一种质谱离子源清洗清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种质谱离子源清洗清洁装置，包括底座，所述底座的顶部固定连接有控制箱，所述控制箱内壁的底部设置有第一抽气泵，所述控制箱的顶部设置有吸气接头，所述吸气接头的底部连通有进气管，所述进气管的底端贯穿控制箱并延伸至控制箱的内部，所述进气管延伸至控制箱内部的一端与第一抽气泵的内部连通，所述控制箱内壁的顶部与底部之间且位于第一抽气泵的一侧开设有活动槽，所述第一抽气泵的出气口贯穿活动槽并延伸至活动槽的内部。该装置能够充分的对质谱离子源进行清洗，在清洗过程中，有效的避免了废气对离子源的污染，大大提高的清洗的效率，并且结构简单，清洗的成本低，大大提高了装置的实用性。

An ion source cleaning device for mass spectrometry

【技术实现步骤摘要】
一种质谱离子源清洗清洁装置
本技术涉及一种清洗领域，具体为一种质谱离子源清洗清洁装置。
技术介绍
离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件，离子源也是一门具有广泛应用领域的学科，在许多基础研究领域如原子物理、等离子化学、核物理等研究中，离子源都是十分重要不可缺少的设备。传统的质谱离子源清洗清洁装置在清洗过程中存在大量的问题，比如不能充分的对质谱离子源清洗清洁装置进行清洗，造成对离子源容器的污染，而且在清洗过程中不能对废气进行处理，排放到空气中，加大了空气的污染，同时在清洗过程中清洗的速率低，成本也比较高，大大降低了质谱离子源清洗清洁装置的实用性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种质谱离子源清洗清洁装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种质谱离子源清洗清洁装置，包括底座，所述底座的顶部固定连接有控制箱，所述控制箱内壁的底部设置有第一抽气泵，所述控制箱的顶部设置有吸气接头，所述吸气接头的底部连通有进气管，所述进气管的底端贯穿控制箱并延伸至控制箱的内部，所述进气管延伸至控制箱内部的一端与第一抽气泵的内部连通，所述控制箱内壁的顶部与底部之间且位于第一抽气泵的一侧开设有活动槽，所述第一抽气泵的出气口贯穿活动槽并延伸至活动槽的内部，所述活动槽内壁的顶部设置有电机，所述电机输出轴的外表面固定连接有转动轴，所述转动轴的外表面均设置有若干个活性炭板，所述转动轴的底端转动连接于活动槽内壁的底部，所述控制箱内壁的底部且位于活动槽的一侧设置有检测装置，所述检测装置的一侧连通有连接管，所述连接管的一端贯穿活动槽并延伸至活动槽的内部，所述控制箱内壁的底部且位于检测装置的一侧设置有第二抽气泵，所述控制箱内壁的顶部与底部之间固定连接有连接板，所述连接板的一侧与活动槽的一侧之间固定连接有长板，所述第二抽气泵的出气口贯穿长板并延伸至长板的顶部，所述连接板的一侧与活动槽的一侧之间且位于长板的顶部均设置有过滤板。优选的，所述控制箱内壁的一侧与连接板的另一侧之间固定连接有固定板，所述固定板的顶部设置有吸气泵，所述吸气泵的进气口贯穿连接板并延伸至连接板的一侧，所述吸气泵的出气口贯穿固定板并延伸至固定板的底部，所述吸气泵的出气口延伸至固定板底部的一端连通有接头装置，所述接头装置的底端连通有若干个喷气喷头。优选的，所述接头装置包括两个套环，两个所述套环相对的一侧设置开设有管槽，所述管槽的内部设置有防滑层，所述防滑层的内部设置有密封层，所述密封层的内部设置有滤网。优选的，所述控制箱内壁的底部且位于连接板的另一侧通过支撑杆固定连接有离子源容器，所述喷气喷头的底部贯穿离子源容器并延伸至离子源容器的内部。优选的，所述离子源容器的底部连通有排气管，所述排气管的一端贯穿控制箱并延伸至控制箱的外部。优选的，所述第二抽气泵的进气口与检测装置的内部连通。与现有技术相比，本技术的有益效果，在第一抽气泵的作用下，吸气接头吸收空气，将空气吸进进气管中，进而进入活动槽中，通过转动轴上的活性炭板对空气中含有的杂质进行吸收净化，避免空气的废气污染离子源，电机带动转动轴转动能够快速的对空气中杂质的处理；通过处理好的空气通过连接管进入检测装置中，对气体的纯度进行检测，如果检测出杂质的含量多，此时关闭开关，空气将会在进入活动槽中再进行吸附除去杂质，当得到的气体达标时，打开开关使得气体在第二抽气泵的作用下进入过滤板中，为了能够得到纯度更高的气体；通过吸气泵的作用将气体进入接头装置中，为了提高接头装置的气密性以及便于拆卸进行更换和清洗，该装置设置的密封层起到密封的关键，为了防止在连接时方便连接，设置的防滑层能够很好的便于连接接头；将气体进过接头装置进入喷气喷头内部，对离子源进行充分的清洗，可以均匀的对离子源进行清洗，将离子源容器进行通电，通过气体进行对离子源的清洗，能够快速的进行清洗，将离子源清洗过后的气体通过设置在排气管上的活性炭进行吸附最终排放到控制箱的外部；该装置能够充分的对质谱离子源进行清洗，在清洗过程中，有效的避免了废气对离子源的污染，大大提高的清洗的效率，并且结构简单，清洗的成本低，大大提高了装置的实用性。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的接头装置的内部结构示意图。图中：1、底座；2、控制箱；3、第一抽气泵；4、吸气接头；5、进气管；6、活动槽；7、电机；8、转动轴；9、检测装置；10、连接管；11、第二抽气泵；12、连接板；13、长板；14、过滤板；15、固定板；16、吸气泵；17、接头装置；1701、套环；1702、管槽；1703、防滑层；1704、密封层；1705、滤网；18、喷气喷头；19、离子源容器；20、排气管；21、活性炭板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，本技术提供的一种实施例：一种质谱离子源清洗清洁装置，包括底座1，所述底座1的顶部固定连接有控制箱2，所述控制箱2内壁的底部设置有第一抽气泵3，所述控制箱2的顶部设置有吸气接头4，所述吸气接头4的底部连通有进气管5，所述进气管5的底端贯穿控制箱2并延伸至控制箱2的内部，所述进气管5延伸至控制箱2内部的一端与第一抽气泵3的内部连通，所述控制箱2内壁的顶部与底部之间且位于第一抽气泵3的一侧开设有活动槽6，所述第一抽气泵3的出气口贯穿活动槽6并延伸至活动槽6的内部，所述活动槽6内壁的顶部设置有电机7，所述电机7输出轴的外表面固定连接有转动轴8，所述转动轴8的外表面均设置有若干个活性炭板21，所述转动轴8的底端转动连接于活动槽6内壁的底部，所述控制箱2内壁的底部且位于活动槽6的一侧设置有检测装置9，所述检测装置9的一侧连通有连接管10，所述连接管10的一端贯穿活动槽6并延伸至活动槽6的内部，所述控制箱2内壁的底部且位于检测装置9的一侧设置有第二抽气泵11，所述控制箱2内壁的顶部与底部之间固定连接有连接板12，所述连接板12的一侧与活动槽6的一侧之间固定连接有长板13，所述第二抽气泵11的出气口贯穿长板13并延伸至长板13的顶部，所述连接板12的一侧与活动槽6的一侧之间且位于长板13的顶部均设置有过滤板14，所述控制箱2内壁的一侧与连接板12的另一侧之间固定连接有固定板15，所述固定板15的顶部设置有吸气泵16，所述吸气泵16的进气口贯穿连接板12并延伸至连接板12的一侧，所述吸气泵16的出气口贯穿固定板15并延伸至固定板15的底部，所述吸气泵16的出气口延伸本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种质谱离子源清洗清洁装置，包括底座，其特征在于：所述底座的顶部固定连接有控制箱，所述控制箱内壁的底部设置有第一抽气泵，所述控制箱的顶部设置有吸气接头，所述吸气接头的底部连通有进气管，所述进气管的底端贯穿控制箱并延伸至控制箱的内部，所述进气管延伸至控制箱内部的一端与第一抽气泵的内部连通，所述控制箱内壁的顶部与底部之间且位于第一抽气泵的一侧开设有活动槽，所述第一抽气泵的出气口贯穿活动槽并延伸至活动槽的内部，所述活动槽内壁的顶部设置有电机，所述电机输出轴的外表面固定连接有转动轴，所述转动轴的外表面均设置有若干个活性炭板，所述转动轴的底端转动连接于活动槽内壁的底部，所述控制箱内壁的底部且位于活动槽的一侧设置有检测装置，所述检测装置的一侧连通有连接管，所述连接管的一端贯穿活动槽并延伸至活动槽的内部，所述控制箱内壁的底部且位于检测装置的一侧设置有第二抽气泵，所述控制箱内壁的顶部与底部之间固定连接有连接板，所述连接板的一侧与活动槽的一侧之间固定连接有长板，所述第二抽气泵的出气口贯穿长板并延伸至长板的顶部，所述连接板的一侧与活动槽的一侧之间且位于长板的顶部均设置有过滤板。/n

【技术特征摘要】
1.一种质谱离子源清洗清洁装置，包括底座，其特征在于：所述底座的顶部固定连接有控制箱，所述控制箱内壁的底部设置有第一抽气泵，所述控制箱的顶部设置有吸气接头，所述吸气接头的底部连通有进气管，所述进气管的底端贯穿控制箱并延伸至控制箱的内部，所述进气管延伸至控制箱内部的一端与第一抽气泵的内部连通，所述控制箱内壁的顶部与底部之间且位于第一抽气泵的一侧开设有活动槽，所述第一抽气泵的出气口贯穿活动槽并延伸至活动槽的内部，所述活动槽内壁的顶部设置有电机，所述电机输出轴的外表面固定连接有转动轴，所述转动轴的外表面均设置有若干个活性炭板，所述转动轴的底端转动连接于活动槽内壁的底部，所述控制箱内壁的底部且位于活动槽的一侧设置有检测装置，所述检测装置的一侧连通有连接管，所述连接管的一端贯穿活动槽并延伸至活动槽的内部，所述控制箱内壁的底部且位于检测装置的一侧设置有第二抽气泵，所述控制箱内壁的顶部与底部之间固定连接有连接板，所述连接板的一侧与活动槽的一侧之间固定连接有长板，所述第二抽气泵的出气口贯穿长板并延伸至长板的顶部，所述连接板的一侧与活动槽的一侧之间且位于长板的顶部均设置有过滤板。


2.根据权利要求1所述的一种质谱离子源清洗清洁装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：滕磊，刘钦，葛怡彤，
申请(专利权)人：青岛英纳维生物科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37