一种用于泡生法生长蓝宝石单晶的异形籽晶结构及其生长方法技术

技术编号:24841995 阅读:43 留言:0更新日期:2020-07-10 18:59
本发明专利技术提供了一种用于泡生法生长蓝宝石单晶的异形籽晶结构及其生长方法。它包括底部异形结构、竖直方向籽晶条结构和籽晶夹结构,底部异形结构异形籽晶结构底部做倒圆角处理,端面与熔体液面接触;竖直方向籽晶条结构为方形或圆柱形,上端安装在籽晶夹结构内,下端与底部异形结构连接;籽晶夹结构连接籽晶和热交换器,底部异形结构与竖直方向籽晶条结构连接。本发明专利技术底部异形结构的倒圆角处理,可降低引晶环节的工艺时长,提升引晶效率和结晶效率,降低晶体中缺陷密度。异形籽晶可制作成任意晶向,适于生长不同晶向的晶体。

【技术实现步骤摘要】
一种用于泡生法生长蓝宝石单晶的异形籽晶结构及其生长方法
本专利技术涉及蓝宝石生长领域,具体涉及一种用于泡生法生长蓝宝石单晶的异形籽晶结构。
技术介绍
蓝宝石为氧化铝(Al2O3)单晶,晶体构形为六方晶格结构,常用的晶向有A向、C向、M向及R向。由于蓝宝石晶体绝缘、介电常数稳定等特性,同时具有优异的光学性能、物理性能和稳定的化学性能,广泛应用于衬底材料和各种光学元器件、窗口材料等领域。蓝宝石晶体有多种生长方法,如提拉法、泡生法、热交换法、倒模法、坩埚下降法和温度梯度法。尽管蓝宝石生长方法各种各样,但目前泡生法是缺陷最小,尺寸最易大化的工艺方法。窗口材料和衬底材料对蓝宝石晶体质量的需求是不同的,衬底材料对蓝宝石晶体缺陷的要求较严格,泡生法生长蓝宝石晶体会遗传籽晶的晶格结构和缺陷,同时籽晶与熔体的接触面积影响结晶效率。传统泡生法晶体生长过程中,采用方形或圆柱形籽晶进行引晶操作,引晶完成后通过籽晶热交换器为晶体生长提供结晶驱动力,结晶效率低,熔体中气泡和其他杂质不易排出,从而影响晶体质量。
技术实现思路
本专利技术的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于泡生法生长蓝宝石单晶的异形籽晶结构,其特征在于它包括底部异形结构、竖直方向籽晶条结构和籽晶夹结构,底部异形结构异形籽晶结构底部做倒圆角处理,端面与熔体液面接触;竖直方向籽晶条结构为方形或圆柱形,上端安装在籽晶夹结构内,下端与底部异形结构连接;籽晶夹结构连接籽晶和热交换器,底部异形结构与竖直方向籽晶条结构连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于泡生法生长蓝宝石单晶的异形籽晶结构,其特征在于它包括底部异形结构、竖直方向籽晶条结构和籽晶夹结构,底部异形结构异形籽晶结构底部做倒圆角处理,端面与熔体液面接触;竖直方向籽晶条结构为方形或圆柱形,上端安装在籽晶夹结构内,下端与底部异形结构连接;籽晶夹结构连接籽晶和热交换器,底部异形结构与竖直方向籽晶条结构连接。


2.根据权利要求1所述的一种用于泡生法生长蓝宝石单晶的异形籽晶结构,其特征在于所述的底部异形结构包括圆锥形、正梯形棱台、倒梯形棱台、三角锥、圆柱、圆管形或方管形形状的底部结构。


3.根据权利要求2所述的一种用于泡生法生长蓝宝石单晶的异形籽晶结构,其特征在于所述的底部轴向剖面图的角度为α角,其中α角的范围是5°≤α≤175°。


4.根据权利要求3所述的一种用于泡生法生长蓝宝石单晶的异形籽晶结构,其特征在于所述的异形籽晶结构表面经粗磨、精磨和抛光加工。


5.根据权利要求4所述的一种用于泡生法生长蓝宝石单晶的异形籽晶结构,其特征在于所述的异形籽晶结构,圆柱形籽晶干的轴向是C向、M向、A向、R向及其它晶向。


6.根据权利要求5所述的一种用于泡生法生长蓝宝石单晶的异形籽晶结构,其特征在于所述的异形籽晶结构,...

【专利技术属性】
技术研发人员:左洪波杨鑫宏李铁
申请(专利权)人:哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司
类型:发明
国别省市:黑龙;23

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