一种采用条形补偿膜应力补偿的晶体谐振器制造技术

本发明专利技术涉及晶体谐振器，特别是一种采用条形补偿膜应力补偿的晶体谐振器,其特征是：至少包括：晶体，所述的晶体为圆片形；与圆片形晶体同心且小于圆片形晶体的直径有一中心电极，中心电极镀膜在晶体的上下表面上；沿晶体的直径方向在中心电极的两侧有延伸层；两侧的延伸层各延伸至一个扇形面，扇形面的中心线与延伸层中心线重合；在中心电极上有补偿膜，补偿膜为长方形，补偿膜的长度方向与延伸层中心线垂直；长方形补偿膜长度方向与晶体片x轴方向一致。它提供了一种结构简单、体积更小、功耗更低、稳定度更高、成本较低的采用条形补偿膜应力补偿晶体谐振器。

【技术实现步骤摘要】
一种采用条形补偿膜应力补偿的晶体谐振器
本专利技术涉及晶体谐振器，特别是一种采用条形补偿膜应力补偿的晶体谐振器。
技术介绍
晶体谐振器是一种被广泛应用的频率源器件，由于其成本低、稳定度高的特点被大量应用于通信、导航、医疗、国防等众多领域。随着通信事业的进一步发展，对高稳定度晶体谐振器需求开始慢慢扩大。与此同时，对于晶体谐振器的性能指标也有了更高的要求，人们希望得到体积更小、功耗更低、稳定度更高、成本较低的频率源器件。现有的芯片钟和MEMS振荡器，虽然在稳定度方面较传统晶体振荡器要好一些，但是其成本相对较高，且不易于大规模、流程化生产。因此，市面上目前使用最多的频率源依然是晶体振荡器。而高稳晶振通常是使用温度补偿晶体振荡器。现有的温度补偿晶体振荡提高频率稳定度的方法主要是对外围补偿网络进行修改，用补偿电压对原始频率信号进行频率补偿。根据补偿方式的不同可以分为模拟、数字和微机补偿三种方式。虽然三种补偿方式可以将频率稳定度在-50℃～+85℃范围内维持在±0.5ppm～±1ppm范围内，即使频率稳定度达到10-7量级以上，但是由于这三种处理方式都是用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种采用条形补偿膜应力补偿的晶体谐振器，其特征是：至少包括：晶体(1)，所述的晶体(1)为圆片形；与圆片形晶体(1)同心且小于圆片形晶体(1)的直径有一中心电极(2)，中心电极(2)镀膜在晶体(1)的上下表面上；沿晶体(1)的直径方向在中心电极(2)的两侧有延伸层(3)；两侧的延伸层(3)各延伸至一个扇形面(4)，扇形面的中心线(5)与延伸层(3)中心线重合；在中心电极上有补偿膜(6)，补偿膜(6)为长方形，补偿膜(6)的长度方向与延伸层(3)中心线垂直；长方形补偿膜(6)长度方向定义为x轴；根据晶体的力频特性，当对中心电极(2)在x轴方向施加压力作用时，会使晶体的频率被抬升，向上偏离标称...

【技术特征摘要】
1.一种采用条形补偿膜应力补偿的晶体谐振器，其特征是：至少包括：晶体(1)，所述的晶体(1)为圆片形；与圆片形晶体(1)同心且小于圆片形晶体(1)的直径有一中心电极(2)，中心电极(2)镀膜在晶体(1)的上下表面上；沿晶体(1)的直径方向在中心电极(2)的两侧有延伸层(3)；两侧的延伸层(3)各延伸至一个扇形面(4)，扇形面的中心线(5)与延伸层(3)中心线重合；在中心电极上有补偿膜(6)，补偿膜(6)为长方形，补偿膜(6)的长度方向与延伸层(3)中心线垂直；长方形补偿膜(6)长度方向定义为x轴；根据晶体的力频特性，当对中心电极(2)在x轴方向施加压力作用时，会使晶体的频率被抬升，向上偏离标称频率；当对中心电极(2)的x轴方向施加拉力时，会使晶体的频率被拉低，向下频移标称频率；并且当这个作用力越大时，造成的频率偏移量越大，力的大小和频率偏移量成正比关系；因此，当温度升高且高于室温时，由于补偿膜(6)的热膨胀系数比中心电极(2)的大，所以此时补偿膜(6)的膨胀幅度要比中心电极的大，同理当温度低于室温时，补偿膜(6)的收缩幅度大于中心电极(2)的幅度。


2.根据权利要求1所述的一种采用条形补偿膜应力补偿的晶体谐振器，其特征是：所述的长方形补偿膜(6)的对角线长度小于中心电极的直径。


3.根据权利要求1所述的一种采用条形补偿膜应力补偿的晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：苗苗，李智奇，冯娜娜，李皖，周渭，张艺，
申请(专利权)人：西安电子科技大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61