一种具有垂直升降功能的自动开关门装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，轴承c利用转轴c与轴承固定块连接，轴承a直接或间接与轴承c连接固定，气缸或电缸与轴承固定块分别安装在连接板的相应位置，连接板与气动滑台或电动滑台的滑块连接固定，气动滑台或电动滑台安装在门框组件相应位置，连接杆通过转轴a和转轴b分别与轴承a和轴承b相连接，轴承b与气缸或电缸活动杆相连，门板安装于连接杆上，通过气缸或电缸活动杆的伸缩运动及轴承a、b、c的联动配合，来实现门板的开关动作，之后通过气动滑台或电动滑台的滑块上下运动，实现门板垂直升降的功能。

An automatic door opening and closing device with vertical lifting function

【技术实现步骤摘要】
一种具有垂直升降功能的自动开关门装置
本技术涉及半导体设备中物料进出需要自动开关门，特别涉及一种具有垂直升降功能的自动开关门装置。
技术介绍
在半导体设备中，有物料进出的部位，需要设置供物料进出的通道，公知的半导体设备中，物料进出部位的通道，一种是完全敞开式，一种是带有平行开关门装置，敞开式的通道不能满足半导体设备洁净度的要求，而带有平行开关门装置，占用空间较大，结构繁琐。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，具体技术方案如下：一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，包括门板、连接杆、气动滑台或电动滑台、轴承a、轴承b、轴承c、轴承固定块，气缸或电缸和连接板；所述轴承c通过转轴c与轴承固定块相连接；轴承a与轴承c直接连接固定或通过部件间接连接固定。所述连接板可任意形状，气缸或电缸与轴承固定块分别固定在连接板上下两端；所述轴承b通过转轴b与连接杆相连；所述轴承a通过转轴a与连接杆相连；所述气缸或电缸活动杆与轴承b连接；...

【技术保护点】
1.一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，其特征在于：包括门板、连接杆、气动滑台或电动滑台、轴承a、轴承b、轴承c、轴承固定块，气缸或电缸和连接板；/n所述轴承c通过转轴c与轴承固定块相连接；/n轴承a与轴承c直接连接固定或通过部件间接连接固定；/n所述连接板可任意形状，气缸或电缸与轴承固定块分别固定在连接板上下两端；/n所述轴承b通过转轴b与连接杆相连；/n所述轴承a通过转轴a与连接杆相连；/n所述气缸或电缸活动杆与轴承b连接；/n所述连接板与设置在所述气动滑台或电动滑台上的滑块连接固定；/n所述气动滑台或电动滑台固定在门框组件上；/n所述门板安装在连接板上；/n所述门板组件开有供物料进出的...

【技术特征摘要】
1.一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，其特征在于：包括门板、连接杆、气动滑台或电动滑台、轴承a、轴承b、轴承c、轴承固定块，气缸或电缸和连接板；
所述轴承c通过转轴c与轴承固定块相连接；
轴承a与轴承c直接连接固定或通过部件间接连接固定；
所述连接板可任意形状，气缸或电缸与轴承固定块分别固定在连接板上下两端；
所述轴承b通过转轴b与连接杆相连；
所述轴承a通过转轴a与连接杆相连；
所述气缸或电缸活动杆与轴承b连接；
所述连接板与设置在所述气动滑台或电动滑台上的滑块连接固定；
所述气动滑台或电动滑台固定在门框组件上；
所述门板安装在连接板上；
所述门板组件开有供物料进出的通道口。


2.如权利要求1所述的一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，其特征在于：与轴承固定块连接的轴承c数量可以任意选择，轴承c数量为一个时，可布置在...

【专利技术属性】
技术研发人员：张爽，魏猛，郭聪，
申请(专利权)人：沈阳芯达半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21