一种晶圆物料盒和晶圆物料盒搬运设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆物料盒，包括盒体和锁杆；盒体具有存放腔，存放腔的腔壁开设有承托晶圆框架的水平支撑槽；水平支撑槽形成有供晶圆框架进出的进出口；锁杆设置有沿竖直方向排列的水平避让槽和封堵部；锁杆可在其自重下相对盒体下降至其底端伸出盒体的底面的第一位置，锁杆还可相对盒体向上运动至其底端端面与盒体的底面齐平的第二位置；在锁杆位于第一位置时，封堵部正对进出口从而封堵进出口；在锁杆位于第二位置时，水平避让槽正对进出口从而打开进出口。本实用新型专利技术能在不需要额外对晶圆盒内的晶圆进行锁定或者锁定的装置进行操作的情况下，自动对放入其中的晶圆框架内的晶圆锁定和解锁锁定；本实用新型专利技术还公开了晶圆物料盒搬运设备。

The invention relates to a wafer material box and a wafer material box handling equipment

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆物料盒和晶圆物料盒搬运设备
本技术涉及半导体器件封装设备领域，尤其涉及一种用于存放晶圆的晶圆物料盒和搬运该晶圆物料盒的晶圆物料盒搬运设备。
技术介绍
目前，常将晶圆固定在晶圆框架上，晶圆框架提供工作人员或者夹持机构持握的部位，从而在工作人员或者夹持机构移送单片晶圆时，不需要直接接触晶圆而避免对晶圆表面造成磨损；同时，为了避免晶圆在外部空间移动过程中受到物理因素(如与其他物体产生撞击、摩擦等作用)或者化学因素的影响，常将固定有晶圆的晶圆框架存放在晶圆物料盒内。现有的晶圆物料盒为至少一侧无挡板的矩形框结构，晶圆物料盒内开设多个水平支撑槽，水平支撑槽的端部形成有进出口，晶圆框架通过进出口插装于水平支撑槽内而实现晶圆存放在晶圆物料盒内，但是，在采用机械手或者人工提取的方式将晶圆物料盒移动至承托平面的过程中，由于机械手的机械震动或者人工提取不平稳等因素易导致晶圆物料盒倾斜，此时，晶圆框架可能在其自重下从进出口脱离水平支撑槽，从而从晶圆物料盒无挡板的一侧掉出晶圆物料盒；因此，现有也采用设置锁销的方式来阻止晶圆框架的掉落。请参看专利文献CN102629564A，专利文献CN102629564A公开了一种晶圆盒；具体地，参看说明书第【0074-0078】段所记载的技术方案：再次引用图2，本专利技术的晶圆盒可以设置防止晶圆盒(10)内容纳的晶圆(W)在作业途中脱离的锁销(500)。上述锁销(500)具有能旋转地设置于上述各端板(100)上部一侧的旋转轴(510)，具有一体连接于上述旋转轴(510)的连接杆(520)，在上述连接杆(520)的末端，还具有沿晶圆盒(10)长度方向连接成一体的销杆(530)。而且，如图8所示，在上述端板(100)的上端，可以形成用于固定上述销杆(530)的第1固定槽(130)，在端板(100)的一侧端，可以形成用于在上述销杆(530)解除锁定时固定销杆(530)的第2固定槽(140)。此时，在上述第1固定槽(130)的内面上，可以形成至少一个以上用于防止插入第1固定槽(140)的销杆(530)脱离的固定凸起(131)。然而，上述结构中，在提取晶圆盒前，需要转动锁销至第1固定槽从而实现锁定，避免晶圆掉落；同理地，在需要存取出晶圆时，也需要转动锁销至第2固定槽从而解除锁定，以便于晶圆框架的存取；由上可知，该晶圆盒的锁销实现锁定或者解锁锁定的操作需要外部干预来实现，不利于在晶圆生产过程中和实施半导体器件封装的晶圆贴膜和切割流程之前的全自动化车间的建设。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本技术的目的之一在于提供一种晶圆物料盒，其能在不需要额外对晶圆盒内的晶圆进行锁定或者锁定的装置进行操作的情况下，实现自动对放入其中的晶圆框架内的晶圆锁定和解锁锁定。本技术的目的之一采用如下技术方案实现：一种晶圆物料盒，包括盒体；所述盒体具有用于存放晶圆框架的存放腔，所述存放腔的腔壁开设有供晶圆框架活动插装以承托晶圆框架的水平支撑槽；所述水平支撑槽的端部形成有供晶圆框架进出所述水平支撑槽的进出口；锁杆；所述盒体上位于水平支撑槽的进出口处设有竖直方向的锁杆安装位，供所述锁杆放置；所述锁杆设置有沿竖直方向排列的水平避让槽和封堵部；所述水平避让槽的两端贯通并可供晶圆框架活动穿过；所述锁杆可在其自重下相对所述盒体下降至其底端伸出所述盒体的底面的第一位置，所述锁杆还可相对所述盒体向上运动至其底端端面与盒体的底面齐平的第二位置；在所述锁杆位于所述第一位置时，所述封堵部正对所述进出口从而封堵所述进出口；在所述锁杆位于所述第二位置时，所述水平避让槽正对所述进出口从而打开所述进出口。进一步地，所述水平支撑槽的数量为多条，多条所述水平支撑槽沿所述存放腔的竖直方向依次间隔排列；所述水平避让槽的数量为多条，所述封堵部的数量为多个，多条所述水平避让槽和多个所述封堵部沿所述锁杆的竖直方向依次交替排列；在所述锁杆位于所述第一位置时，多个所述封堵部与多条所述水平支撑槽一一对应；在所述锁杆位于所述第二位置时，多条所述水平避让槽与多条所述水平支撑槽一一对应。进一步地，所述锁杆安装位为沿所述盒体上下两端贯通的竖向限位槽；所述锁杆包括杆体和固定在所述杆体顶端的限位部；所述杆体活动穿设于所述竖向限位槽内，所述限位部用于在所述锁杆位于所述第一位置时与所述竖向限位槽的顶端所在所述盒体端面相抵碰；所述水平避让槽和所述封堵部均设置在所述杆体上。进一步地，所述盒体的顶面设置有第一限位结构，所述盒体的底面设置有第二限位结构，所述第一限位结构和所述第二限位结构能够匹配插装。进一步地，所述盒体上开设有多个镂空结构。进一步地，所述盒体的顶面设置有RFID标签，所述RFID标签与所述盒体的顶面之间设置有绝缘垫片。进一步地，所述晶圆物料盒还包括提手和弹性元件；所述提手安装在所述盒体的顶面，并可在与所述盒体的顶面贴合的贴合位置和相对所述盒体的顶面倾斜向上的持握位置之间转动；所述弹性元件用于提供促使所述提手保持处于所述贴合位置的弹性应力。本技术的目的之二还公开了搬运上述晶圆物料盒的晶圆物料盒搬运设备，可设置在全自动化设置的半导体器件封装车间内，用于实现自动将上述的晶圆物料盒搬运到加工车位。本技术的目的之二采用如下技术方案实现：晶圆物料盒搬运设备，用于搬运如上述的晶圆物料盒，包括机械手；机械手包括机械臂和勾臂；所述勾臂包括连接段和托举段；所述托举段固定在所述连接段的下端并与所述连接段配合构成L型；所述机械臂与所述连接段的上端传动连接，并用于带动所述勾臂分别沿X、Y、Z轴三向运动；所述盒体的顶面设置有受力臂，所述受力臂与所述盒体的顶面之间间隔形成供所述托举段进出的进出空间。进一步地，所述托举段上方设置有定位插销；所述受力臂开设有槽口向下的定位插槽，所述定位插槽用于供对应所述定位插销插装。进一步地，所述受力臂沿所述盒体的宽度方向延伸，所述受力臂在所述盒体的长度方向的相对两端分别设置有侧挡板；所述侧挡板沿所述盒体的长度方向延伸。相比现有技术，本技术的有益效果在于：本技术通过设置带有阻挡部和水平避让槽的锁杆，且锁杆可相对盒体上下运动；如此，在盒体脱离外部承托平面时，锁杆在其自重下可向下移动，进而使锁杆上的封堵部封堵水平支撑槽的进出口，无需外部干预即可实现锁定，保证晶圆框架不会掉出盒体；同时地，在正常工作需要取放晶圆时，本晶圆物料盒将会被放置在外部承托平面上，在盒体放置在外部承托平面过程中，锁杆在外部承托平面的抵顶下相对盒体向上运动，而使得锁杆上的水平避让槽与水平支撑槽的进水口相对应，无需外部干预即可实现解除锁定，以便于晶圆框架的取出。附图说明图1为本技术晶圆物料盒的结构示意图之一(锁杆位于第二位置)；图2为本技术图1局部A的结构放大图；图3为本技术晶圆物料盒的结构示意图之二(锁杆位于第二位置)；图4为本技术晶圆物料盒的结构示意图之二(锁杆位于第一位置)；图5为本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆物料盒，其特征在于：包括/n盒体；所述盒体具有用于存放晶圆框架的存放腔，所述存放腔的腔壁开设有供晶圆框架活动插装以承托晶圆框架的水平支撑槽；所述水平支撑槽的端部形成有供晶圆框架进出所述水平支撑槽的进出口；/n锁杆；所述盒体上位于水平支撑槽的进出口处设有竖直方向的锁杆安装位，供所述锁杆放置；所述锁杆设置有竖直方向排列的水平避让槽和封堵部；所述水平避让槽的两端贯通并可供晶圆框架活动穿过；所述锁杆可在其自重下相对所述盒体下降至其底端伸出所述盒体的底面的第一位置，所述锁杆还可相对所述盒体向上运动至其底端端面与盒体的底面齐平的第二位置；在所述锁杆位于所述第一位置时，所述封堵部正对所述进出口从而封堵所述进出口；在所述锁杆位于所述第二位置时，所述水平避让槽正对所述进出口从而打开所述进出口。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆物料盒，其特征在于：包括
盒体；所述盒体具有用于存放晶圆框架的存放腔，所述存放腔的腔壁开设有供晶圆框架活动插装以承托晶圆框架的水平支撑槽；所述水平支撑槽的端部形成有供晶圆框架进出所述水平支撑槽的进出口；
锁杆；所述盒体上位于水平支撑槽的进出口处设有竖直方向的锁杆安装位，供所述锁杆放置；所述锁杆设置有竖直方向排列的水平避让槽和封堵部；所述水平避让槽的两端贯通并可供晶圆框架活动穿过；所述锁杆可在其自重下相对所述盒体下降至其底端伸出所述盒体的底面的第一位置，所述锁杆还可相对所述盒体向上运动至其底端端面与盒体的底面齐平的第二位置；在所述锁杆位于所述第一位置时，所述封堵部正对所述进出口从而封堵所述进出口；在所述锁杆位于所述第二位置时，所述水平避让槽正对所述进出口从而打开所述进出口。


2.如权利要求1所述的晶圆物料盒，其特征在于：所述水平支撑槽的数量为多条，多条所述水平支撑槽沿所述存放腔的竖直方向依次间隔排列；所述水平避让槽的数量为多条，所述封堵部的数量为多个，多条所述水平避让槽和多个所述封堵部沿所述锁杆的竖直方向依次交替排列；在所述锁杆位于所述第一位置时，多个所述封堵部与多条所述水平支撑槽一一对应；在所述锁杆位于所述第二位置时，多条所述水平避让槽与多条所述水平支撑槽一一对应。


3.如权利要求1所述的晶圆物料盒，其特征在于：所述锁杆安装位为沿所述盒体上下两端贯通的竖向限位槽；所述锁杆包括杆体和固定在所述杆体顶端的限位部；所述杆体活动穿设于所述竖向限位槽内，所述限位部用于在所述锁杆位于所述第一位置时与所述竖向限位槽的顶端所在所述盒体端面相抵碰；所述水平避让槽和所述封堵部均设置在所述杆体上。


4.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：邢家川，张震，汪世军，李彬，
申请(专利权)人：深圳赛意法微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44