流化床式反应容器及三氯硅烷的制造方法技术

本发明专利技术提供一种能抑制反应容器内壁的腐蚀/损耗的流化床式反应容器及三氯硅烷的制造方法。流化床式反应容器使金属硅粉体与氯化氢气体进行反应而生成三氯硅烷。具备立设于容器主体的底面即分散盘(11)上的多个喷出喷嘴(20)。在喷出喷嘴(20)上形成有将氯化氢气体向侧方吹出的气体喷出开口(22a)。在多个喷出喷嘴(20)中的与容器主体的外壁(10a)邻接的第一喷出喷嘴(20a)上，以不会向外壁(10a)侧吹出氯化氢气体的方式形成有气体喷出开口(22a)。

Fluidized bed reactor and manufacturing method of trichlorosilane

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流化床式反应容器及三氯硅烷的制造方法
本专利技术涉及一种具备多个喷出喷嘴的流化床方式反应容器及三氯硅烷的制造方法。
技术介绍
例如专利文献1中公开了一种三氯硅烷制造用反应装置，用以使金属硅粉体(Si)与氯化氢气体(HCl)进行反应来制造三氯硅烷(SiHCl3)。该三氯硅烷制造用反应装置100包括流化床式反应容器，如图4的(a)所示，具备：装置主体101，供给金属硅粉体末；以及多个氯化氢气体喷出用部件110，从装置主体101的底部101a导入氯化氢气体，且将此氯化氢气体喷出。氯化氢气体喷出用部件110如图5的(a)(b)所示，由如下部件构成：在长边方向上延伸的轴部111、以及在相对于轴部111的长边方向而交叉的方向上延伸的平面形状为六角形的头部112。在轴部111的内部形成有气体供给孔111a，该气体供给孔111a与在头部112中向六个方向放射状地延伸的喷出孔112a连通。喷出孔112a在头部112的外表面露出。由此，氯化氢气体喷出用部件110通过气体供给孔111a及喷出孔112a，向装置主体101的内部喷出氯化氢气体。现本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流化床式反应容器，使金属硅粉体与氯化氢气体进行反应而生成三氯硅烷，其特征在于，/n具备立设于容器主体的底面上的多个喷出喷嘴，/n在所述喷出喷嘴上形成有将所述氯化氢气体向侧方吹出的气体喷出开口，并且/n在所述多个喷出喷嘴中的与所述容器主体的外壁邻接的第一喷出喷嘴上，以不会对所述外壁侧吹出氯化氢气体的方式形成有所述气体喷出开口。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171120 JP 2017-2231361.一种流化床式反应容器，使金属硅粉体与氯化氢气体进行反应而生成三氯硅烷，其特征在于，
具备立设于容器主体的底面上的多个喷出喷嘴，
在所述喷出喷嘴上形成有将所述氯化氢气体向侧方吹出的气体喷出开口，并且
在所述多个喷出喷嘴中的与所述容器主体的外壁邻接的第一喷出喷嘴上，以不会对所述外壁侧吹出氯化氢气体的方式形成有所述气体喷出开口。


2.根据权利要求1所述的流化床式反应容器，其特征在于，
在所述多个喷出喷嘴中的存在于较所述第一喷出喷嘴更内侧的第二喷出喷嘴上，以向所述第二喷出喷嘴的周围放射状地喷出所述氯化氢气体的方式形成有多个所述气体喷出开口。


3.根据权利要求2所述的流化床式反应容器，其特征在于，
所述第二喷出喷嘴配置有多个，并且
以包围所述多个第二喷出喷嘴的周围的方式配置有多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：弘田贤次，荻原克弥，
申请(专利权)人：株式会社德山，
类型：发明
国别省市：日本;JP