发声装置及其制作方法以及显示装置制造方法及图纸

一种发声装置及其制作方法以及显示装置。该发声装置包括至少两个发声单元。各发声单元包括：透明结构层，包括凹槽和位于凹槽周围的支撑部；以及压电振动薄膜，覆盖凹槽并与支撑部形成空腔。压电振动薄膜包括：底膜，覆盖所述凹槽；以及至少一个压电结构，位于空腔远离透明结构层的一侧；各压电结构包括：第一电极，位于空腔远离透明结构层的一侧；压电材料层，位于第一电极远离空腔的一侧；以及第二电极，位于压电材料层远离第一电极的一侧。由此，该发声装置可实现一种轻薄、透明的发声装置，从而便于集成在显示装置上。

【技术实现步骤摘要】
发声装置及其制作方法以及显示装置
本公开的实施例涉及一种发声装置及其制作方法以及显示装置。
技术介绍
近年来，随着智能手机、平板电脑等智能显示装置市场的蓬勃发展，人们对于智能显示装置的屏占比的要求也越来越高。因此，智能显示装置中除了显示面板之外的其他部件的小型化、集成化也逐渐成为各大厂商的研究热点。通常，发声装置是一种通过产生机械振动推动空气，使空气介质产生波动从而实现将电能转化为动能再转换为声波的装置，是智能显示装置中重要的部件之一。
技术实现思路
本公开实施例提供一种发声装置及其制作方法以及显示装置。该发声装置包括至少两个发声单元。各发声单元包括：透明结构层，包括凹槽和位于凹槽周围的支撑部；以及压电振动薄膜，覆盖凹槽并与支撑部形成空腔。压电振动薄膜包括：底膜，覆盖所述凹槽；以及至少一个压电结构，位于空腔远离透明结构层的一侧；各压电结构包括：第一电极，位于空腔远离透明结构层的一侧；压电材料层，位于第一电极远离空腔的一侧；以及第二电极，位于压电材料层远离第一电极的一侧。由此，该发声装置可实现一种轻薄、透明的发声装置，从而便于集成在显示装置上。本公开至少一个实施例提供一种发声装置，包括：至少两个发声单元，其中，各所述发声单元包括：透明结构层，包括凹槽和位于所述凹槽周围的支撑部；以及压电振动薄膜，覆盖所述凹槽并与所述支撑部形成空腔，所述压电振动薄膜包括底膜，覆盖所述凹槽；以及至少一个压电结构，位于所述空腔远离所述透明结构层的一侧；各所述压电结构包括：第一电极，位于所述空腔远离所述透明结构层的一侧；压电材料层，位于所述第一电极远离所述空腔的一侧；以及第二电极，位于所述压电材料层远离所述第一电极的一侧。例如，在本公开一实施例供的发声装置中，所述第一电极在所述透明结构层上的正投影与所述凹槽在所述透明结构层上的正投影至少部分交叠。例如，在本公开一实施例供的发声装置中，所述透明结构层的材料包括玻璃。例如，在本公开一实施例供的发声装置中，各所述发声单元还包括：黏合层，位于所述底膜与所述透明结构层之间并被配置为将所述底膜和所述透明结构层黏合。例如，在本公开一实施例供的发声装置中，所述至少两个发声单元包括第一发声单元和第二发声单元，所述发声装置还包括：驱动器，被配置为驱动所述第一发声单元发出第一频率的超声波，驱动所述第二发声单元发出第二频率的超声波，所述第一频率的超声波和所述第二频率的超声波被配置为发生非线性交互作用并解调出可听声。例如，在本公开一实施例供的发声装置中，所述至少两个发声单元的所述透明结构层为一体的透明结构层，所述至少两个发声单元的所述压电振动薄膜阵列排布在所述一体的透明结构层上。例如，在本公开一实施例供的发声装置中，所述至少两个发声单元的所述第一电极为公共电极，或者所述至少两个发声单元的所述第二电极为公共电极。例如，在本公开一实施例供的发声装置中，所述至少一个压电结构包括多个层叠设置的所述压电结构，在相邻的两个所述压电结构中，远离所述透明结构层的一个所述压电结构的第一电极为靠近所述透明结构层的另一个所述压电结构的第二电极。例如，在本公开一实施例供的发声装置中，各所述发声单元还包括：绝缘层，位于所述第一电极与所述压电材料层之间。例如，在本公开一实施例供的发声装置中，所述第一电极和所述第二电极的材料包括透明导电材料。例如，在本公开一实施例供的发声装置中，所述压电材料层的材料包括聚偏氟乙烯(PVDF)、氮化铝(AlN)和铌酸锂(LiNbO3)中的至少一种。例如，本公开一实施例供的发声装置还包括：保护膜，位于所述压电振动薄膜远离所述透明结构层的一侧。例如，在本公开一实施例供的发声装置中，所述凹槽在沿垂直于所述透明结构层的方向上穿过所述透明结构层。本公开至少一个实施例提供一种显示装置，包括上述任一项所述的发声装置。例如，本公开一实施例供的显示装置还包括：显示面板，包括显示区，所述发声装置在所述显示面板上的正投影与所述显示区至少部分重叠。例如，在本公开一实施例供的显示装置中，所述发声装置在所述显示面板上的正投影与所述显示区的重叠面积占所述显示区的面积的范围为30％-100％。本公开至少一个实施例提供一种发声装置的制作方法，包括：形成透明结构层，所述透明结构层包括凹槽和位于所述凹槽周围的支撑部；形成压电振动薄膜，所述压电振动薄膜包括底膜和至少一个压电结构，各压电结构包括依次层叠的第一电极、压电材料层和第二电极；将所述压电振动薄膜覆盖所述凹槽并与所述支撑部形成空腔，所述底膜覆盖所述凹槽；所述至少一个压电结构位于所述空腔远离所述透明结构层的一侧。例如，在本公开一实施例供的发声装置的制作方法中，形成所述透明结构层包括：提供玻璃基板；在所述玻璃基板上形成掩模材料层；图案化所述掩模材料层，以形成包括多个过孔的掩模图案；以及使用所述掩模图案为掩膜对所述玻璃基板进行刻蚀以在所述玻璃基板上形成与所述多个过孔对应的多个凹槽，以得到所述透明结构层。例如，在本公开一实施例供的发声装置的制作方法中，使用所述掩模图案为掩膜对所述玻璃基板进行刻蚀以在所述玻璃基板上形成与所述多个过孔对应的多个凹槽，以得到所述透明结构层包括：采用氢氟酸刻蚀所述玻璃基板以在所述玻璃基板上形成与所述多个过孔对应的多个凹槽。例如，在本公开一实施例供的发声装置的制作方法中，将所述压电振动薄膜覆盖所述凹槽并与所述支撑部形成空腔包括：在所述压电振动薄膜的所述底膜远离所述压电结构的一侧涂覆黏合层；将涂覆有所述黏合层的所述压电振动薄膜与所述透明结构层对位，以使所述第一电极在所述透明结构层上的正投影与所述凹槽在所述透明结构层上的正投影至少部分交叠；以及向所述压电振动薄膜施加压力以将所述压电振动薄膜与所述透明结构层黏合并使所述压电振动薄膜覆盖所述凹槽并与所述支撑部形成所述空腔。附图说明为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本公开的一些实施例，而非对本公开的限制。图1为根据本公开一实施例提供的一种发声装置；图2为根据本公开一实施例提供的另一种发声装置的结构示意图；图3为根据本公开一实施例提供的另一种发声装置的结构示意图；图4为根据本公开一实施例提供的一种发声装置的示意图；图5为根据本公开一实施例提供的一种发声装置的平面示意图；图6为根据本公开一实施例提供的另一种发声装置的平面示意图；图7为根据本公开一实施例提供的另一种发声装置的平面示意图；图8为根据本公开一实施例提供的一种显示装置的示意图；图9为根据本公开一实施例提供的一种发声装置的制作方法的流程图；图10A-10D为根据本公开一实施例提供的一种透明结构层的制作方法的步骤示意图；图10E为根据本公开一实施例提供的另一种透明结构层的示意图；以及图11A-11F为根据本公开一实施例提供的一种压电振动薄膜的制作方法的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种发声装置，包括：至少两个发声单元，其中，各所述发声单元包括：/n透明结构层，包括凹槽和位于所述凹槽周围的支撑部；以及/n压电振动薄膜，覆盖所述凹槽并与所述支撑部形成空腔，/n其中，所述压电振动薄膜包括底膜，覆盖所述凹槽；以及至少一个压电结构，位于所述空腔远离所述透明结构层的一侧；各所述压电结构包括：第一电极，位于所述空腔远离所述透明结构层的一侧；压电材料层，位于所述第一电极远离所述空腔的一侧；以及第二电极，位于所述压电材料层远离所述第一电极的一侧。/n

【技术特征摘要】
1.一种发声装置，包括：至少两个发声单元，其中，各所述发声单元包括：
透明结构层，包括凹槽和位于所述凹槽周围的支撑部；以及
压电振动薄膜，覆盖所述凹槽并与所述支撑部形成空腔，
其中，所述压电振动薄膜包括底膜，覆盖所述凹槽；以及至少一个压电结构，位于所述空腔远离所述透明结构层的一侧；各所述压电结构包括：第一电极，位于所述空腔远离所述透明结构层的一侧；压电材料层，位于所述第一电极远离所述空腔的一侧；以及第二电极，位于所述压电材料层远离所述第一电极的一侧。


2.根据权利要求1所述的发声装置，其中，所述第一电极在所述透明结构层上的正投影与所述凹槽在所述透明结构层上的正投影至少部分交叠。


3.根据权利要求1所述的发声装置，其中，所述透明结构层的材料包括玻璃。


4.根据权利要求1所述的发声装置，其中，各所述发声单元还包括：
黏合层，位于所述底膜与所述透明结构层之间并被配置为将所述底膜和所述透明结构层黏合。


5.根据权利要求1-4中任一项所述的发声装置，其中，所述至少两个发声单元包括第一发声单元和第二发声单元，所述发声装置还包括：
驱动器，被配置为驱动所述第一发声单元发出第一频率的超声波，驱动所述第二发声单元发出第二频率的超声波，所述第一频率的超声波和所述第二频率的超声波被配置为发生非线性交互作用并解调出可听声。


6.根据权利要求1-4中任一项所述的发声装置，其中，所述至少两个发声单元的所述透明结构层为一体的透明结构层，所述至少两个发声单元的所述压电振动薄膜阵列排布在所述一体的透明结构层上。


7.根据权利要求1-4中任一项所述的发声装置，其中，所述至少两个发声单元的所述第一电极为公共电极，或者所述至少两个发声单元的所述第二电极为公共电极。


8.根据权利要求1-4中任一项所述的发声装置，其中，所述至少一个压电结构包括多个层叠设置的所述压电结构，在相邻的两个所述压电结构中，远离所述透明结构层的一个所述压电结构的第一电极为靠近所述透明结构层的另一个所述压电结构的第二电极。


9.根据权利要求1-4中任一项所述的发声装置，其中，各所述发声单元还包括：
绝缘层，位于所述第一电极与所述压电材料层之间。


10.根据权利要求1-4中任一项所述的发声装置，其中，所述第一电极和所述第二电极的材料包括透明导电材料。


11.根据权利要求1-4中任一项所述的发声装置，其中，所述压电材料层的材料包括聚偏氟乙烯(PVDF)、氮化铝(AlN)和铌酸锂(LiN...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩艳玲，董学，王海生，刘英明，赵利军，张晨阳，李佩笑，郭玉珍，李秀锋，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11