一种有机硅改性丙烯酸酯类光刻胶及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种有机硅改性丙烯酸酯类光刻胶及其制备方法，属于胶黏剂技术领域。以质量百分数计算，由以下组份组成：成膜树脂14.2～23.7份，交联剂4.2～7.5份，光引发剂0.8～1.4份，助剂0.06～0.13份，溶剂67.3～80.7份。本发明专利技术的光刻胶，利用有机硅对成膜树脂进行改性，增强了其与基材的粘接性，同时也降低了光刻胶的脆性，制备的光刻胶附着力好、分辨率高，在液晶显示屏的制备过程中有着很好的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种有机硅改性丙烯酸酯类光刻胶及其制备方法
本专利技术涉及一种有机硅改性丙烯酸酯类光刻胶及其制备方法，属于胶黏剂

技术介绍
光刻胶，又称光致抗蚀剂，是电子行业微细加工技术的关键材料，主要应用于电子工业集成电路、半导体分立器和平板显示器的制作。光刻胶，简言之，就是在光源的激发下，发生化学反应，致使分子结构发生变化，使得其在特定溶液中的溶解度发生变化。在光源激发下，光刻胶在特定溶液中的溶解度增大，称之为正性光刻胶，反之，称之为负性光刻胶。目前，国内生产的光刻胶主要满足中低端市场的需求，高档次的光刻胶主要依赖进口，而高端光刻胶的生产技术主要被韩国、日本所垄断。甲基丙烯酸类光刻胶，是一类传统的光刻胶，它存在着分辨率不高、脆性大、与基材粘附力差等缺点。本专利技术主要利用有机硅对其改性，解决了传统丙烯酸酯类光刻胶的缺点。
技术实现思路
本专利技术目的是提供一种有机硅改性丙烯酸酯类光刻胶及其制备方法。本专利技术涉及的有机硅改性丙烯酸酯类光刻胶由如下重量分数的原料组成：成膜树脂14.2～23.7份交联剂4.本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机硅改性丙烯酸酯类光刻胶及其制备方法，其特征在于，由如下质量份数的原料组成：/n成膜树脂 14.2～23.7份/n交联剂 4.2～7.5份/n光引发剂 0.8～1.4份/n助剂 0.06～0.13份/n溶剂 67.3～80.7份/n其中，所述成膜树脂是由丙烯酸衍生物单体通过溶液自由基聚合方法制成，具体如下结构通式：

【技术特征摘要】
1.一种有机硅改性丙烯酸酯类光刻胶及其制备方法，其特征在于，由如下质量份数的原料组成：
成膜树脂14.2～23.7份
交联剂4.2～7.5份
光引发剂0.8～1.4份
助剂0.06～0.13份
溶剂67.3～80.7份
其中，所述成膜树脂是由丙烯酸衍生物单体通过溶液自由基聚合方法制成，具体如下结构通式：(m，n，o，p，q指聚合度)；
其中，所述交联剂为官能度为2以上的变丙烯酸酸衍生物单体，两种以上混合使用，具体结构如下：
其中，所述光引发剂为六芳基二咪唑、二苯甲酮和安息香双甲醚的一种或两种混合使用；
其中，所述助剂为氟改性流平剂KMT-1020和硅聚醚改性流平剂ZY-8533中的一种；
其中，所述溶剂为丁酮、异丙醇和乙二醇单甲醚，一种或多种混合使用。


2.如权利要求1所述的一种有机硅改性甲基丙烯酸酯类光刻胶中，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘兴江，魏柳荷，吴林志，张文英，
申请(专利权)人：郑州大学，
类型：发明
国别省市：河南;41