电镀设备和使用该电镀设备的电镀方法技术

电镀设备和使用该电镀设备的电镀方法。一种电镀设备，包括镀槽和在镀槽中沿水平方向并配置成支撑基板的台架。电镀设备还包括在基板的两侧的多个阴极和在基板上的阳极，阳极与基板间隔开并且被配置为可在第一方向上移动。

【技术实现步骤摘要】
电镀设备和使用该电镀设备的电镀方法
本公开涉及电镀设备和使用该电镀设备的电镀方法，更具体地，涉及通过水平镀法形成均匀镀层的电镀设备和使用该电镀设备的电镀方法。
技术介绍
镀敷用于通过给予材料和零件的表面功能性质(例如耐腐蚀性、耐久性和导电性)或通过物理、化学和电化学处理改善外观来增加最终产品的附加值。因此，它已广泛用于材料和零件工业。镀敷可分为在水溶液中进行的湿式镀敷和在大气和真空中进行的干式镀敷。湿式镀敷的示例包括电镀、无电镀、阳极氧化和化学转化处理，干式镀敷的示例包括热浸、热喷涂、物理沉积和化学沉积。湿式镀敷具有镀敷速度快，经济可行性高，易于添加各种功能性质，便于连续加工和批量生产等优点。
技术实现思路
本公开的专利技术人使用这样的镀敷工艺并开发了用于形成掩模的工艺，例如，在制造有机发光显示设备时使用的精细金属掩模(FMM)。根据设计，有机发光显示设备的有机层可以具有图案化的发光层结构。在具有图案化发光层结构的有机发光显示设备中，对于各个像素，发射不同颜色光的发光层是分开的。例如，用于发射红光的红色有机发本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电镀设备，所述电镀设备包括：/n镀槽；/n沿水平方向的基板；/n在所述基板的一个表面上的第一方向上在所述基板的第一侧和第二侧的多个阴极；和/n在所述基板上的阳极，所述阳极与所述基板间隔开并且被配置为能在所述第一方向上移动。/n

【技术特征摘要】
20181231 KR 10-2018-01735571.一种电镀设备，所述电镀设备包括：
镀槽；
沿水平方向的基板；
在所述基板的一个表面上的第一方向上在所述基板的第一侧和第二侧的多个阴极；和
在所述基板上的阳极，所述阳极与所述基板间隔开并且被配置为能在所述第一方向上移动。


2.根据权利要求1所述的电镀设备，其中所述多个阴极包括：
在所述基板的所述第一侧的多个第一阴极，和
在所述基板的所述第二侧的多个第二阴极，并且
所述多个第一阴极中的每一个被配置为对应于所述多个第二阴极中的每一个。


3.根据权利要求2所述的电镀设备，所述电镀设备还包括：
电源单元，所述电源单元与所述多个阴极和所述阳极电连接以施加电流；和
控制器，所述控制器被配置为控制所述电源单元基于所述基板上的对应于所述阳极的位置的镀敷面积来调节施加到所述多个阴极的电压。


4.根据权利要求1所述的电镀设备，
其中，在所述基板的所述一个表面上，所述阳极在所述第一方向上的长度短于所述阳极在垂直于所述第一方向的第二方向上的长度。


5.根据权利要求4所述的电镀设备，其中，所述阳极包括多个子阳极，所述多个子阳极彼此间隔开。


6.根据权利要求5所述的电镀设备，其中所述阳极还包括在所述多个子阳极之间的至少一个绝缘层。


7.根据权利要求6所述的电镀设备，其中：
所述多个子阳极中的每一个在所述第二方向上延伸，并且
所述多个子阳极和所述至少一个绝缘层在所述第一方向上交替设置。


8.根据权利要求6所述的电镀设备，其中：
所述多个子阳极中的每一个在所述第一方向上延伸，并且
所述多个子阳极和所述至少一个绝缘层在所述第二方向上交替设置。


9.根据权利要求5所述的电镀设备，其中所述多个子阳极以矩阵形式设置在平面上。


10.根据权利要求1所述的电镀设备，还包括所述镀槽中沿水平方向并配置为支撑所述基板的台架。


11.一种水平电镀设备，所述水平电镀设备包括：
具有填充镀液的空间的镀槽；
多个第一阴极和多个第二阴极，所述多个第一阴极和所述多个第二阴极设置成在所述镀槽中彼此面对并且被配置为向各个镀敷区域施加不同的电流密度；和
在所述多个第一阴极和所述多个第二阴极上的阳极，所述阳极被配置为能在所述多个第一阴极和所述多个第二阴极之间移动。


12.根据权利要求11所述的水平电镀设备，其中当...

【专利技术属性】
技术研发人员：金高泰，金祐赞，崔畅埈，文相喆，金顼，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR