化学气相沉积装置及其电极制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出一种化学气相沉积装置及其电极，化学气相沉积装置包括加热机构，所述加热机构包括电极及热丝，所述电极包括本体及限位件，所述热丝穿设于所述本体，所述限位件穿设于所述本体并抵持所述热丝。所述电极能够防止热丝断裂。

Chemical vapor deposition device and its electrode

The utility model provides a chemical vapor deposition device and its electrode. The chemical vapor deposition device includes a heating mechanism, the heating mechanism includes an electrode and a hot wire, the electrode includes a body and a limiting piece, the hot wire is penetrated in the body, and the limiting member is penetrated in the body and supports the hot wire. The electrode can prevent the hot wire from breaking.

【技术实现步骤摘要】
化学气相沉积装置及其电极
本技术涉及一种化学气相沉积装置及其电极。
技术介绍
通过化学气相沉积制备金刚石膜已得到了广泛的应用。但传统的化学气相沉积装置其沉积面积较小，沉积速率较低，且受温度影响导致膜厚分布不均匀。因此，在现有的化学气相沉积装置中布建大面积热丝就成为沉积大面积金刚石的关键。现有的热丝直接穿设在电极中，容易存在接触不良或热丝与电极间容易磨损等问题。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种热丝与电极接触较好的化学气相沉积装置及其电极以解决上述问题。一种化学气相沉积装置，包括加热机构，所述加热机构包括电极及热丝，所述电极包括本体及限位件，所述热丝穿设于所述本体，所述限位件穿设于所述本体并抵持所述热丝。进一步地，所述本体设有通孔及安装孔，所述安装孔与所述通孔连通，所述通孔用于穿设所述热丝，所述限位件穿设于所述安装孔并抵持所述热丝。进一步地，所述安装孔的轴向与所述通孔的轴向相垂直。进一步地，所述限位件能够沿所述安装孔移动，以改变伸入所述通孔中的长度。进一步地，所述限位件螺纹连接于所述安装孔中。进一步地，所述限位件包括杆体及设于所述杆体一端的止挡端，所述杆体伸入所述安装孔中，所述止挡端被所述安装孔的孔壁止挡。进一步地，所述本体为圆柱体，所述通孔沿所述本体的轴向贯穿所述电极的相对两端，所述安装孔设于所述本体的周壁上并沿径向延伸与所述通孔连通。一种电极，应用于化学气相沉积装置中，所述电极包括本体及限位件，所述本体用于套设于热丝上，所述限位件穿设于所述本体并抵持所述热丝。本技术的化学气相沉积装置通过在电极的本体上穿设限位件以抵持热丝。能够防止在热丝与电极连接接触不良，导致断路，热丝断裂的问题。使热丝在大面积直线型布丝时始终保持水平状态，减缓热丝应力，减小热丝断裂风险，同时方便操作布丝，从而提高了效率。附图说明图1是本技术实施方式的化学气相沉积装置的示意图。图2是图1中加热机构的电极与热丝的剖视图。主要元件符号说明化学气相沉积装置100反应室10气源控制机构20加热机构30支架31电极32本体321通孔3211安装孔3212限位件323杆体3231止挡端3233热丝33排气处理机构40如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本技术。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。下面结合附图，对本技术的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。请参见图1，本技术一实施方式提供一种化学气相沉积装置100。所述化学气相沉积装置100包括反应室设于所述反应室10、气源控制机构20、加热机构30及排气处理机构40。所述气源控制机构20用于向所述反应室10中通入各种气体。所述加热机构30用于加热所述气体以使其分解。所述排气处理机构40用于处理反应后的气体并进行排放。所述加热机构30包括支架31、电极32及热丝33。所述支架31固定于所述反应室10内。所述电极32固定于所述支架31上。所述热丝33的两端分别穿设于两个所述电极32。所述电极32连接外部电源以加热所述热丝33。请一并参见图2，所述电极32包括本体321及限位件323。所述热丝33穿设于所述本体321，所述限位件323穿设于所述本体321并抵持所述热丝33。所述本体321设有通孔3211及安装孔3212。所述安装孔3212与所述通孔3211连通。所述通孔3211用于穿设所述热丝33。所述限位件323穿设于所述安装孔3212并抵持所述热丝33。优选地，所述安装孔3212的轴向与所述通孔3211的轴向相垂直。所述本体321优选为圆柱体。所述通孔3211沿所述电极32的轴向贯穿所述电极32的相对两端。所述安装孔3212设于所述电极32的周壁上并沿径向延伸与所述通孔3211连通。在至少一实施例中，所述限位件323能够沿所述安装孔3212移动，以改变伸入所述通孔3211中的长度。在至少一实施例中，所述限位件323螺纹连接于所述安装孔3212中。在至少一实施例中，所述限位件323包括杆体3231及设于所述杆体3231一端的止挡端3233。所述杆体3231伸入所述安装孔3212中。所述止挡端3233被所述安装孔3212的孔壁止挡。所述限位件323可以为一螺丝。在至少一实施例中，所述电极32的材质为钼，所述热丝33的材质为钽。本技术的化学气相沉积装置100通过在电极32的本体321上穿设限位件323以抵持热丝33，保证热丝33与电极32紧密连接。能够防止在热丝33与电极32连接接触不良，导致断路，热丝33断裂的问题。使热丝33在大面积直线型布丝时与电极32平行，减缓热丝33应力，减小热丝33断裂风险，同时方便操作布丝，从而提高了效率。以上所述，仅是本技术的较佳实施方式而已，并非对本技术任何形式上的限制，虽然本技术已是较佳实施方式揭露如上，并非用以限定本技术，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本技术技术方案范围内，当可利用上述揭示的
技术实现思路
做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施方式，但凡是未脱离本技术技术方案内容，依据本技术的技术实质对以上实施方式所做的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学气相沉积装置，包括加热机构，所述加热机构包括电极及热丝，其特征在于：所述电极包括本体及限位件，所述热丝穿设置于所述本体中，所述限位件固定在所述本体并保持所述热丝与所述本体紧密连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积装置，包括加热机构，所述加热机构包括电极及热丝，其特征在于：所述电极包括本体及限位件，所述热丝穿设置于所述本体中，所述限位件固定在所述本体并保持所述热丝与所述本体紧密连接。


2.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于：所述本体设有通孔及安装孔，所述安装孔与所述通孔连通，所述通孔用于穿设所述热丝，所述限位件穿设于所述安装孔并抵持所述热丝。


3.如权利要求2所述的化学气相沉积装置，其特征在于：所述安装孔的轴向与所述通孔的轴向相垂直。


4.如权利要求2所述的化学气相沉积装置，其特征在于：所述限位件能够沿所述安装孔移动，以改变伸入所述通孔中的长度。
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【专利技术属性】
技术研发人员：李军旗，袁晓波，陈惠，陈涛，陈万，潘飞，
申请(专利权)人：深圳精匠云创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44