一种具有垂直升降功能的自动开关门装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，轴承c利用转轴c与轴承固定块连接，轴承a直接或间接与轴承c连接固定，气缸或电缸与轴承固定块分别安装在连接板的相应位置，连接板与气动滑台或电动滑台的滑块连接固定，气动滑台或电动滑台安装在门框组件相应位置，连接杆通过转轴a和转轴b分别与轴承a和轴承b相连接，轴承b与气缸或电缸活动杆相连，门板安装于连接杆上，通过气缸或电缸活动杆的伸缩运动及轴承a、b、c的联动配合，来实现门板的开关动作，之后通过气动滑台或电动滑台的滑块上下运动，实现门板垂直升降的功能。

An automatic door opening and closing device with vertical lifting function

【技术实现步骤摘要】
一种具有垂直升降功能的自动开关门装置
本技术涉及半导体设备中物料进出需要自动开关门，特别涉及一种具有垂直升降功能的自动开关门装置。
技术介绍
在半导体设备中，有物料进出的部位，需要设置供物料进出的通道，公知的半导体设备中，物料进出部位的通道，一种是完全敞开式，一种是带有平行开关门装置，敞开式的通道不能满足半导体设备洁净度的要求，而带有平行开关门装置，占用空间较大，结构繁琐。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，具体技术方案如下：一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，包括门板、连接杆、气动滑台或电动滑台、轴承a、轴承b、轴承c、轴承固定块，气缸或电缸和连接板；所述轴承c通过转轴c与轴承固定块相连接；轴承a与轴承c直接连接固定或通过部件间接连接固定。所述连接板可任意形状，气缸或电缸与轴承固定块分别固定在连接板上下两端；所述轴承b通过转轴b与连接杆相连；所述轴承a通过转轴a与连接杆相连；所述气缸或电缸活动杆与轴承b连接；所述连接板与设置在所述气动滑台或电动滑台上的滑块连接固定；所述气动滑台或电动滑台固定在门框组件上；所述门板安装在连接板上；所述门板组件开有供物料进出的通道口。所述的一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，其优选方案为与轴承固定块连接的轴承c数量可以任意选择，轴承c数量为一个时，可布置在轴承固定块的任意一侧，轴承c的数量为两个时，布置在轴承固定块的两侧，轴承c可以是任意结构。所述的一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，其优选方案为所述的轴承c与轴承固定块的连接方式为通过转轴C铰接的形式连接，或通过任意种形式连接。所述的一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，其优选方案为气缸或电缸中的气缸具有接气口a和接气口b，电缸无接气口。气缸或电缸活动杆具有伸缩功能，且活动杆可以为杆状或板状。所述的一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，其优选方案为所述气动滑台或电动滑台中的气动滑台具有接气口c和接气口d，电动滑台无接气口。所述的一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，其优选方案为连接杆通过转轴a或其他任意方式与轴承a连接，连接杆通过转轴b或任意方式与轴承b连接。一种具有垂直升降功能的自动开关门装置的工作原理：该装置初始状态为气缸或电缸活动杆处于伸出状态，气动滑台或电动滑台的滑块处于气动滑台的上限位处，通过轴承a，轴承b和轴承c与连接杆的互相作用，使连接杆带动门板处于门框组件的通道口处，即物料进出通道口处于封闭状态，当门板需要打开时，气缸或电缸活动杆做回缩运动，此时门板以特定角度打开，然后气动滑台或电动滑台的滑块向下运动，带动门板同时向下运动，从而使通道口敞开。本技术的有益效果：本技术结构简单，节约成本。通过气缸或电缸活动杆做伸缩运动，带动门板以特定角度打开或者关闭，再经过气动滑台或电动滑台滑块的上下运动，带动门板上升或下降。该装置配合巧妙，结构简单，易于实现，并能节省空间。因此采用此结构具有重大的社会效益和经济效益。附图说明图1为一种具有垂直升降功能的自动开关门装置前视图；图2为一种具有垂直升降功能的自动开关门装置侧视图(通道口关闭)；图3为一种具有垂直升降功能的自动开关门装置后视图；图4为门板以特定角度打开状态；图5为门板打开后下降到滑块下限位的状态(通道口打开)。图中，1为门板，2为连接杆，3为轴承a，4为接气口c，5为转轴a，6为连接板，7为转轴b，8为轴承b，9为气动滑台或电动滑台，10为接气口d，11为滑块，12为轴承固定块，13为轴承c，14为转轴c，15为接气口a，16为接气口b，17为气缸或电缸，18为气缸或电缸活动杆，19为门框组件，20为通道口。具体实施方式如图1-5所示一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，包括门板1、连接杆2、气动滑台或电动滑台9、轴承a3、轴承b8、轴承c13、轴承固定块12，气缸或电缸17和连接板6；所述轴承c13通过转轴c14与轴承固定块相连接；轴承a3与轴承c13直接连接固定或通过其件间接连接固定。所述连接板6可任意形状，气缸或电缸17与轴承固定块12分别固定在连接板6上下两端；所述轴承b8通过转轴b7与连接杆2相连；所述轴承a3通过转轴a5与连接杆2相连；所述气缸或电缸活动杆18与轴承b8连接；所述连接板6与设置在所述气动滑台或电动滑台9上的滑块11连接固定；所述气动滑台或电动滑台9固定在门框组件19上；所述门板1安装在连接板6上；所述门板组件19开有供物料进出的通道口20。与轴承固定块12连接的轴承c13数量可以任意选择，轴承c13数量为一个时，可布置在轴承固定块12的任意一侧，轴承c13的数量为两个时，布置在轴承固定块12的两侧，轴承c13可以是任意结构。所述的轴承c13与轴承固定块12的连接方式为通过转轴C14铰接的形式连接，或通过任意种形式连接。气缸或电缸17中的气缸具有接气口a15和接气口b16，电缸无接气口。气缸或电缸活动杆18具有伸缩功能，且活动杆可以为杆状或板状或形式。所述气动滑台或电动滑台9中的气动滑台具有接气口c4和接气口d10，电动滑台无接气口。连接杆2通过转轴a5或其他任意方式与轴承a3连接，连接杆2通过转轴b7或其他任意方式与轴承b8连接。该装置的初始状态如图1，图2，图3所示，气动滑台或电动滑台9的滑块处于上限位，气缸或电缸的活动杆处于伸出状态。此时，门板1处于门框组件19的通道口处，将通道口封闭。当有物料进出，需要打开通道口时，首先，气缸或电缸活动杆通过气控或电控做回缩运动，通过连接杆2与轴承a3的回转运动、轴承固定块12与轴承c13的回转运动、连接杆2与轴承8的回转运动，三种回转运动的联动，使连接杆2带动门板1以特定的角度离开门框组件19，如图4所示。然后气动滑台或电动滑台9的滑块11通过气控或电动从初始的上限位，向下运动，运动到下限位为止，滑块11的向下运动过程中，带动连接板6、连接杆2及门板1等一系列部件同时向下运动，进而将门板组件19的通道口20打开，供物料进出使用,如图5所示。同理，当需要关闭通道口时，滑块11带动连接板6、连接杆2及门板1等一系列部件同时向上运动，到达上限位，然后气缸或电缸活动杆18通过气控或电控做伸出运动，通过连接杆2与轴承a3的回转运动、轴承固定块12与轴承c13的回转运动、连接杆2与轴承8的回转运动，三种回转运动的联动，使连接杆2带动门板1以特定运动路线运动到门框组件19的通道口20处，如图4所示，此时将通道口20封闭，回到初始状态。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，其特征在于：包括门板、连接杆、气动滑台或电动滑台、轴承a、轴承b、轴承c、轴承固定块，气缸或电缸和连接板；/n所述轴承c通过转轴c与轴承固定块相连接；/n轴承a与轴承c直接连接固定或通过部件间接连接固定；/n所述连接板可任意形状，气缸或电缸与轴承固定块分别固定在连接板上下两端；/n所述轴承b通过转轴b与连接杆相连；/n所述轴承a通过转轴a与连接杆相连；/n所述气缸或电缸活动杆与轴承b连接；/n所述连接板与设置在所述气动滑台或电动滑台上的滑块连接固定；/n所述气动滑台或电动滑台固定在门框组件上；/n所述门板安装在连接板上；/n所述门板组件开有供物料进出的通道口。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，其特征在于：包括门板、连接杆、气动滑台或电动滑台、轴承a、轴承b、轴承c、轴承固定块，气缸或电缸和连接板；
所述轴承c通过转轴c与轴承固定块相连接；
轴承a与轴承c直接连接固定或通过部件间接连接固定；
所述连接板可任意形状，气缸或电缸与轴承固定块分别固定在连接板上下两端；
所述轴承b通过转轴b与连接杆相连；
所述轴承a通过转轴a与连接杆相连；
所述气缸或电缸活动杆与轴承b连接；
所述连接板与设置在所述气动滑台或电动滑台上的滑块连接固定；
所述气动滑台或电动滑台固定在门框组件上；
所述门板安装在连接板上；
所述门板组件开有供物料进出的通道口。


2.如权利要求1所述的一种具有垂直升降功能的自动开关门装置，其特征在于：与轴承固定块连接的轴承c数量可以任意选择，轴承c数量为一个时，可布置在...

【专利技术属性】
技术研发人员：张爽，魏猛，郭聪，
申请(专利权)人：沈阳芯达半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21