超净高效电子级氢氟酸提纯装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了超净高效电子级氢氟酸提纯装置，包括第一化学处理槽，所述第一化学处理槽的一侧从左至右横向依次排列有第一蒸馏塔、第一冷凝槽、第一输送泵、第二化学处理槽、第二蒸馏塔、第二冷凝槽、第二输送泵、第三化学处理槽、第三蒸馏塔、第三冷凝槽、第三输送泵和储料罐；该装置通过管道输送将化学处理槽与多个蒸馏塔和冷凝槽相连接，循环三次氧化蒸馏冷凝过程，保证氢氟酸纯净度；通过对冷凝槽检测三个取样点中氢氟酸的主要杂质含量，调整高锰酸钾与双氧水配比参数，保证氧化剂中的离子与氢氟酸分离，方便氧化剂比例实时调控；利用已有调控参数记录，可整理出氧化剂量和杂质含量对应关系，方便以后操作。

Ultra clean and high efficiency electron grade hydrofluoric acid purification unit

【技术实现步骤摘要】
超净高效电子级氢氟酸提纯装置
本技术涉及氢氟酸提纯
，具体为超净高效电子级氢氟酸提纯装置。
技术介绍
电子级氢氟酸广泛应用于电子领域，其纯度要求非常高，工业级氢氟酸中含有较多砷等杂质，因此大部分企业在提纯过程中，都会加入强氧化剂将三价态砷氧化变为不挥发的五价砷，结合蒸馏和冷凝，可使其在精馏过程中富集于塔釜中而被除去，然而氧化剂的加入又会造成新的离子介入，给提纯工艺带来新的负担，为此，提出超净高效电子级氢氟酸提纯装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供超净高效电子级氢氟酸提纯装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：超净高效电子级氢氟酸提纯装置，包括第一化学处理槽，所述第一化学处理槽的一侧从左至右横向依次排列有第一蒸馏塔、第一冷凝槽、第一输送泵、第二化学处理槽、第二蒸馏塔、第二冷凝槽、第二输送泵、第三化学处理槽、第三蒸馏塔、第三冷凝槽、第三输送泵和储料罐，所述第一化学处理槽的底部一侧通过管道连通于第一蒸馏塔的下部一侧，所述第一蒸馏塔的底部通过管道连通于第一冷凝槽的顶部一侧，所述第一冷凝槽的底部通过管道连通于第一输送泵的进水口，所述第一输送泵的出水口通过管道连通于第二化学处理槽的一侧上部，所述第二化学处理槽的底部一侧通过管道连通于第二蒸馏塔的一侧下部，所述第二蒸馏塔的底部通过管道连通于第二冷凝槽的顶部一侧，所述第二冷凝槽的底部通过管道连通于第二输送泵的入水口，所述第二输送泵的出水口通过管道连通于第三化学处理槽的一侧上部，所述第三化学处理槽的底部一侧通过管道连通于第三蒸馏塔的一侧下部，所述第三蒸馏塔的底部通过管道连通于第三冷凝槽的顶部一侧，所述第三冷凝槽的底部通过管道连通于第三输送泵的入水口，所述第三输送泵的出水口通过管道连通于储料罐的一侧上部。作为优选，上述所述第一化学处理槽、第二化学处理槽和第三化学处理槽均包括第一槽体，所述第一槽体的一侧固定有循环泵，所述循环泵的进液口通过管道与第一化学处理槽的底部相连通，所述循环泵的出液口通过管道与第一化学处理槽的上部相连通，所述第一槽体的顶部一侧开设有进料口。作为优选，上述所述第一蒸馏塔、第二蒸馏塔和第三蒸馏塔均包括罐体，所述罐体外侧设有夹套，所述夹套的内腔设有环形腔，所述环形腔的底端连通有热媒进入管，所述环形腔的顶端连通有热媒排出管，所述罐体的顶部固定有磁力泵，所述磁力泵的进液口连通有插入罐体内腔下部的抽管，所述磁力泵的出液口通过回流管与罐体的顶部相连通。作为优选，上述所述第一冷凝槽、第二冷凝槽和第三冷凝槽均包括第二槽体，所述第二槽体的顶部设有列管换热器，所述第二槽体的顶部固定有抽风机，所述抽风机的出风口通过管道与列管换热器的出风端相连通。作为优选，上述所述第二槽体的外侧连通有取样管，所述取样管的数量不少于三个。作为优选，上述所述储料罐的底部一侧连通有排料管，所述排料管和取样管的管口处设有阀门。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该装置通过管道输送将化学处理槽与多个蒸馏塔和冷凝槽相连接，循环三次氧化蒸馏冷凝过程，保证氢氟酸纯净度；通过对冷凝槽检测三个取样点中氢氟酸的主要杂质含量，调整高锰酸钾与双氧水配比参数，保证氧化剂中的离子与氢氟酸分离，方便氧化剂比例实时调控；利用已有调控参数记录，可整理出氧化剂量和杂质含量对应关系，方便以后操作。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的第一化学处理槽结构示意图；图3为本技术的第一蒸馏塔结构示意图；图4为本技术的第一冷凝槽结构示意图。图中：1-第一化学处理槽；2-第一蒸馏塔；3-第一冷凝槽；4-第二化学处理槽；5-第二蒸馏塔；6-第二冷凝槽；7-第三化学处理槽；8-第三蒸馏塔；9-第三冷凝槽；10-储料罐；11-第一输送泵；12-第二输送泵；13-第三输送泵；14-第一槽体；15-进料口；16-循环泵；17-磁力泵；18-罐体；19-环形腔；20-热媒排出管；21-热媒进入管；22-第二槽体；23-列管换热器；24-抽风机；25-夹套；26-取样管；27-排料管；28-回流管；29-抽管。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：超净高效电子级氢氟酸提纯装置，包括材质为不锈钢制成的第一化学处理槽1，所述第一化学处理槽1的一侧从左至右横向依次排列有第一蒸馏塔2、第一冷凝槽3、第一输送泵11、第二化学处理槽4、第二蒸馏塔5、第二冷凝槽6、第二输送泵12、第三化学处理槽7、第三蒸馏塔8、第三冷凝槽9、第三输送泵13和储料罐10，所述第一化学处理槽1的底部一侧通过管道连通于第一蒸馏塔2的下部一侧，所述第一蒸馏塔2的底部通过管道连通于第一冷凝槽3的顶部一侧，所述第一冷凝槽3的底部通过管道连通于第一输送泵11的进水口，所述第一输送泵11的出水口通过管道连通于第二化学处理槽4的一侧上部，所述第二化学处理槽4的底部一侧通过管道连通于第二蒸馏塔5的一侧下部，所述第二蒸馏塔5的底部通过管道连通于第二冷凝槽6的顶部一侧，所述第二冷凝槽6的底部通过管道连通于第二输送泵12的入水口，所述第二输送泵12的出水口通过管道连通于第三化学处理槽7的一侧上部，所述第三化学处理槽7的底部一侧通过管道连通于第三蒸馏塔8的一侧下部，所述第三蒸馏塔8的底部通过管道连通于第三冷凝槽9的顶部一侧，所述第三冷凝槽9的底部通过管道连通于第三输送泵13的入水口，所述第三输送泵13的出水口通过管道连通于储料罐10的一侧上部。所有化学处理槽、蒸馏塔、冷凝槽、储料罐10均采用不锈钢材质制成。所述第一化学处理槽1、第二化学处理槽4和第三化学处理槽7均包括第一槽体14，所述第一槽体14的一侧固定有循环泵16，所述循环泵16的进液口通过管道与第一化学处理槽1的底部相连通，所述循环泵16的出液口通过管道与第一化学处理槽1的上部相连通，所述第一槽体14的顶部一侧开设有进料口15；循环泵16带动液体循环搅拌能够使得氢氟酸与氧化剂快速混合接触。所述第一蒸馏塔2、第二蒸馏塔5和第三蒸馏塔8均包括罐体18，所述罐体18外侧设有夹套25，所述夹套25的内腔设有环形腔19，所述环形腔19的底端连通有热媒进入管21，所述环形腔19的顶端连通有热媒排出管20，所述罐体18的顶部固定有磁力泵17，所述磁力泵17的进液口连通有插入罐体18内腔下部的抽管29，所述磁力泵17的出液口通过回流管28与罐体18的顶部相连通；夹套25能够对罐体18内进行加热，磁力泵17用于带动罐体18内液体循环流动进行搅拌。所述第一冷凝槽3、第二冷凝槽6和第三冷凝槽9均包括第二槽体22，所述第二槽体22的顶部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.超净高效电子级氢氟酸提纯装置，包括第一化学处理槽，其特征在于：所述第一化学处理槽的一侧从左至右横向依次排列有第一蒸馏塔、第一冷凝槽、第一输送泵、第二化学处理槽、第二蒸馏塔、第二冷凝槽、第二输送泵、第三化学处理槽、第三蒸馏塔、第三冷凝槽、第三输送泵和储料罐，所述第一化学处理槽的底部一侧通过管道连通于第一蒸馏塔的下部一侧，所述第一蒸馏塔的底部通过管道连通于第一冷凝槽的顶部一侧，所述第一冷凝槽的底部通过管道连通于第一输送泵的进水口，所述第一输送泵的出水口通过管道连通于第二化学处理槽的一侧上部，所述第二化学处理槽的底部一侧通过管道连通于第二蒸馏塔的一侧下部，所述第二蒸馏塔的底部通过管道连通于第二冷凝槽的顶部一侧，所述第二冷凝槽的底部通过管道连通于第二输送泵的入水口，所述第二输送泵的出水口通过管道连通于第三化学处理槽的一侧上部，所述第三化学处理槽的底部一侧通过管道连通于第三蒸馏塔的一侧下部，所述第三蒸馏塔的底部通过管道连通于第三冷凝槽的顶部一侧，所述第三冷凝槽的底部通过管道连通于第三输送泵的入水口，所述第三输送泵的出水口通过管道连通于储料罐的一侧上部。/n

【技术特征摘要】
1.超净高效电子级氢氟酸提纯装置，包括第一化学处理槽，其特征在于：所述第一化学处理槽的一侧从左至右横向依次排列有第一蒸馏塔、第一冷凝槽、第一输送泵、第二化学处理槽、第二蒸馏塔、第二冷凝槽、第二输送泵、第三化学处理槽、第三蒸馏塔、第三冷凝槽、第三输送泵和储料罐，所述第一化学处理槽的底部一侧通过管道连通于第一蒸馏塔的下部一侧，所述第一蒸馏塔的底部通过管道连通于第一冷凝槽的顶部一侧，所述第一冷凝槽的底部通过管道连通于第一输送泵的进水口，所述第一输送泵的出水口通过管道连通于第二化学处理槽的一侧上部，所述第二化学处理槽的底部一侧通过管道连通于第二蒸馏塔的一侧下部，所述第二蒸馏塔的底部通过管道连通于第二冷凝槽的顶部一侧，所述第二冷凝槽的底部通过管道连通于第二输送泵的入水口，所述第二输送泵的出水口通过管道连通于第三化学处理槽的一侧上部，所述第三化学处理槽的底部一侧通过管道连通于第三蒸馏塔的一侧下部，所述第三蒸馏塔的底部通过管道连通于第三冷凝槽的顶部一侧，所述第三冷凝槽的底部通过管道连通于第三输送泵的入水口，所述第三输送泵的出水口通过管道连通于储料罐的一侧上部。


2.根据权利要求1所述的超净高效电子级氢氟酸提纯装置，其特征在于：所述第一化学处理槽、第二化学处理槽和第三化学处理槽均包括第一槽体，所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖志鹏，董俊卿，王鑫，金朝帅，邹严宇，
申请(专利权)人：浙江森田新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33