【技术实现步骤摘要】
单晶炉自动定量真空加料系统
本技术属于单晶炉加料
,具体涉及一种单晶炉自动定量真空加料系统。
技术介绍
单晶硅棒的生产,需要在高温和真空状态下连续加料,且要求生成的硅棒拉起的速率和原料添加的速率相一致,目前国内一般用人工加料的方法,不但耗费人力,还难以控制精度,以影响产品质量,所以,我们提出一种单晶炉自动定量真空加料系统,以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种单晶炉自动定量真空加料系统,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种单晶炉自动定量真空加料系统,包括储料罐,所述储料罐的上端设置计量仓,所述计量仓的上方设置加料仓,所述加料仓的底部设置第一气动真空蝶阀和第二气动真空蝶阀,所述加料仓的侧面卡接吸料管,所述吸料管的另一端卡接储料罐,所述加料仓的顶部卡接吸气管,所述吸气管的另一端卡接过滤器,所述过滤器通过连接管连通旋涡气泵,所述吸料管和吸气管的一端及与加料仓连接的一端均设置控制阀,所述储料罐内设置主料加料模块,所述计量仓内设置小料加料模块,所述加料仓内设置真空上料模块,所述主料加料模块、小料加料模块和真空上料模块均电性连接PLC控制器,所述PLC控制器电性连接控制屏。优选的,所述过滤器的上方设置反吹模块,所述过滤器通过螺栓固定安装在旋涡气泵的一侧。优选的,所述计量仓的底部设置出料口,所述计量仓的出料口连接单晶炉,所述计量仓的容量设置为L。优选的,所述吸料管连通加料仓和储料罐,所述吸气管连通加料仓和过滤器。 ...
【技术保护点】
1.一种单晶炉自动定量真空加料系统,包括储料罐(1),其特征在于:所述储料罐(1)的上端设置计量仓(2),所述计量仓(2)的上方设置加料仓(3),所述加料仓(3)的底部设置第一气动真空蝶阀(4)和第二气动真空蝶阀(16),所述加料仓(3)的侧面卡接吸料管(5),所述吸料管(5)的另一端卡接储料罐(1),所述加料仓(3)的顶部卡接吸气管(7),所述吸气管(7)的另一端卡接过滤器(8),所述过滤器(8)通过连接管(9)连通旋涡气泵(10),所述吸料管(5)和吸气管(7)的一端及与加料仓(3)连接的一端均设置控制阀(11),所述储料罐(1)内设置主料加料模块(12),所述计量仓(2)内设置小料加料模块(13),所述加料仓(3)内设置真空上料模块(14),所述主料加料模块(12)、小料加料模块(13)和真空上料模块(14)均电性连接PLC控制器(15),所述PLC控制器(15)电性连接控制屏(6)。/n
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉自动定量真空加料系统,包括储料罐(1),其特征在于:所述储料罐(1)的上端设置计量仓(2),所述计量仓(2)的上方设置加料仓(3),所述加料仓(3)的底部设置第一气动真空蝶阀(4)和第二气动真空蝶阀(16),所述加料仓(3)的侧面卡接吸料管(5),所述吸料管(5)的另一端卡接储料罐(1),所述加料仓(3)的顶部卡接吸气管(7),所述吸气管(7)的另一端卡接过滤器(8),所述过滤器(8)通过连接管(9)连通旋涡气泵(10),所述吸料管(5)和吸气管(7)的一端及与加料仓(3)连接的一端均设置控制阀(11),所述储料罐(1)内设置主料加料模块(12),所述计量仓(2)内设置小料加料模块(13),所述加料仓(3)内设置真空上料模块(14),所述主料加料模块(12)、小料加料模块(13)和真空上料模块(14)均电性连接PLC控制器(15),所述PLC控制器(15)电性连接控制屏(6)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统,其特征在于:...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄蕾,包应正,
申请(专利权)人:无锡港晖电子有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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