【技术实现步骤摘要】
光刻胶生产用烘干装置
本技术属于光刻胶生产设备
，具体是一种光刻胶生产用烘干装置，适用于光刻胶用树脂的脱水烘干。
技术介绍
光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，其主要包含溶剂、感光树脂、光引发剂和添加剂四种成分。其中，溶剂使光刻胶具有流动性，易挥发，对于光刻胶的化学性质几乎没有影响。感光树脂是惰性的聚合物，用于把光刻胶中的不同材料聚在一起的粘合剂，给予光刻胶其机械和化学性质。光引发剂是光刻胶中的光敏成分，对光能发生光化学反应。添加剂是控制光刻胶材料特殊方面的化学物质，用来控制和改变光刻胶材料的特定化学性质或响应特性。感光树脂在光刻胶的成分中属于主要成分，其根据光刻胶的具体要求配制完成后需要进行脱水烘干处理，但现有的脱水烘干设备存在如下问题：烘干效果差，烘干效率低，烘干周期长，生产成本大。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种结构紧凑、使用可靠的光刻胶生产用烘干装置，显著提高光刻胶原料感光树脂的烘干效果和烘干效率，大大缩短烘干时间，节约生产成本。本技术的技术方案是：
【技术保护点】
1.一种光刻胶生产用烘干装置，包括机壳、设于机壳顶部用于与送料机构连通的进料斗、设于机壳内部的水平输送机、循环风机和加热单元，所述进料斗的末端位于水平输送机起始端上方，水平输送机落料端下方设有接料斗，接料斗下方设有与机壳外相通的送料管，其特征在于：所述机壳内利用连接筋悬设有内壳，所述内壳的下沿与机壳的底面之间形成内壳与机壳的通风道，所述水平输送机为网带输送机，所述循环风机为轴流风机，数量为多个，沿网带输送机长度方向均匀悬设于网带输送机正上方，轴流风机的轴心线与网带输送机的上表面垂直， 轴流风机的壳体与内壳连接固定，所述加热单元由布设于轴流风机与网带输送机之间的加热电阻丝组Ⅰ...
【技术特征摘要】
1.一种光刻胶生产用烘干装置，包括机壳、设于机壳顶部用于与送料机构连通的进料斗、设于机壳内部的水平输送机、循环风机和加热单元，所述进料斗的末端位于水平输送机起始端上方，水平输送机落料端下方设有接料斗，接料斗下方设有与机壳外相通的送料管，其特征在于：所述机壳内利用连接筋悬设有内壳，所述内壳的下沿与机壳的底面之间形成内壳与机壳的通风道，所述水平输送机为网带输送机，所述循环风机为轴流风机，数量为多个，沿网带输送机长度方向均匀悬设于网带输送机正上方，轴流风机的轴心线与网带输送机的上表面垂直，轴流风机的壳体与内壳连接固定，所述加热单元由布设于轴流风机与网带输送机之间的加热电阻丝组Ⅰ、布设于内壳与机壳之...
【专利技术属性】
技术研发人员：王鸿岩，孙浩，
申请(专利权)人：辽宁靖帆新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21
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