一种基于机械泵和分子泵超高真空泵组装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基于机械泵和分子泵超高真空泵组装置，包括底座，所述底座内设有条形腔，所述条形腔内设有间距调节机构，所述底座的上方设有两个安装板，所述安装板的下端设有条形槽，所述条形槽内设有与间距调节机构连接的高度调节机构，两个所述安装板相对的侧壁均设有稳固机构，两个所述安装板的底部侧壁间设置有支撑机构。本实用新型专利技术结构合理，能够对组合的泵体进行限位，使其工作更加稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种基于机械泵和分子泵超高真空泵组装置
本技术涉及超高真空泵
，尤其涉及一种基于机械泵和分子泵超高真空泵组装置。
技术介绍
超高真空泵一般由机械泵与分子泵复合而成，分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵，转子转速达到20000r/min，故分子泵启动时间较长，故需要配备前级泵，一般使用机械泵作为前级泵。目前机械泵与分子泵组成的超高真空泵由于其转速较快，泵体抖动较为严重，仅仅依靠其本身无法稳定的进行工作。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种基于机械泵和分子泵超高真空泵组装置，其能够对组合的泵体进行限位，使其工作更加稳定。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种基于机械泵和分子泵超高真空泵组装置，包括底座，所述底座内设有条形腔，所述条形腔内设有间距调节机构，所述底座的上方设有两个安装板，所述安装板的下端设有条形槽，所述条形槽内设有与间距调节机构连接的高度调节机构，两个所述安装板相对的侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于机械泵和分子泵超高真空泵组装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)内设有条形腔(3)，所述条形腔(3)内设有间距调节机构，所述底座(1)的上方设有两个安装板(12)，所述安装板(12)的下端设有条形槽(11)，所述条形槽(11)内设有与间距调节机构连接的高度调节机构，两个所述安装板(12)相对的侧壁均设有稳固机构，两个所述安装板(12)的底部侧壁间设置有支撑机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于机械泵和分子泵超高真空泵组装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)内设有条形腔(3)，所述条形腔(3)内设有间距调节机构，所述底座(1)的上方设有两个安装板(12)，所述安装板(12)的下端设有条形槽(11)，所述条形槽(11)内设有与间距调节机构连接的高度调节机构，两个所述安装板(12)相对的侧壁均设有稳固机构，两个所述安装板(12)的底部侧壁间设置有支撑机构。


2.根据权利要求1所述的一种基于机械泵和分子泵超高真空泵组装置，其特征在于，所述间距调节机构包括安装在底座(1)侧壁上的驱动电机(4)，所述条形腔(3)内转动连接有双头螺纹杆(2)，所述驱动电机(4)的输出轴末端延伸至条形腔(3)内并与双头螺纹杆(2)的一端固定连接。


3.根据权利要求2所述的一种基于机械泵和分子泵超高真空泵组装置，其特征在于，所述高度调节机构包括设置在条形槽(11)内的支撑柱(5)，所述底座(1)的上端设有与条形腔(3)连通的两个条形口，所述支撑柱(5...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡志峰，叶新明，
申请(专利权)人：南京创协德工业自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32