超净高效电子级氢氟酸提纯装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了超净高效电子级氢氟酸提纯装置，包括第一化学处理槽，所述第一化学处理槽的一侧从左至右横向依次排列有第一蒸馏塔、第一冷凝槽、第一输送泵、第二化学处理槽、第二蒸馏塔、第二冷凝槽、第二输送泵、第三化学处理槽、第三蒸馏塔、第三冷凝槽、第三输送泵和储料罐；该装置通过管道输送将化学处理槽与多个蒸馏塔和冷凝槽相连接，循环三次氧化蒸馏冷凝过程，保证氢氟酸纯净度；通过对冷凝槽检测三个取样点中氢氟酸的主要杂质含量，调整高锰酸钾与双氧水配比参数，保证氧化剂中的离子与氢氟酸分离，方便氧化剂比例实时调控；利用已有调控参数记录，可整理出氧化剂量和杂质含量对应关系，方便以后操作。

Ultra clean and high efficiency electron grade hydrofluoric acid purification unit

【技术实现步骤摘要】
超净高效电子级氢氟酸提纯装置
本技术涉及氢氟酸提纯
，具体为超净高效电子级氢氟酸提纯装置。
技术介绍
电子级氢氟酸广泛应用于电子领域，其纯度要求非常高，工业级氢氟酸中含有较多砷等杂质，因此大部分企业在提纯过程中，都会加入强氧化剂将三价态砷氧化变为不挥发的五价砷，结合蒸馏和冷凝，可使其在精馏过程中富集于塔釜中而被除去，然而氧化剂的加入又会造成新的离子介入，给提纯工艺带来新的负担，为此，提出超净高效电子级氢氟酸提纯装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供超净高效电子级氢氟酸提纯装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：超净高效电子级氢氟酸提纯装置，包括第一化学处理槽，所述第一化学处理槽的一侧从左至右横向依次排列有第一蒸馏塔、第一冷凝槽、第一输送泵、第二化学处理槽、第二蒸馏塔、第二冷凝槽、第二输送泵、第三化学处理槽、第三蒸馏塔、第三冷凝槽、第三输送泵和储料罐，所述第一化学处理槽的底部一侧通过管道连通于第一蒸馏塔的下部一侧，所述第一蒸馏塔的底部通过管道连通于第一冷凝槽的顶部一侧，所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.超净高效电子级氢氟酸提纯装置，包括第一化学处理槽，其特征在于：所述第一化学处理槽的一侧从左至右横向依次排列有第一蒸馏塔、第一冷凝槽、第一输送泵、第二化学处理槽、第二蒸馏塔、第二冷凝槽、第二输送泵、第三化学处理槽、第三蒸馏塔、第三冷凝槽、第三输送泵和储料罐，所述第一化学处理槽的底部一侧通过管道连通于第一蒸馏塔的下部一侧，所述第一蒸馏塔的底部通过管道连通于第一冷凝槽的顶部一侧，所述第一冷凝槽的底部通过管道连通于第一输送泵的进水口，所述第一输送泵的出水口通过管道连通于第二化学处理槽的一侧上部，所述第二化学处理槽的底部一侧通过管道连通于第二蒸馏塔的一侧下部，所述第二蒸馏塔的底部通过管道连通于第二冷...

【技术特征摘要】
1.超净高效电子级氢氟酸提纯装置，包括第一化学处理槽，其特征在于：所述第一化学处理槽的一侧从左至右横向依次排列有第一蒸馏塔、第一冷凝槽、第一输送泵、第二化学处理槽、第二蒸馏塔、第二冷凝槽、第二输送泵、第三化学处理槽、第三蒸馏塔、第三冷凝槽、第三输送泵和储料罐，所述第一化学处理槽的底部一侧通过管道连通于第一蒸馏塔的下部一侧，所述第一蒸馏塔的底部通过管道连通于第一冷凝槽的顶部一侧，所述第一冷凝槽的底部通过管道连通于第一输送泵的进水口，所述第一输送泵的出水口通过管道连通于第二化学处理槽的一侧上部，所述第二化学处理槽的底部一侧通过管道连通于第二蒸馏塔的一侧下部，所述第二蒸馏塔的底部通过管道连通于第二冷凝槽的顶部一侧，所述第二冷凝槽的底部通过管道连通于第二输送泵的入水口，所述第二输送泵的出水口通过管道连通于第三化学处理槽的一侧上部，所述第三化学处理槽的底部一侧通过管道连通于第三蒸馏塔的一侧下部，所述第三蒸馏塔的底部通过管道连通于第三冷凝槽的顶部一侧，所述第三冷凝槽的底部通过管道连通于第三输送泵的入水口，所述第三输送泵的出水口通过管道连通于储料罐的一侧上部。


2.根据权利要求1所述的超净高效电子级氢氟酸提纯装置，其特征在于：所述第一化学处理槽、第二化学处理槽和第三化学处理槽均包括第一槽体，所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖志鹏，董俊卿，王鑫，金朝帅，邹严宇，
申请(专利权)人：浙江森田新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33