【技术实现步骤摘要】
一种传感器复用的多通道负压检测系统
本技术涉及半导体生产领域，具体涉及一种传感器复用的多通道负压检测系统。
技术介绍
半导体生产过程中产生的废气多为有毒有害气体，对人体和环境危害严重。随着半导体行业的日益繁荣，产能激增，半导体厂商由于企业内部设施的限制对废气处理设备有更多各类需求，对处理效率有更高要求。在半导体尾气处理设备中，负压检测是一项及其重要的参数，可以直观的反应了设备运行状况。半导体废气处理设备上一般装有数量繁多的负压检测传感器，浪费了大量的盘内空间，而且管路连接杂乱，不方便维护更换。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种传感器复用的多通道负压检测系统，以解决现有技术中负压检测装置线路繁杂，占空间大的问题。所述的一种传感器复用的多通道负压检测系统，包括阀岛、负压传感器和废气处理设备，所述阀岛包括气路板和多个电磁阀，所述气路板设有多个通道，所述电磁阀通过螺钉安装在气路板上，所述电磁阀的进气口与气路板的通道的出口连接，所述气路板的通道的入口连接有气管，多个所述电磁阀共用一个出气口，所述出气口连接负压传感器。优选的，所述废气处理设备上设有多个侦测口，所述气管连接到各个侦测口。优选的，所述阀岛通过现场总线连接PLC，所述负压传感器与PLC电性连接。优选的，所述废气处理设备包括降温系统，所述降温系统与PLC连接。优选的，每个所述电磁阀上均设有手动开关。本技术的优点在于：使用阀岛，管路连接方便，仅需要一个负压传感器，就可以进行多通道检测，操作简单，方便维护，...
【技术保护点】
1.一种传感器复用的多通道负压检测系统，其特征在于：包括阀岛(1)、负压传感器(2)和废气处理设备，所述阀岛(1)包括气路板(6)和多个电磁阀(3)，所述气路板(6)设有多个通道，所述电磁阀(3)通过螺钉安装在气路板(6)上，所述电磁阀(3)的进气口与气路板(6)的通道的出口连接，所述气路板(6)的通道的入口连接有气管(4)，多个所述电磁阀(3)共用一个出气口，所述出气口连接负压传感器(2)。/n
【技术特征摘要】
1.一种传感器复用的多通道负压检测系统，其特征在于：包括阀岛(1)、负压传感器(2)和废气处理设备，所述阀岛(1)包括气路板(6)和多个电磁阀(3)，所述气路板(6)设有多个通道，所述电磁阀(3)通过螺钉安装在气路板(6)上，所述电磁阀(3)的进气口与气路板(6)的通道的出口连接，所述气路板(6)的通道的入口连接有气管(4)，多个所述电磁阀(3)共用一个出气口，所述出气口连接负压传感器(2)。
2.根据权利要求1所述的一种传感器复用的多通道负压检测系统，其特征在于：所述废气处理设备上...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡传涛，章文军，杨春水，宁腾飞，陈彦岗，杨春涛，王继飞，张坤，闫萧，席涛涛，何磊，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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