一种大靶面探测器阵列式多级半导体制冷方法技术

一种大靶面探测器阵列式多级半导体制冷装置，涉及光电成像探测器真空制冷封装领域，解决现有探测器制冷装置结构复杂，体积较大，进而影响探测器的制冷效果等问题，包括大靶面探测器、冷板、阵列多级半导体制冷器和热沉；所述大靶面探测器与冷板之间采用高导热的环氧树脂胶粘接，所述阵列多级半导体制冷器冷端与冷板之间、阵列多级半导体制冷器热端与热沉之间均采用低温焊料焊接。本发明专利技术的阵列式多级半导体制冷为热电制冷方式，无噪声、无振动、不使用制冷剂，多级半导体可以实现探测器成像大温差的需求，阵列式半导体可以实现探测器发热量大的需求，本发明专利技术能够很好的应用在当前大靶面(像素6K×6K)CMOS探测器中。

【技术实现步骤摘要】
一种大靶面探测器阵列式多级半导体制冷方法
本专利技术涉及光电成像探测器真空制冷封装领域，具体涉及一种6K大靶面探测器阵列式多级半导体制冷方法。
技术介绍
为了抑制探测器暗电流噪声对成像的影响，需要对探测器进行制冷，常用的制冷方法有半导体制冷、斯特林制冷、脉管制冷等，半导体制冷利用热电效应的工作原理进行制冷，这种制冷无噪声、无振动、不需制冷剂，体积小、重量轻，且工作可靠，操作简便，易于进行制冷量调节，成为目前探测器制冷的主要手段。斯特林制冷是电力驱动的机械式制冷机，其工作原理是气体以绝热膨胀做功，即按逆向斯特林循环工作实现制冷。斯特林制冷器的体积较大，且存在一定的震动，常用做液氮制备等深度制冷，对探测器成像存在一定的影响；脉管制冷是利用高压气体被绝热抽空而达到制冷的目的，在充气时，由于压缩而在脉管中形成温度梯度，封闭端的温度最高，压缩热被冷却水带走。这样在脉管中高压气体被抽空时，在管的出口端形成低温制冷区，这种制冷方式结构复杂，体积较大，不适用于成像探测器的制冷。随着半导体工艺技术的成熟和天文观测应用的需求不断发展，探测器的尺寸越来越大，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大靶面探测器阵列式多级半导体制冷装置，其特征是：包括大靶面探测器(1)、冷板(2)、阵列式多级半导体制冷器(3)和热沉(4)；/n所述大靶面探测器(1)与冷板(2)之间采用高导热的环氧树脂胶粘接，所述阵列式多级半导体制冷器(3)冷端与冷板(2)之间、阵列式多级半导体制冷器(3)热端与热沉(4)之间均采用低温焊料焊接。/n

【技术特征摘要】
1.一种大靶面探测器阵列式多级半导体制冷装置，其特征是：包括大靶面探测器(1)、冷板(2)、阵列式多级半导体制冷器(3)和热沉(4)；
所述大靶面探测器(1)与冷板(2)之间采用高导热的环氧树脂胶粘接，所述阵列式多级半导体制冷器(3)冷端与冷板(2)之间、阵列式多级半导体制冷器(3)热端与热沉(4)之间均采用低温焊料焊接。


2.根据权利要求1所述的一种大靶面探测器阵列式多级半导体制冷装置，其特征在于：熔融的低温焊料冷却后，在焊缝处形成金相组织，使阵列式多级半导体制冷器(3)与冷板(2)和热沉(4)之间形成无...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建立，陈涛，刘昌华，曹景太，李洪文，刘洋，张恒，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22