层叠基板的制造方法以及制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及层叠基板的制造方法以及制造装置，制造方法包含：对多个基板中的至少一个进行加工的加工步骤、层叠多个基板来制造层叠基板的层叠步骤、以及基于多个层叠基板各自的多个基板间的位置偏移量来决定修正量的决定步骤，加工步骤以及层叠步骤中的至少一个步骤包含利用修正量来修正在决定步骤之后进行层叠的多个基板中的至少一个的修正步骤。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】层叠基板的制造方法以及制造装置
本专利技术涉及层叠基板的制造方法以及制造装置。
技术介绍
存在层叠多个基板来形成层叠基板的技术。专利文献1：日本特开2014-216496号公报层叠基板中的基板相互的位置偏移因各种原因而产生。因此，为了得到规定的对位精度，需要对多种位置偏移分量进行修正。
技术实现思路
本专利技术的第一形态提供一种制造方法，其包含：加工步骤，对多个基板中的至少一个进行加工；层叠步骤，层叠多个基板来制造层叠基板；以及决定步骤，基于多个层叠基板各自的多个基板间的位置偏移量来决定修正量，加工步骤以及层叠步骤中的至少一个步骤包含：利用修正量来修正在决定步骤之后进行层叠的多个基板中的至少一个的修正步骤。本专利技术的第二形态提供一种制造方法，其包含：加工步骤，对多个基板中的至少一个进行加工，加工步骤包含修正步骤，该修正步骤利用基于分别具有被层叠的多个基板的多个层叠基板各自的多个基板间的位置偏移量而决定的修正量，对在决定后进行层叠的多个基板中的至少一个进行修正。本专利技术的第三形态提供一种制造本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制造方法，其中，包含：/n加工步骤，对多个基板中的至少一个进行加工；/n层叠步骤，层叠所述多个基板来制造层叠基板；以及/n决定步骤，基于多个所述层叠基板各自的所述多个基板间的位置偏移量来决定修正量，/n所述加工步骤以及所述层叠步骤中的至少一个步骤包含修正步骤，该修正步骤利用所述修正量来修正在所述决定步骤之后进行层叠的多个基板中的至少一个。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171128 JP 2017-2280121.一种制造方法，其中，包含：
加工步骤，对多个基板中的至少一个进行加工；
层叠步骤，层叠所述多个基板来制造层叠基板；以及
决定步骤，基于多个所述层叠基板各自的所述多个基板间的位置偏移量来决定修正量，
所述加工步骤以及所述层叠步骤中的至少一个步骤包含修正步骤，该修正步骤利用所述修正量来修正在所述决定步骤之后进行层叠的多个基板中的至少一个。


2.根据权利要求1所述的制造方法，其中，
所述加工步骤以及所述层叠步骤中的至少一个步骤包含第二修正步骤，该第二修正步骤对在所述决定步骤之后进行层叠的所述多个基板间所产生的位置偏移、与由所述决定步骤决定的修正量的差量进行修正。


3.根据权利要求2所述的制造方法，其中，
所述加工步骤以及所述层叠步骤中的至少一个步骤包含判断步骤，该判断步骤对在所述第二修正步骤中是否应修正所述差量进行判断。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的制造方法，其中，
所述决定步骤将所述多个层叠基板的位置偏移量的平均值以及最小值的任一个决定为所述修正量。


5.根据权利要求1～4中任一项所述的制造方法，其中，
所述决定步骤计算所述多个层叠基板各自的位置偏移量的3σ，决定对所述3σ的值低于预先规定的阈值的位置偏移分量进行修正的所述修正量，其中，σ是标准偏差。


6.根据权利要求1～5中任一项所述的制造方法，其中，
所述修正步骤在所述加工步骤中的、对所述多个基板中的至少一个形成电路的步骤中进行修正。


7.根据权利要求1～6中任一项所述的制造方法，其中，
所述修正步骤在所述加工步骤中的、对所述多个基板中的至少一个进行成膜的步骤中进行修正。


8.根据权利要求1～6中任一项所述的制...

【专利技术属性】
技术研发人员：三石创，菅谷功，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP