一种石墨舟冷却设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石墨舟冷却设备，其属于光伏技术领域，所述石墨舟冷却设备内设有容纳腔，所述容纳腔内设置有散热风机，所述石墨舟冷却设备内还包括冷却管组件托盘，所述冷却管组件托盘可拆卸设于所述石墨舟冷却设备内且位于所述散热风机的出口端，所述冷却管组件托盘上设有冷却管组件支撑件和通风孔，所述冷却管组件支撑件上设置有冷却管组件，所述冷却管组件呈蛇形排列，所述冷却管组件的一端为进水口，另一端为出水口。本实用新型专利技术使得石墨舟冷却设备能够快速对石墨舟进行降温，降温效果良好，且能够降低降温过程中的硅片碎片率。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟冷却设备
本技术涉及光伏
，尤其涉及一种石墨舟冷却设备。
技术介绍
在晶体硅太阳能电池管式PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,等离子增强化学气体沉淀技术)氮化硅薄膜沉积技术中，一般采用氨气和硅烷作为等离子反应气体源，采用石墨舟的石墨舟片作为硅片的承载板和射频电极，由石墨舟承载硅片在高温石英腔体内进行镀膜沉积。在镀膜沉积工序结束后，此时石墨舟的温度为300摄氏度左右，需要对高温的石墨舟进行冷却，以便进行后续生产工序。现有技术中，一般将石墨舟放置在石墨舟冷却房中，通过大风力散热风机对处于高温状态的石墨舟进行散热降温。采用现有技术对高温的石墨舟进行冷却散热，具有如下不足：(1)散热速度慢，散热时间较长，影响石墨舟的周转；(2)高温的石墨舟内的硅片的温度也很高，硅片呈弯曲变形、开口的状态，大风力风机在进行吹扫降温的过程中容易导致硅片从石墨舟的卡点掉落，造成硅片碎片，影响硅片质量。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种石墨舟冷却设备，能够在较短时间内完成对石墨舟的快速降温并降低碎片率。如上构思，本技术所采用的技术方案是：一种石墨舟冷却设备，所述石墨舟冷却设备内设有容纳腔，所述容纳腔内设置有散热风机，所述石墨舟冷却设备内还包括冷却管组件托盘，所述冷却管组件托盘可拆卸设于所述容纳腔内且位于所述散热风机的出口端，所述冷却管组件托盘上设有冷却管组件支撑件和通风孔，所述冷却管组件支撑件上设置有冷却管组件，所述冷却管组件呈蛇形排列，所述冷却管组件的一端为进水口，另一端为出水口。可选地，所述容纳腔内在所述石墨舟冷却设备相对的两个侧壁均设置有滑槽，所述冷却管组件托盘的端部能够滑入所述滑槽内。可选地，所述冷却管组件包括多个平行间隔设置的冷却管，多个所述冷却管依次连通并呈蛇形排列。可选地，所述冷却管上设置有翅片。可选地，沿所述冷却管的周向于所述冷却管的外侧等间隔设置有多个所述翅片。可选地，相邻的两个所述冷却管之间的距离不小于10mm。可选地，相邻连通的两个所述冷却管通过U型弯头管连通。可选地，所述冷却管组件的所述进水口处设有进水管接头，所述冷却管组件的所述出水口处设有出水管接头。可选地，所述散热风机设于所述容纳腔的底部，所述冷却管组件托盘位于所述散热风机的上方，所述冷却管组件设于所述冷却管组件托盘远离所述散热风机的一侧。可选地，所述散热风机设于所述容纳腔的顶部，所述冷却管组件托盘位于所述散热风机的下方，所述冷却管组件设于所述冷却管组件托盘和所述散热风机之间。本技术提出的石墨舟冷却设备，在对石墨舟进行冷却时，向冷却管组件内通入冷却液，散热风机吹扫出的冷却风依次经过通风孔和冷却管组件，在冷却风经过冷却管组件时，冷却管组件内循环流动的冷却液快速对冷却风进行再次降温，再次降温后的冷却风流向石墨舟，进而实现短时间内对石墨舟的快速高效降温；在短时间内对石墨舟快速降温后，避免硅片呈弯曲变形、开口的状态，避免在散热风机的吹扫降温过程中硅片从石墨舟的卡点掉落，进而降低碎片率。当冷却管组件发生渗漏情况时，直接将冷却管组件托盘拆卸，更换另一个冷却管组件托盘，快速方便地更换冷却管组件；本技术将冷却管组件通过冷却管组件支撑件设置于冷却管组件托盘上，能够减少冷却管组件与冷却管组件托盘的接触面积，保证冷却管组件对散热风机吹扫出的冷却风的降温效果；冷却管组件托盘的通风孔能够避免冷却管组件托盘干涉散热风机吹扫出的冷却风的流动方向。附图说明图1是本技术实施例一提供的石墨舟冷却设备的主视图；图2是图1中隐去冷却管组件托盘后的示意图；图3是本技术实施例一提供的冷却管组件托盘上未设有冷却管组件的结构示意图；图4是本技术实施例一提供的冷却管组件的结构示意图；图5是本技术实施例一提供的冷却管的截面示意图；图6是本技术实施例二提供的石墨舟冷却设备的主视图。图中：1、散热风机；2、冷却管组件托盘；21、冷却管组件支撑件；22、通风孔；23、冷却管组件；231、冷却管；232、U型弯头管；233、进水管接头；234、出水管接头；235、翅片；3、滑槽。具体实施方式为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。实施例一参见图1-图5，本实施例提供一种石墨舟冷却设备，石墨舟冷却设备内设有容纳腔，用于容置待冷却的石墨舟。容纳腔内设置有散热风机1，用于向待冷却的石墨舟吹扫冷风以使得石墨舟能够快速降温冷却。在现有技术中，待冷却的石墨舟在石墨舟冷却设备内仅采用散热风机进行散热。其冷却时间为9分钟30秒，冷却结束后的石墨舟温度在65摄氏度左右。65摄氏度左右的硅片还处于高温开口状态，在后续的自动化下料过程中吸盘容易压碎硅片。高温的石墨舟容易烫伤操作人员。冷却时间长，影响石墨舟的周转效率。为解决上述问题，实现在短时间内对石墨舟的快速降温，本实施例中，石墨舟冷却设备内还包括冷却管组件托盘2，冷却管组件托盘2可拆卸设于容纳腔内且位于散热风机1的出口端，冷却管组件托盘2上设有冷却管组件支撑件21和通风孔22，冷却管组件支撑件21上设置有冷却管组件23，冷却管组件23呈蛇形排列，冷却管组件23的一端为进水口，另一端为出水口。当对石墨舟进行散热时，散热风机1吹出冷却风，冷却风经过冷却管组件托盘2的通风孔22至冷却管组件23，同时，由进水口向冷却管组件23内通入冷却液，当冷却风经由冷却管组件23时，冷却管组件23迅速对冷却风风进行再次降温，经过冷却管组件23降温的冷却风继续流动至石墨舟，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨舟冷却设备，所述石墨舟冷却设备内设有容纳腔，所述容纳腔内设置有散热风机(1)，其特征在于，所述石墨舟冷却设备内还包括冷却管组件托盘(2)，所述冷却管组件托盘(2)可拆卸设于所述容纳腔内且位于所述散热风机(1)的出口端，所述冷却管组件托盘(2)上设有冷却管组件支撑件(21)和通风孔(22)，所述冷却管组件支撑件(21)上设置有冷却管组件(23)，所述冷却管组件(23)呈蛇形排列，所述冷却管组件(23)的一端为进水口，另一端为出水口。/n

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟冷却设备，所述石墨舟冷却设备内设有容纳腔，所述容纳腔内设置有散热风机(1)，其特征在于，所述石墨舟冷却设备内还包括冷却管组件托盘(2)，所述冷却管组件托盘(2)可拆卸设于所述容纳腔内且位于所述散热风机(1)的出口端，所述冷却管组件托盘(2)上设有冷却管组件支撑件(21)和通风孔(22)，所述冷却管组件支撑件(21)上设置有冷却管组件(23)，所述冷却管组件(23)呈蛇形排列，所述冷却管组件(23)的一端为进水口，另一端为出水口。


2.根据权利要求1所述的石墨舟冷却设备，其特征在于，所述容纳腔内在所述石墨舟冷却设备相对的两个侧壁均设置有滑槽(3)，所述冷却管组件托盘(2)的端部能够滑入所述滑槽(3)内。


3.根据权利要求1所述的石墨舟冷却设备，其特征在于，所述冷却管组件(23)包括多个平行间隔设置的冷却管(231)，多个所述冷却管(231)依次连通并呈蛇形排列。


4.根据权利要求3所述的石墨舟冷却设备，其特征在于，所述冷却管(231)上设置有翅片(235)。


5.根据权利要求4所述的石墨舟冷却设备，其特征在于，沿所述冷却管(231)的周向于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈林，孙贤，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，阿特斯阳光电力集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32