膜厚仪和检测设备制造技术

本实用新型专利技术涉及镀膜技术领域，具体而言，涉及一种膜厚仪和检测设备。膜厚仪包括壳体、信息接受模块、信息处理模块和信息交互模块；壳体上设置有传感器接口；传感器接口与信息接受模块电连接，信息接受模块与信息处理模块电连接，信息处理模块与信息交互模块电连接；信息接受模块被配置为接受传感器的信号并传递给信息处理模块；信息处理模块被配置为处理信息接受模块输入信息处理模块的信号，并输出处理信号；信息交互模块被配置为向外部设备传递信息处理模块的处理信号，和/或接受外部设备的交互信号并传输至信息处理模块。其能够高效、快捷地完成多种情况下对薄膜厚度的测定，其交互效果好，经济效益出众。

Film thickness gauge and testing equipment

【技术实现步骤摘要】
膜厚仪和检测设备
本技术涉及镀膜
，具体而言，涉及一种膜厚仪和检测设备。
技术介绍
真空热蒸发镀膜技术被广泛应用于平板显示器的制造领域，该技术在相应薄膜器件产业化中的应用也十分广泛。其中对固态薄膜的厚度的测定是非常重要的技术环节，现有技术常采用膜厚仪对膜厚进行检测。然而现有的膜厚仪功能单一、不能满足多种情况的测试要求。
技术实现思路
本技术的目的包括，例如，提供了一种膜厚仪和检测设备，其能够高效、快捷地完成多种情况下对薄膜厚度的测定，其交互效果好，经济效益出众。本技术的实施例可以这样实现：第一方面，本技术实施例提供一种膜厚仪，包括：壳体、信息接受模块、信息处理模块和信息交互模块；壳体上设置有传感器接口；传感器接口与信息接受模块电连接，信息接受模块与信息处理模块电连接，信息处理模块与信息交互模块电连接；信息接受模块被配置为接受传感器的信号并传递给信息处理模块；信息处理模块被配置为处理信息接受模块输入信息处理模块的信号，并输出处理信号；信息交互模块被配置为向外部设备传递信息处理模本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种膜厚仪，其特征在于，包括：/n壳体、信息接受模块、信息处理模块和信息交互模块；/n所述壳体上设置有传感器接口；/n所述传感器接口与所述信息接受模块电连接，所述信息接受模块与所述信息处理模块电连接，所述信息处理模块与所述信息交互模块电连接；所述信息接受模块被配置为接受传感器的信号并传递给所述信息处理模块；/n所述信息处理模块被配置为处理所述信息接受模块输入所述信息处理模块的信号，并输出处理信号；所述信息交互模块被配置为向外部设备传递所述信息处理模块的处理信号，和/或接受所述外部设备的交互信号并传输至信息处理模块。/n

【技术特征摘要】
1.一种膜厚仪，其特征在于，包括：
壳体、信息接受模块、信息处理模块和信息交互模块；
所述壳体上设置有传感器接口；
所述传感器接口与所述信息接受模块电连接，所述信息接受模块与所述信息处理模块电连接，所述信息处理模块与所述信息交互模块电连接；所述信息接受模块被配置为接受传感器的信号并传递给所述信息处理模块；
所述信息处理模块被配置为处理所述信息接受模块输入所述信息处理模块的信号，并输出处理信号；所述信息交互模块被配置为向外部设备传递所述信息处理模块的处理信号，和/或接受所述外部设备的交互信号并传输至信息处理模块。


2.根据权利要求1所述的膜厚仪，其特征在于：
还包括第一电路板、第二电路板和第三电路板；
所述信息接受模块集成设置在第一电路板上，所述信息处理模块集成设置在第二电路板上，所述信息交互模块集成设置在第三电路板上。


3.根据权利要求2所述的膜厚仪，其特征在于：
所述壳体包括有第一面板和第二面板，所述第一面板和所述第二面板相对设置，且所述第一面板和所述第二面板共同围合形成容纳空间，所述第一电路板、所述第二电路板和所述第三电路板均设置在所述容纳空间中。


4.根据权利要求1所述的膜厚仪，其特征在于：
所述信息处理模块包括FPGA芯片和ARM芯片；
...

【专利技术属性】
技术研发人员：弗拉基米尔·克雷姆尼察，敬文华，叶世伟，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32