿的气压平衡孔、导电通孔、进液孔以及在出流沉腔底部减薄形成的悬臂结构的排液阀片，入流沉腔或者出流沉腔与基板四上的气压平衡孔通过通道连通，排液阀片上表面与基板四上表面平齐；基板五上设有上下贯穿的入液口、出液口和导电通孔；基板二、基板三和基板四上的气...

【专利技术属性】
技术研发人员：余怀强，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二十六研究所，
类型：新型
国别省市：重庆;50