【技术实现步骤摘要】
一种插片机吸盘传输装置
本技术涉及硅片生产设备
,特别涉及一种插片机吸盘传输装置。
技术介绍
现有技术中,插片机插片过程中用于分片的吸片装置有水平放置的结构,通过一个与吸水泵相连的塑料板上的一个直径5mm的孔把硅片水平吸起,然后通过皮带的摩擦带动硅片前移传输。此种装置在硅片吸起传输过程中容易在吸盘吸起硅片传输中前边一片硅片后半部分和后边一片硅片前半部分因为吸盘孔同时吸起导致叠加情况产生,在传输轨道传输后无法插入片盒,被分选机构弹出导致碎片或者由于不能顺利进入片盒造成后部追片而碎片。
技术实现思路
本技术针对现有技术中插片机水平吸盘分片装置容易叠片、粉片的问题,提供一种适用于垂直分片的插片机吸盘传输装置,通过改变吸盘传输装置分片的方向,使硅片沿垂直状态分片,以克服分片时容易叠片和粘连的问题,减少碎片率。本技术的目的是这样实现的,一种插片机吸盘传输装置,包括竖直设置于插片机水槽中的同步带,所述同步带的上侧和下侧传动连接有同步带轮,所述同步带的内侧滑动贴设有吸盘盒,所述吸盘盒内设有容水腔,所述 ...
【技术保护点】
1.一种插片机吸盘传输装置,包括竖直设置于插片机水槽中的同步带,所述同步带的上侧和下侧传动连接有同步带轮,其特征在于,所述同步带的内侧滑动贴设有吸盘盒,所述吸盘盒内设有容水腔,所述吸盘盒与同步带贴合的表面设有凸条,所述同步带表面滑动配合设有凹槽,所述凸条和凹槽的长度方向与同步带的传动方向相同,所述吸盘盒对应的凸条长度方向上设有吸水孔,所述吸水孔对应的同步带的凹槽上间隔排布有若干组通水孔,所述吸盘盒相异于同步带贴合面的部位设有与吸盘盒内部连通的抽吸口,所述抽吸口用于与抽水泵连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种插片机吸盘传输装置,包括竖直设置于插片机水槽中的同步带,所述同步带的上侧和下侧传动连接有同步带轮,其特征在于,所述同步带的内侧滑动贴设有吸盘盒,所述吸盘盒内设有容水腔,所述吸盘盒与同步带贴合的表面设有凸条,所述同步带表面滑动配合设有凹槽,所述凸条和凹槽的长度方向与同步带的传动方向相同,所述吸盘盒对应的凸条长度方向上设有吸水孔,所述吸水孔对应的同步带的凹槽上间隔排布有若干组通水孔,所述吸盘盒相异于同步带贴合面的部位设有与吸盘盒内部连通的抽吸口,所述抽吸口用于与抽水泵连接。
2.根据权利要求1所述的插片机吸盘传输装置,其特征在于,所述吸盘盒包括相互对合的前盖和后盖,所述前盖和后盖对合的周向边缘密封配合,所述前盖与同步带滑动贴紧,所述抽吸口位于后盖。
3.根据权利要求2所述的插片机吸盘传输装置,其特征在于,所述同步带沿同步带轮的轴向并列设有两条,吸盘盒与两条同步带贴合的表面分别设有所述凸条...
【专利技术属性】
技术研发人员:李洪飞,
申请(专利权)人:扬州续笙新能源科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。