薄膜晶体管有源层墨水及一种薄膜晶体管的制备方法技术

本发明专利技术公开薄膜晶体管有源层墨水及一种薄膜晶体管的制备方法，所述薄膜晶体管有源层墨水包括金属氧化物前驱体盐，醇醚类有机溶剂和粘度调节剂。利用高粘度醇类溶剂调节墨水的整体粘度，较高粘度的墨水能够阻碍干燥时溶质从中间向边缘的移动，从而减弱“咖啡环”现象，最终得到均匀的薄膜。醇类溶剂的沸点低于300℃，可以在高温退火的工艺中将其完全除去，从而不影响氧化物薄膜的性能。

Thin film transistor active layer ink and a preparation method of thin film transistor

【技术实现步骤摘要】
薄膜晶体管有源层墨水及一种薄膜晶体管的制备方法
本专利技术涉及薄膜晶体管领域，尤其涉及一种薄膜晶体管有源层墨水及一种薄膜晶体管的制备方法。
技术介绍
薄膜晶体管（ThinFilmTransistor，TFT）是目前平板显示器件中的核心，TFT主要由衬底、有源层、绝缘层、栅极、源极、和漏极等几个重要组成部分。其中有源层对器件性能以及制造工艺有至关重要的影响。与传统的非晶硅薄膜晶体管相比，以金属氧化物作为有源层的氧化物薄膜晶体管具有载流子迁移率高、大面积均匀性好、关态泄漏电流低、亚阈值摆幅陡等优势，更适合应用在高分辨率、高速、大尺寸显示中。氧化物薄膜晶体管采用的有源层材料主要有氧化锌、氧化铟锌、氧化铟镓锌、氧化锡、氧化锌锡，等透明金属氧化物。在传统制备工艺中，通常使用溅射等工艺来制备氧化物薄膜，这些工艺需要在高真空环境下进行，要有维持高真空的设备，具有成本高，能耗大，材料利用率低等缺点。近年来喷墨打印（InkjetPrinting）技术在电子功能器件制造领域得到快速的发展，特别是在平板显示领域引起了极大的关注，例如在OLED和QLE本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜晶体管有源层墨水，其特征在于，所述薄膜晶体管有源层墨水包括金属氧化物前驱体盐，醇醚类有机溶剂和粘度调节剂。/n

【技术特征摘要】
1.一种薄膜晶体管有源层墨水，其特征在于，所述薄膜晶体管有源层墨水包括金属氧化物前驱体盐，醇醚类有机溶剂和粘度调节剂。


2.根据权利要求1所述的薄膜晶体管有源层墨水，其特征在于，所述薄膜晶体管有源层墨水由金属氧化物前驱体盐，醇醚类有机溶剂和粘度调节剂组成。


3.根据权利要求1或2所述的薄膜晶体管有源层墨水，其特征在于，所述薄膜晶体管有源层墨水的粘度为8-20cP。


4.根据权利要求1或2所述的薄膜晶体管有源层墨水，其特征在于，所述金属氧化物前驱体盐选自金属乙酸盐，金属硝酸盐和金属氯化物盐中的一种或几种，所述金属氧化物前驱体盐中的金属选自锌、铟、镓和锡中的一种或多种。


5.根据权利要求1或2所述的薄膜晶体管有源层墨水，其特征在于，所述的粘度调节剂为有机醇，所述有机醇的粘度为10cP-100cP，所述有机醇的沸点为100-300℃；和/或，
所述醇醚类有机溶剂选自乙二醇醚或丙二醇醚中的一种或多种。


6.根据权利要求5所述的薄膜晶体管有源层墨水，其特征在于，所述的有机醇选自2-甲基环己醇、3-甲基环己醇、3,5,5-三甲基己醇、壬醇、5-乙基-2-壬醇、2,6-二甲基-4-庚醇、癸醇、乙二醇、聚乙二醇、1,2-丙二醇，1,3-丙二醇、1,2-丁二醇、1,3-丁二醇、1,4-丁二醇、2,3-丁二醇、5-戊二醇，2-丁烯-1,4-二醇、2-甲基-2,4-戊二醇、2-乙基-1,3-己二醇、1,2,6-己三醇、丙三醇和二甘醇中的一种或多种。


7.根据权利要求5所述的薄膜晶体管有...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄航，
申请(专利权)人：TCL集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44