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一种半导体材料研磨设备及其使用方法技术

技术编号:24741696 阅读:49 留言:0更新日期:2020-07-04 06:57
本发明专利技术公开了一种半导体材料研磨设备及其使用方法,属于半导体材料领域。一种半导体材料研磨设备,包括工作台,所述工作台的顶部外壁连接有环形板;所述工作台的顶部外壁连接有四个相互配合的弧形板,四个所述弧形板滑动连接在环形板内,所述工作台的顶部外壁还连接有限位件;所述工作台的顶部外壁连接有支撑杆,所述支撑杆的顶部外壁连接有顶板,所述顶板的顶部外壁连接有气缸,所述气缸的输出端连接有固定框,所述固定框的底部转动连接有横板;所述横板的底部转动连接有三个连接杆,三个所述连接杆的底部外壁均连接有研磨盘;本发明专利技术可对圆环形半导体材料进行研磨,且研磨效果好,研磨的更加全面,提高了工作效率。

A semiconductor material grinding equipment and its use method

【技术实现步骤摘要】
一种半导体材料研磨设备及其使用方法
本专利技术涉及半导体材料
,尤其涉及一种半导体材料研磨设备及其使用方法。
技术介绍
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用,如二极管就是采用半导体制作的器件,半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料,无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的,常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,半导体材料在生产制造过程中,需要对其表面进行研磨处理,目前市面上对圆环形半导体材料的研磨发展不够成熟,经常会导致一些边角的地方研磨不到,影响研磨效果,降低了研磨效率。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的问题,而提出的一种半导体材料研磨设备及其使用方法。为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:一种半导体材料研磨设备,包括工作台,所述工作台的顶部外壁连接有环形板,所述环形板的顶部外壁设有半导体材料本体;所述工作台的顶部外壁连接有四个相互配合的弧形板,四个所述弧形板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体材料研磨设备,包括工作台(1),其特征在于,所述工作台(1)的顶部外壁连接有环形板(104),所述环形板(104)的顶部外壁设有半导体材料本体;/n所述工作台(1)的顶部外壁连接有四个相互配合的弧形板(301),四个所述弧形板(301)滑动连接在环形板(104)内,所述工作台(1)的顶部外壁还连接有限位件;/n所述工作台(1)的顶部外壁连接有支撑杆(102),所述支撑杆(102)的顶部外壁连接有顶板(103),所述顶板(103)的顶部外壁连接有气缸(2),所述气缸(2)的输出端连接有固定框(201),所述固定框(201)的底部转动连接有横板(202);/n所述横板(202)的底部...

【技术特征摘要】
1.一种半导体材料研磨设备,包括工作台(1),其特征在于,所述工作台(1)的顶部外壁连接有环形板(104),所述环形板(104)的顶部外壁设有半导体材料本体;
所述工作台(1)的顶部外壁连接有四个相互配合的弧形板(301),四个所述弧形板(301)滑动连接在环形板(104)内,所述工作台(1)的顶部外壁还连接有限位件;
所述工作台(1)的顶部外壁连接有支撑杆(102),所述支撑杆(102)的顶部外壁连接有顶板(103),所述顶板(103)的顶部外壁连接有气缸(2),所述气缸(2)的输出端连接有固定框(201),所述固定框(201)的底部转动连接有横板(202);
所述横板(202)的底部转动连接有三个连接杆(207),三个所述连接杆(207)的底部外壁均连接有研磨盘(206)。


2.根据权利要求1所述的一种半导体材料研磨设备,其特征在于,所述固定框(201)的内壁连接有第一电机(203),所述横板(202)连接在第一电机(203)的输出端,所述横板(202)的顶部外壁连接有第二电机(204),所述第二电机(204)的输出端通过转轴连接有第一齿轮(205)。


3.根据权利要求2所述的一种半导体材料研磨设备,其特征在于,所述第一齿轮(205)设有三个,未置于第二电机(204)输出端的第一齿轮(205)转动连接在横板(202)的底部,且三个所述第一齿轮(205)相互啮合,所述连接杆(207)固定连接在第一齿轮(205)的底部。


4.根据权利要求1所述的一种半导体材料研磨设备,其特征在于,所述限位件主要包括固定块(3)、螺纹杆(305)以及转动连接在固定块(3)顶壁的第二齿轮(303),所述第二齿轮(303)转动连接在螺纹杆(305)的外壁,所述第二齿轮(303)的外壁还啮合连接有四个齿条(307),四个所述齿条(307)分别与四个弧形板(301)的内壁固定相连。


5.根据权利要求4所述的一种半导体材料研磨设备,其特征在于,所述第二齿...

【专利技术属性】
技术研发人员:夏玮玮
申请(专利权)人:夏玮玮
类型:发明
国别省市:江苏;32

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