【技术实现步骤摘要】
一种冷却水连接件
本技术涉及光伏组件加工的
,具体涉及一种冷却水连接件。
技术介绍
目前,真空设备(例如PECVD设备和PVD设备等)的腔室内部通过设置冷却结构,并通过连接件将冷却水引入冷却结构内,实现对腔室进行冷却;现有技术中,通常采用将冷却水的水源接头直接套设在水冷管上,从而实现供水,但目前发现:该连接方式中水源接头会划伤水冷管的外管壁,时间长可能会出现漏水等情况。
技术实现思路
有鉴于此,本技术的目的在于提供一种冷却水连接件,从而缓解现有的冷却水连接件中水源接头会划伤水冷管的外管壁所带来的技术问题。(一)技术方案本技术提供了一种冷却水连接件,用于对设置于腔室室壁内的水冷管进行供水,所述冷却水连接件包括:主体连接件和辅助接头,所述主体连接件包括:法兰座、压紧组件、锁紧组件,所述法兰座固定连接于腔室室壁上,所述水冷管穿过所述腔室室壁,并插设于所述法兰座内,所述压紧组件套设于水冷管与法兰座之间,所述锁紧组件套设于压紧组件的第一开口端,用于推动所述锁紧组件促使压紧组件向靠近 ...
【技术保护点】
1.一种冷却水连接件,其特征在于,用于对设置于腔室室壁(1)内的水冷管(2)进行供水,所述冷却水连接件包括:主体连接件(3)和辅助接头(4),所述主体连接件(3)包括:法兰座(5)、压紧组件(6)、锁紧组件(7),所述法兰座(5)固定连接于腔室室壁(1)上,所述水冷管(2)穿过所述腔室室壁(1),并插设于所述法兰座(5)内,所述压紧组件(6)套设于水冷管(2)与法兰座(5)之间,所述锁紧组件(7)套设于压紧组件(6)的第一开口端(8),用于推动所述锁紧组件(7)促使压紧组件(6)向靠近法兰座(5)的方向压紧,且用于对水冷管(2)的外壁面进行密封,所述辅助接头(4)的一端与压 ...
【技术特征摘要】
1.一种冷却水连接件,其特征在于,用于对设置于腔室室壁(1)内的水冷管(2)进行供水,所述冷却水连接件包括:主体连接件(3)和辅助接头(4),所述主体连接件(3)包括:法兰座(5)、压紧组件(6)、锁紧组件(7),所述法兰座(5)固定连接于腔室室壁(1)上,所述水冷管(2)穿过所述腔室室壁(1),并插设于所述法兰座(5)内,所述压紧组件(6)套设于水冷管(2)与法兰座(5)之间,所述锁紧组件(7)套设于压紧组件(6)的第一开口端(8),用于推动所述锁紧组件(7)促使压紧组件(6)向靠近法兰座(5)的方向压紧,且用于对水冷管(2)的外壁面进行密封,所述辅助接头(4)的一端与压紧组件(6)活动连接,且所述辅助接头(4)的另一端与外接的水源接头相连接。
2.根据权利要求1所述的一种冷却水连接件,其特征在于,所述辅助接头(4)包括:第一连接部(10)和第二连接部(11),所述第一连接部(10)和第二连接部(11)为垂直设置,并相互连通,所述第一连接部(10)与外接的水源接头相连接,所述压紧组件(6)套设在第二连接部(11)上。
3.根据权利要求2所述的一种冷却水连接件,其特征在于,所述法兰座(5)沿轴心位置开设有通孔(12),所述通孔(12)的一端与辅助接头(4)相连接,所述通孔(12)的另一端与腔室室壁(1)内的水冷管(2)相连接,用于为腔室室壁(1)内的水冷管(2)供水。
4.根据权利要求3所述的一种冷却水连接件,其特征在于,所述通孔(12)包括相互连通的第一通孔(13)和第二通孔(14),所述第一通孔(13)设置在法兰座(5)的连接段(26)内,所述第二通孔(14)设置在法兰座(5)的法兰段(25)内,所述第一通孔(13)的直径大于第二通孔(14)的直径,两者之间通过台阶形过渡段(15)过渡。
5.根据权利要求4所述的一种冷却水连接件,其...
【专利技术属性】
技术研发人员:梅艳慧,
申请(专利权)人:君泰创新北京科技有限公司,
类型:新型
国别省市:北京;11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。