一种用于深能级瞬态谱测试的低温装置制造方法及图纸

本申请公开了一种用于深能级瞬态谱测试的低温装置，包括真空外壳、用于提供仪器仪表接口及阀门的仪表裙、制冷机，所述真空外壳、用于提供仪器仪表接口及阀门的仪表裙、制冷机自上而下依次连接。所述真空外壳内设有冷屏，固定于制冷机一级冷头上，所述二级冷头上设有高温台，探针样品托安装在高温台之上。本申请采用二级10K或者4K制冷机作为冷源，提供一个温度范围4K‑500K或者10‑500K且温度波动小于±50mk的低温环境和便于扎针的探针样品，方便深能级瞬态谱测试，有效提高了深能级瞬态谱测试的效率。

A low temperature device for deep level transient spectrum measurement

【技术实现步骤摘要】
一种用于深能级瞬态谱测试的低温装置
本技术涉及低温装置的
，具体涉及一种用于深能级瞬态谱测试的低温装置。
技术介绍
深能级是指半导体中远离导带底或价带顶的杂质能级或缺陷能级，深能级的存在对半导体的电学、光学和热学性质都有很大的影响，很多半导体器件的性能直接与深能级的存在有关，如发光二极管的发光颜色和亮度，开关晶体管的开关速度，CCD(Charge-coupledDevice，电荷耦合器件)器件的电荷转移效率等都受深能级杂质的类别和浓度的影响，因此，检测半导体中的深能级，在理论和实践中都有很重要的意义。深能级瞬态谱(DeepLevelTransientSpectroscopy，深能级瞬态谱)是半导体领域研究和检测半导体杂质、缺陷深能级、界面态等的重要技术手段，它具有灵敏度高、信噪比好、探测能级范围大、操作方便等优点。深能级瞬态谱测试需要一个变温环境，并且对温度的稳定性要求较高，以往的低温装置存在温度波动大、稳定性较差、变温范围窄、匹配的探针样品托扎针困难等缺点，其中，温度波动一般在±100mK，变温范围一般为：30-325K本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于深能级瞬态谱测试的低温装置，其特征在于：/n包括：真空外壳、用于提供仪器仪表接口及阀门的仪表裙、制冷机；/n所述真空外壳、用于提供仪器仪表接口及阀门的仪表裙、制冷机自上而下依次连接；/n所述制冷机具有一级冷头和二级冷头，一级冷头和二级冷头相连接；/n所述真空外壳内设有冷屏，将冷屏固定在制冷机的一级冷头上，制冷机的二级冷头伸入到冷屏中。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于深能级瞬态谱测试的低温装置，其特征在于：
包括：真空外壳、用于提供仪器仪表接口及阀门的仪表裙、制冷机；
所述真空外壳、用于提供仪器仪表接口及阀门的仪表裙、制冷机自上而下依次连接；
所述制冷机具有一级冷头和二级冷头，一级冷头和二级冷头相连接；
所述真空外壳内设有冷屏，将冷屏固定在制冷机的一级冷头上，制冷机的二级冷头伸入到冷屏中。


2.根据权利要求1所述的用于深能级瞬态谱测试的低温装置，其特征在于：
所述冷屏内部包括：探针样品托、温度计、加热器、高温台；
所述探针样品托安装在高温台之上，高温台与二级冷头相连接，探针样品托与高温台之间设置有温度计及加热器。


3.根据权利要求1所述的用于深能级瞬态谱测试的低温装置，其特征在于：
所述真空外壳顶部设有一个光学窗口，光学窗口通过窗框与真空外壳相连接。


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【专利技术属性】
技术研发人员：冯长沙，黄社松，王凡，杨威，
申请(专利权)人：北京飞斯科科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11