一种质谱离子源清洗清洁装置制造方法及图纸

技术编号:24751601 阅读:53 留言:0更新日期:2020-07-04 08:15
本实用新型专利技术公开了一种质谱离子源清洗清洁装置,包括底座,所述底座的顶部固定连接有控制箱,所述控制箱内壁的底部设置有第一抽气泵,所述控制箱的顶部设置有吸气接头,所述吸气接头的底部连通有进气管,所述进气管的底端贯穿控制箱并延伸至控制箱的内部,所述进气管延伸至控制箱内部的一端与第一抽气泵的内部连通,所述控制箱内壁的顶部与底部之间且位于第一抽气泵的一侧开设有活动槽,所述第一抽气泵的出气口贯穿活动槽并延伸至活动槽的内部。该装置能够充分的对质谱离子源进行清洗,在清洗过程中,有效的避免了废气对离子源的污染,大大提高的清洗的效率,并且结构简单,清洗的成本低,大大提高了装置的实用性。

An ion source cleaning device for mass spectrometry

【技术实现步骤摘要】
一种质谱离子源清洗清洁装置
本技术涉及一种清洗领域,具体为一种质谱离子源清洗清洁装置。
技术介绍
离子源是使中性原子或分子电离,并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件,离子源也是一门具有广泛应用领域的学科,在许多基础研究领域如原子物理、等离子化学、核物理等研究中,离子源都是十分重要不可缺少的设备。传统的质谱离子源清洗清洁装置在清洗过程中存在大量的问题,比如不能充分的对质谱离子源清洗清洁装置进行清洗,造成对离子源容器的污染,而且在清洗过程中不能对废气进行处理,排放到空气中,加大了空气的污染,同时在清洗过程中清洗的速率低,成本也比较高,大大降低了质谱离子源清洗清洁装置的实用性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种质谱离子源清洗清洁装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种质谱离子源清洗清洁装置,包括底座,所述底座的顶部固定连接有控制箱,所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种质谱离子源清洗清洁装置,包括底座,其特征在于:所述底座的顶部固定连接有控制箱,所述控制箱内壁的底部设置有第一抽气泵,所述控制箱的顶部设置有吸气接头,所述吸气接头的底部连通有进气管,所述进气管的底端贯穿控制箱并延伸至控制箱的内部,所述进气管延伸至控制箱内部的一端与第一抽气泵的内部连通,所述控制箱内壁的顶部与底部之间且位于第一抽气泵的一侧开设有活动槽,所述第一抽气泵的出气口贯穿活动槽并延伸至活动槽的内部,所述活动槽内壁的顶部设置有电机,所述电机输出轴的外表面固定连接有转动轴,所述转动轴的外表面均设置有若干个活性炭板,所述转动轴的底端转动连接于活动槽内壁的底部,所述控制箱内壁的底部且位于活动...

【技术特征摘要】
1.一种质谱离子源清洗清洁装置,包括底座,其特征在于:所述底座的顶部固定连接有控制箱,所述控制箱内壁的底部设置有第一抽气泵,所述控制箱的顶部设置有吸气接头,所述吸气接头的底部连通有进气管,所述进气管的底端贯穿控制箱并延伸至控制箱的内部,所述进气管延伸至控制箱内部的一端与第一抽气泵的内部连通,所述控制箱内壁的顶部与底部之间且位于第一抽气泵的一侧开设有活动槽,所述第一抽气泵的出气口贯穿活动槽并延伸至活动槽的内部,所述活动槽内壁的顶部设置有电机,所述电机输出轴的外表面固定连接有转动轴,所述转动轴的外表面均设置有若干个活性炭板,所述转动轴的底端转动连接于活动槽内壁的底部,所述控制箱内壁的底部且位于活动槽的一侧设置有检测装置,所述检测装置的一侧连通有连接管,所述连接管的一端贯穿活动槽并延伸至活动槽的内部,所述控制箱内壁的底部且位于检测装置的一侧设置有第二抽气泵,所述控制箱内壁的顶部与底部之间固定连接有连接板,所述连接板的一侧与活动槽的一侧之间固定连接有长板,所述第二抽气泵的出气口贯穿长板并延伸至长板的顶部,所述连接板的一侧与活动槽的一侧之间且位于长板的顶部均设置有过滤板。


2.根据权利要求1所述的一种质谱离子源清洗清洁装置,...

【专利技术属性】
技术研发人员:滕磊刘钦葛怡彤
申请(专利权)人:青岛英纳维生物科技有限公司
类型:新型
国别省市:山东;37

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