【技术实现步骤摘要】
量测装置
本技术有关于一种量测装置，尤其是指一种用以量测风刀结构的出风风速，以及硬体变形量或平整度的量测装置。
技术介绍
随着半导体制程技术与光电技术的高度发展，液晶显示器、个人电脑或笔记型电脑等电子产品的功能也越来越成熟、越来越多样化，而这些电子产品在制作的过程中，都需要经过多道精密的制作程序以制造出轻薄短小、精密度高的电子产品；常见的液晶显示面板或半导体元件制程中，玻璃基板或半导体晶圆通常会经过多道湿式制程与其他制程的交替，以制作出最后的液晶显示面板或半导体元件；然而，在湿式制程与其他制程的转换中，常会需要将湿式制程所残留于基板上的水份或药液彻底排除，否则将会影像后续制程的良率，风刀即是用以吹移基板上药液的装置之一，由于上述的液晶显示面板或半导体元件等产品都是在奈米等级的尺寸，因此，风刀用以吹除药液的气体出气量与角度即被高度重视；因此，如何有效藉由创新的硬体设计，确实达到保有原始排除液体的效果，同时达到利用半自动化或自动化量测的方式完成风刀的风速与形变量均一性的量测，仍是湿式蚀刻机等相关产业开发业者与相关研究人员需持续努...
【技术保护点】
1.一种量测装置，用以量测一风刀结构(2)的风速与变形量，其特征在于，该量测装置(1)至少包括有：/n一量测平台(11)，包括有一基座(111)，一设于基座(111)上方的线性移载装置(112)以及一设于该线性移载装置(112)的平台(113)；/n一风速量测单元(12)，包括有一设置于该线性移载装置(112)上的该平台(113)的固定架(121)、一设置于该固定架(121)上端部的风速计(122)、一组设于该固定架(121)上端部并连接该风速计(122)的皮托管(123)，以及一设置于该固定架(121)下端部且抵靠该风刀结构(2)的抵靠件(124)，其中该皮托管(123)...
【技术特征摘要】
1.一种量测装置，用以量测一风刀结构(2)的风速与变形量，其特征在于，该量测装置(1)至少包括有：
一量测平台(11)，包括有一基座(111)，一设于基座(111)上方的线性移载装置(112)以及一设于该线性移载装置(112)的平台(113)；
一风速量测单元(12)，包括有一设置于该线性移载装置(112)上的该平台(113)的固定架(121)、一设置于该固定架(121)上端部的风速计(122)、一组设于该固定架(121)上端部并连接该风速计(122)的皮托管(123)，以及一设置于该固定架(121)下端部且抵靠该风刀结构(2)的抵靠件(124)，其中该皮托管(123)的一入气接口(1231)与该风刀结构(2)的一刀口(21)相对设置并相距一距离，以量测该刀口(21)出风的风速值，并将该风速值传送至该风速计(122)显示，而该抵靠件(124)藉由一设置于该固定架(121)的调整器(1211)调整以顶抵该风刀结构(2)；
一形变量测单元(13)，设置于该线性移载装置(112)上，且位于该风速量测单元(12)的一端部，该形变量测单元(13)包括有一量测件(130)，且该量测件(130)接近该风刀结构(2)的侧部并量测其变形量；以及
一驱动装置(14)，驱动该线性移载装置(112)于该基座(111)上滑动，以带动该风速量测单元(12)与该形变量测单元(13)量测该风刀结构(2)的风速与变形量。
2.如权利要求1所述的量测装置，其特征在于，该基座(111)上更依序设置有二个支撑件(1111)，且该支撑件(1111)其中的一端上设置有该线性移载装置(112)，且另一该支撑件(1111)上则设置有该风刀结构(2)。
3.如权利要求2所述的量测装置，其特征在于，该支撑件(1111)的一上表面(1114)设置有一龙铣平面(114)，以提供一水平基准面(1141)或一垂直基准面(1142)。
4.如权利要求3所述的量测装置，其特征在于，该线性移载装置(112)藉由至少二滑轨(1121)于该龙铣平面(114)上滑动。
5.如权利要求3所述的量测装置，其特征在于，该龙铣平面(114)上设置有一具有一斜平面(1151)以固定该风刀结构(2)的角度固定块(115)。
6.如权利要求1所述的量测装置，其特征在于，该固定架(121)设置有一角度固定器(1212)，以调整该皮托管(123)的该入气接口(1231)对准该风刀结构(2)的该刀口(21)的角度。
7.如权利要求1所述的量测装置，其特征在于，该量测件(130)为量测量表、光学位移计、雷射位移计等其中之一。
8.如权利要求1所述的量测装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：詹森雄，江家谊，
申请(专利权)人：亚智科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71
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