泄漏检测系统及其制造和使用方法技术方案

本发明专利技术提供了一个泄漏检测系统，所述泄漏检测系统包括：传感器，所述传感器具有第一状态和第二状态，所述第一状态具有干燥时的第一条件和润湿时的第二条件，所述第二状态适于监测所述传感器的可操作性；通信设备，所述通信设备可操作地连接至所述传感器；以及附接元件，所述附接元件适于将所述泄漏检测系统附接至待监测流体泄漏的流体部件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】泄漏检测系统及其制造和使用方法
本公开涉及泄漏检测系统及其制造和使用方法。
技术介绍
许多工业应用和商业应用涉及流体的使用，这些流体可用于例如加工步骤、制造功能(诸如掩蔽或蚀刻)或温度控制中。鉴于一些流体具有不利的环境影响或生物影响，它们可能特别有害或需要特别关注。其他流体可能非常有价值，例如半导体制备材料。许多行业持续要求准确有效地监测有害流体或有价值的流体的泄漏的方法。附图简要说明实施例以实例的方式示出，并非旨在受到附图的限制。图1包括根据一个实施例的示例性泄漏检测系统的透视图。图2包括根据多个实施例的多个示例性泄漏检测系统的侧正视图，所述多个示例性泄漏检测系统设置在接合流体部件之间的流体界面上。图3包括根据一个实施例的传感器的示意图。图4包括根据一个实施例的传感器的横截面正视图。图5包括根据另一个实施例的传感器的横截面正视图。图6包括根据另一个实施例的传感器的横截面正视图。图7包括根据另一个实施例的传感器的示意图。图8包括根据一个实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种泄漏检测系统，包括：/n传感器，所述传感器具有第一状态和第二状态，所述第一状态包括干燥时的第一条件和润湿时的第二条件，所述第二状态适于监测所述传感器的可操作性；/n通信设备，所述通信设备可操作地连接至所述传感器；以及/n附接元件，所述附接元件适于将所述泄漏检测系统附接至待监测流体泄漏的流体部件。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171127 US 62/590,8831.一种泄漏检测系统，包括：
传感器，所述传感器具有第一状态和第二状态，所述第一状态包括干燥时的第一条件和润湿时的第二条件，所述第二状态适于监测所述传感器的可操作性；
通信设备，所述通信设备可操作地连接至所述传感器；以及
附接元件，所述附接元件适于将所述泄漏检测系统附接至待监测流体泄漏的流体部件。


2.一种流体系统，包括：
流体部件，所述流体部件具有流体；以及
泄漏检测系统，所述泄漏检测系统附接至所述流体部件，所述泄漏检测系统包括：
传感器，所述传感器具有第一状态和第二状态，所述第一状态包括干燥时的第一条件和润湿时的第二条件，所述第二状态适于监测所述传感器的可操作性；
通信设备，所述通信设备可操作地连接至所述传感器；以及
附接元件，所述附接元件适于将所述泄漏检测系统附接至待监测流体泄漏的流体部件。


3.一种使用泄漏检测系统的方法，包括：
提供至少一个泄漏检测系统，所述至少一个泄漏检测系统包括：
传感器，所述传感器具有第一状态和第二状态，所述第一状态包括干燥时的第一条件和润湿时的第二条件，所述第二状态适于监测所述传感器的可操作性；
通信设备，所述通信设备可操作地连接至所述传感器；以及
附接元件，所述附接元件适于将所述泄漏检测系统附接至待监测流体泄漏的流体部件；
将所述至少一个泄漏检测系统附接至所述待监测流体泄漏的流体部件。


4.根据权利要求1所述的泄漏检测系统，其中所述传感器包括：基板；以及第一检测元件，所述第一检测元件与所述基板连通，其中所述第一检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷蒙德·艾伦·卡尔，詹姆斯·克里斯托弗·卡尔特，斯特凡·多米，查尔斯·S·戈卢布，朱利安·纳莱，希·B·阮，杰拉尔德·H·林，
申请(专利权)人：美国圣戈班性能塑料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US