一种新型真空腔体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型真空腔体，主要包括外框、导流壳、转座、插管、中杆、滑块和盖板，所述外框底端设置有通风口，所述外框底端位于通风口处固定安装有导流壳，导流壳顶端固定安装有盖板，盖板底端侧壁与导流壳围设形成十字槽，所述盖板端部靠近导流壳边缘处侧壁处开设有端孔，所述盖板位于十字槽范围的侧壁设置有对称设置的第一折片、第二折片和第三折片。本实用新型专利技术在结构上设计合理，本装置内部采用遮蔽型破气结构，在不影响腔体内部工作空间的情况下，降低气体对料件的直接冲击；外部改进型破气结构，增大破气孔径，减小破气气流速度，降低气体对料件的直接冲击。

【技术实现步骤摘要】
一种新型真空腔体
本技术涉及一种真空腔体，具体是一种新型真空腔体。
技术介绍
真空腔体破气，是指将洁净干燥的气体，通过破气孔灌入真空腔体的过程。当腔体内气压值达到大气压强后，开启腔体阀门，取出腔体内的料件。生产时，腔体内真空度小于1Pa，腔体内外气压差达到105Pa，在极短的时间内，气体将以“冲击波”的形式，冲入腔体内部，对位于破气孔一侧的料件，产生较大冲击(作用力大于10N/cm2)。在极端情况下，会将料件“吹起”，如镀膜遮蔽治具上盖，在质量较轻、受力面积较大时，会被“吹起”，并卡在腔体上部结构中，进而造成载盘传动失效、产品刮碰不良等问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种新型真空腔体，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型真空腔体，主要包括外框、导流壳、转座、插管、中杆、滑块和盖板，所述外框底端设置有通风口，所述外框底端位于通风口处固定安装有导流壳，导流壳顶端固定安装有盖板，盖板底端侧壁与导流壳围设形成十字槽，所述盖板端部靠近导流壳边缘处侧壁处开设有端孔，所述盖板位于十字槽范围的侧壁设置有对称设置的第一折片、第二折片和第三折片，所述盖板位于第一折片、第二折片和第三折片处设置有通孔口，所述导流壳底端中部固定安装有转座，转座内侧下部设置有卡接槽，所述转座内侧下部插接安装有插管，插管外侧上部侧壁固定安装有对称设置的支板，所述支板通过螺栓与转座旋接，所述插管内侧下部固定安装有底架，底架顶端中部固定安装有中杆，中杆外侧下部套设安装有滑块，滑块边缘处开设有上下贯穿的通孔，所述中杆外侧位于滑块上部套设安装有弹簧，弹簧底端固定连接滑块顶端侧壁，所述中杆上部外壁固定安装有弹簧板，弹簧板底端侧壁固定连接弹簧顶端。作为本技术进一步的方案：所述盖板底端中部固定安装有插座，所述中杆顶端插接安装在插座内部。作为本技术再进一步的方案：所述插管顶端侧壁与转座顶端内壁之间压接安装有衬环。作为本技术再进一步的方案：所述滑块内侧中部固定安装有耐磨套，耐磨套内壁与中杆外壁滑动接触。作为本技术再进一步的方案：所述外框前后侧壁设置有带有法兰的装配口。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术在结构上设计合理，本装置内部采用遮蔽型破气结构，在不影响腔体内部工作空间的情况下，降低气体对料件的直接冲击；外部改进型破气结构，增大破气孔径，减小破气气流速度，降低气体对料件的直接冲击。附图说明图1为新型真空腔体的结构示意图。图2为新型真空腔体中转座、插管、中杆、滑块和支板之间仰视角度的结构示意图。图3为新型真空腔体中外框、转座、插管、中杆和滑块之间主视角度的结构示意图。图4为新型真空腔体中盖板、导流壳、中杆和外框之间的结构示意图。图中：外框1、导流壳2、转座3、插管4、底架5、中杆6、支板7、耐磨套8、通孔9、滑块10、第一折片11、通孔口12、插座13、十字槽14、衬环15、弹簧16、弹簧板17、端孔18、第二折片19、第三折片20、盖板21、卡接槽22。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请参阅图1～4，本技术实施例中，一种新型真空腔体，主要包括外框1、导流壳2、转座3、插管4、中杆6、滑块10和盖板21，所述外框1底端设置有通风口，所述外框1底端位于通风口处固定安装有导流壳2，导流壳2顶端固定安装有盖板21，盖板21底端侧壁与导流壳2围设形成十字槽14，所述盖板21端部靠近导流壳2边缘处侧壁处开设有端孔18，所述盖板21位于十字槽14范围的侧壁设置有对称设置的第一折片11、第二折片19和第三折片20，所述盖板21位于第一折片11、第二折片19和第三折片20处设置有通孔口12，所述导流壳2底端中部固定安装有转座3，转座3内侧下部设置有卡接槽22，所述转座3内侧下部插接安装有插管4，插管4外侧上部侧壁固定安装有对称设置的支板7，所述支板7通过螺栓与转座3旋接，所述插管4内侧下部固定安装有底架5，底架5顶端中部固定安装有中杆6，中杆6外侧下部套设安装有滑块10，滑块10边缘处开设有上下贯穿的通孔9，所述中杆6外侧位于滑块10上部套设安装有弹簧16，弹簧16底端固定连接滑块10顶端侧壁，所述中杆6上部外壁固定安装有弹簧板17，弹簧板17底端侧壁固定连接弹簧16顶端。所述盖板21底端中部固定安装有插座13，所述中杆6顶端插接安装在插座13内部。所述插管4顶端侧壁与转座3顶端内壁之间压接安装有衬环15。所述滑块10内侧中部固定安装有耐磨套8，耐磨套8内壁与中杆6外壁滑动接触。所述外框1前后侧壁设置有带有法兰的装配口。本技术的工作原理是：本技术涉及一种新型真空腔体，使用时，将真空腔体装配在整体治具中，插管4通过螺栓配合法兰与外部供气阀固定导通，在进行低压加工后，通过外部供气阀将外框1与外部空气导通，抵消气压差以开启设备，在进气时，首先外部空气进入插管4底端，前期气压差大，空气从通孔9通过，此时进气量少，缓速的进行前期气压平衡，且在此时，气压差推动滑块10上移并将弹簧16压缩，当滑块10移动到插管4上部时，此时滑块10外壁与插管4内壁不再接触，进气量增大，进行中期大幅进气，当内外气压逐渐接近后，弹簧16推动滑块10复位，将滑块10推回插管4下部，外部空气仍通过通孔9进入外框1内部，直到气压持平，通过在进气初期施加阻力，前期少量进气缩小部分气压差，防止气压差最大时，进气量过大，造成气压冲击，且进气时，空气进入导流壳2内部的十字槽14时，过气通道横截面积大幅增加，将气压分流，减小出气的冲击力，通过导流壳2顶端的盖板21、第一折片11、第二折片19和第三折片20进行遮挡，避免气流直接冲击，且通过通孔口12和端孔18出气时，气流路径交叉，相互吹拂进行紊流，进一步减少气流冲击力，在进行内部装置易损件更换时，旋松螺栓，将支板7旋出卡接槽2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型真空腔体，主要包括外框(1)、导流壳(2)、转座(3)、插管(4)、中杆(6)、滑块(10)和盖板(21)，其特征在于，所述外框(1)底端设置有通风口，所述外框(1)底端位于通风口处固定安装有导流壳(2)，导流壳(2)顶端固定安装有盖板(21)，盖板(21)底端侧壁与导流壳(2)围设形成十字槽(14)，所述盖板(21)端部靠近导流壳(2)边缘处侧壁处开设有端孔(18)，所述盖板(21)位于十字槽(14)范围的侧壁设置有对称设置的第一折片(11)、第二折片(19)和第三折片(20)，所述盖板(21)位于第一折片(11)、第二折片(19)和第三折片(20)处设置有通孔口(12)，所述导流壳(2)底端中部固定安装有转座(3)，转座(3)内侧下部设置有卡接槽(22)，所述转座(3)内侧下部插接安装有插管(4)，插管(4)外侧上部侧壁固定安装有对称设置的支板(7)，所述支板(7)通过螺栓与转座(3)旋接，所述插管(4)内侧下部固定安装有底架(5)，底架(5)顶端中部固定安装有中杆(6)，中杆(6)外侧下部套设安装有滑块(10)，滑块(10)边缘处开设有上下贯穿的通孔(9)，所述中杆(6)外侧位于滑块(10)上部套设安装有弹簧(16)，弹簧(16)底端固定连接滑块(10)顶端侧壁，所述中杆(6)上部外壁固定安装有弹簧板(17)，弹簧板(17)底端侧壁固定连接弹簧(16)顶端。/n...

【技术特征摘要】
1.一种新型真空腔体，主要包括外框(1)、导流壳(2)、转座(3)、插管(4)、中杆(6)、滑块(10)和盖板(21)，其特征在于，所述外框(1)底端设置有通风口，所述外框(1)底端位于通风口处固定安装有导流壳(2)，导流壳(2)顶端固定安装有盖板(21)，盖板(21)底端侧壁与导流壳(2)围设形成十字槽(14)，所述盖板(21)端部靠近导流壳(2)边缘处侧壁处开设有端孔(18)，所述盖板(21)位于十字槽(14)范围的侧壁设置有对称设置的第一折片(11)、第二折片(19)和第三折片(20)，所述盖板(21)位于第一折片(11)、第二折片(19)和第三折片(20)处设置有通孔口(12)，所述导流壳(2)底端中部固定安装有转座(3)，转座(3)内侧下部设置有卡接槽(22)，所述转座(3)内侧下部插接安装有插管(4)，插管(4)外侧上部侧壁固定安装有对称设置的支板(7)，所述支板(7)通过螺栓与转座(3)旋接，所述插管(4)内侧下部固定安装有底架(5)，底架(5)顶端中部固定安装有中杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜建峰，
申请(专利权)人：赫得纳米科技昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32