【技术实现步骤摘要】
一种充分搅拌抛光液配置装置
本技术涉及抛光液配置,尤其涉及一种充分搅拌抛光液配置装置。
技术介绍
抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂,抛光液具有良好的去油污,防锈,清洗和增光性能。性能稳定、无毒,对环境无污染等优点。在半导体抛光液中通常具有悬浮颗粒,用来提高抛光效果,但是需要颗粒在抛光液中分布均匀。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服现有技术中存在的不足,提供一种充分搅拌抛光液配置装置。本技术是通过以下技术方案予以实现:一种充分搅拌抛光液配置装置,包括上支架、下支架、滚筒、搅拌轴和电机,所述电机安装在上支架中,所述电机的输出轴连接搅拌轴,所述搅拌轴设有主齿轮,所述滚筒设有中心轴,所述中心轴通过轴承连接下支架,所述滚筒设有内齿圈,所述主齿轮和内齿圈之间设有多个从动齿轮,所述从动齿轮同时与主齿轮和内齿圈啮合,所述从动齿轮安装在上支架的固定轴上。根据上述技术方案,优选地,所述滚筒内壁设有多个挡板,多个所述挡板在圆周内壁中均匀分布。本技术的有益效果是:当电机启 ...
【技术保护点】
1.一种充分搅拌抛光液配置装置,其特征在于:包括上支架、下支架、滚筒、搅拌轴和电机,所述电机安装在上支架中,所述电机的输出轴连接搅拌轴,所述搅拌轴设有主齿轮,所述滚筒设有中心轴,所述中心轴通过轴承连接下支架,所述滚筒设有内齿圈,所述主齿轮和内齿圈之间设有多个从动齿轮,所述从动齿轮同时与主齿轮和内齿圈啮合,所述从动齿轮安装在上支架的固定轴上。/n
【技术特征摘要】
1.一种充分搅拌抛光液配置装置,其特征在于:包括上支架、下支架、滚筒、搅拌轴和电机,所述电机安装在上支架中,所述电机的输出轴连接搅拌轴,所述搅拌轴设有主齿轮,所述滚筒设有中心轴,所述中心轴通过轴承连接下支架,所述滚筒设有内齿圈,所述主齿轮和内齿...
【专利技术属性】
技术研发人员:伊观兰,
申请(专利权)人:天津西美科技有限公司,
类型:新型
国别省市:天津;12
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