一种测量温度的电容式传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种测量温度的电容式传感器，为圆柱体形状，包含：圆柱状的内电极；套设于内电极外周的外电极；夹设在内电极和外电极之间的电介质薄膜；所述的内电极的热膨胀系数大于外电极的热膨胀系数；所述的电介质薄膜的厚度需小于等于外电极半径的1/100；当外周温度发生变化时，电介质薄膜因受到内电极的膨胀挤压而使其厚度发生改变，使得电容式传感器的电容值发生改变。本发明专利技术具有灵敏度高，结构简单，适用场景多等优点；且电容式传感器的感温介质具有多样选择性。

【技术实现步骤摘要】
一种测量温度的电容式传感器
本专利技术涉及温度测量
，具体涉及一种测量温度的电容式传感器。
技术介绍
温度是七个基本物理量之一，在大量应用场景中须被测量，但又不易测准。温度传感器是指能感受温度并转换成可用输出信号的传感器，是温度测量仪表的核心部分。其按测量方式可分为接触式和非接触式两类，按传感器材料及电子元件特性主要可分为热电阻和热电偶两类。不同的温度传感器适用于在不同的环境或工作条件中使用。电容式温度传感器具有测温范围宽、自加热效应小、抗电磁场干扰能力强等优点，常用于低温和超低温区域的温度测量。其具有三种电容变化机制，可以通过改变介电常数、改变极板面积以及改变极板间距来达到变电容的目的。目前，国内外主要是应用介电系数或电极间距与温度的变化关系对电容式温度传感器开展研究工作，普遍存在灵敏度不高的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种测量温度的电容式传感器，具有灵敏度高，结构简单，适用场景多等优点。为了达到上述目的，本专利技术提供了一种测量温度的电容式传感器，为圆柱体形状，包含：圆柱状的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测量温度的电容式传感器，为圆柱体形状，其特征在于，包含：圆柱状的内电极；套设于内电极外周的外电极；夹设在内电极和外电极之间的电介质薄膜；/n所述的内电极的热膨胀系数大于外电极的热膨胀系数；/n所述的电介质薄膜与外电极需要满足以下条件：/n

【技术特征摘要】
1.一种测量温度的电容式传感器，为圆柱体形状，其特征在于，包含：圆柱状的内电极；套设于内电极外周的外电极；夹设在内电极和外电极之间的电介质薄膜；
所述的内电极的热膨胀系数大于外电极的热膨胀系数；
所述的电介质薄膜与外电极需要满足以下条件：



其中，d为电介质薄膜的厚度，R外为外电极的半径；
当外周温度发生变化时，电介质薄膜因受到内电极的膨胀挤压而使其厚度发生改变，使得电容式传感器的电容值发生改变。


2.如权利要求1所述的测量温度的电容式传感器，其特征在于，所述的内电极的热膨胀系数比外电极的热膨胀系数大102倍及以上。


3.如权利要求1所述的测量温度的电容式传感器，其特征在于，所述的内电极和外电极采用金属导电材料；所述的电介质薄膜采用具有弹性的绝缘材料。


4.如权利要求1所述的测量温度的电容式传感器，其特征在于，还包含电极引线，其分别连接内电极与外电极，以将内电极和外电极分别与外部电路实现电连接。


5.如权利要求2所述的测量温度的电容式传感器，其特征在于，所述的内电极采用圆柱状的实心结构，其兼作为感温介质；所述的外电极采用圆柱状的空心结构，其两端...

【专利技术属性】
技术研发人员：王华俊，曲海山，龚明，冯云，季宇，张涛，易宇，王哲，
申请(专利权)人：上海无线电设备研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31