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一种可自动烘干的旋涂机制造技术

技术编号:24754510 阅读:52 留言:0更新日期:2020-07-04 08:49
本实用新型专利技术公开一种可自动烘干的旋涂机,涉及旋涂机领域,置物箱顶部开设有圆槽和圆环槽,圆槽的中心轴和圆环槽的中心轴在同一直线上,且圆槽直径小于圆环槽内径;圆槽内固定安装有用于烘干的电热丝;圆槽内开设有贯穿置物箱顶壁的滴胶孔,置物箱顶壁内侧可拆卸安装有覆盖保护电热丝的防污罩;防污罩边缘设置有圆环凸起,圆环凸起和圆环槽先匹配,防污罩中间固定安装有圆柱筒,圆柱筒贯穿防污罩。在本实用新型专利技术中,通过设置有置物箱且设有电热丝,密封室加热,提高热量利用率,提高烘干效率;同时烘干时在置物箱内进行,防止涂膜受到污染和损坏;设置有防污罩防止在涂膜过程中,胶液溅射到电热丝上,影响电热丝工作。

A spin coating machine with automatic drying

【技术实现步骤摘要】
一种可自动烘干的旋涂机
本技术涉及旋涂机加工领域,特别涉及一种可自动烘干的旋涂机。
技术介绍
随着薄膜工艺的迅速发展,旋转涂覆式旋涂机的应用日趋广泛。旋转匀胶的基片是通过带有真空吸附通孔的圆形平盘式基片固定装置实现与电机的同步高速旋转。在每次使用旋涂机之前,都要进行的至关重要一步就是对心,即将圆形基片的圆心与承接工件的圆形平盘的圆心对齐,使之重合,以实现材料在离心力作用下的均匀涂覆。在实验室中,工作人员进行涂膜实验时,为了使薄膜达到一定的厚度,需要进行反复涂膜,制备过程中每一次涂膜完成后,为保证二次涂膜的效果,都需要对薄膜进行烘干处理。但工作人员每一次取下试样都有可能造成试样表面的污染,还有可能因操作不慎破坏试样表面薄膜,不仅造成影响薄膜质量。虽然目前出现了一些带有烘干装置的旋涂机,如专利号为201721479136.0的一种可自动烘干的匀胶机,该匀胶机匀胶机对试样涂膜完成时,打开电源开关,电热环与控制器开始工作,通过控制器控制伸缩杆,通过调整伸缩杆高度使电热环与试样保持一定的距离,然后进行加热。该操作较为繁琐,工作效率低,外放式的电热本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可自动烘干的旋涂机,所述旋涂机包括动力箱和置物箱;所述置物箱固定安装于所述动力箱上;所述动力箱底部设置有旋转电机,所述旋转电机输出轴固定连接有转轴,所述转轴贯穿所述动力箱顶壁和所述置物箱底部延伸至所述置物箱内,并固定连接有放置盘;其特征在于,所述置物箱顶部开设有圆槽和圆环槽,所述圆槽的中心轴和所述圆环槽的中心轴在同一直线上,且所述圆槽直径小于所述圆环槽内径;所述圆槽内固定安装有用于烘干的电热丝;所述圆槽内开设有贯穿所述置物箱顶壁的滴胶孔,所述置物箱顶壁内侧可拆卸安装有覆盖保护电热丝的防污罩;所述防污罩边缘设置有圆环凸起,所述圆环凸起和所述圆环槽先匹配,所述防污罩中间固定安装有圆柱筒,所...

【技术特征摘要】
1.一种可自动烘干的旋涂机,所述旋涂机包括动力箱和置物箱;所述置物箱固定安装于所述动力箱上;所述动力箱底部设置有旋转电机,所述旋转电机输出轴固定连接有转轴,所述转轴贯穿所述动力箱顶壁和所述置物箱底部延伸至所述置物箱内,并固定连接有放置盘;其特征在于,所述置物箱顶部开设有圆槽和圆环槽,所述圆槽的中心轴和所述圆环槽的中心轴在同一直线上,且所述圆槽直径小于所述圆环槽内径;所述圆槽内固定安装有用于烘干的电热丝;所述圆槽内开设有贯穿所述置物箱顶壁的滴胶孔,所述置物箱顶壁内侧可拆卸安装有覆盖保护电热丝的防污罩;所述防污罩边缘设置有圆环凸起,所述圆环凸起和所述圆环槽先匹配,所述防污罩中间固定安装有圆柱筒,所述圆柱筒贯穿所述防污罩,且所述圆柱筒外壁设置有螺纹。


2.如权利要求1所述的一种可自动烘干的旋涂机,其特征在于,所述电热丝为螺旋形,均匀布置在所述圆槽内。

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【专利技术属性】
技术研发人员:辛琦
申请(专利权)人:福州大学
类型:新型
国别省市:福建;35

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