传送异常检测系统和传送异常检测方法技术方案

本发明专利技术提供一种传送异常检测系统，该传送异常检测系统能够从集装箱传送设备和安装设备接收信息，该集装箱传送设备被配置为传送传送集装箱，该安装设备被配置为加载由所述集装箱传送设备传送的所述传送集装箱，所述系统包括：确定部，该确定部被配置为：基于分配给每个传送集装箱的集装箱标识ID和分配给每个传送设备的传送设备标识ID来记录哪个集装箱传送设备正在传送所述传送集装箱；并且通过将由设置在所述集装箱传送设备中的振动检测部件获取的所述集装箱传送设备的振动检测信息和由设置在所述安装设备中的集装箱状态检测部件获取的所述传送集装箱的状态检测信息进行组合来确定所述集装箱传送设备和所述传送集装箱中的一方或双方的异常。

Transmission anomaly detection system and transmission anomaly detection method

【技术实现步骤摘要】
传送异常检测系统和传送异常检测方法相关申请的交叉引用本申请基于2018年12月14日提交的日本专利申请号2018-234178并要求该日本专利申请的优先权的权益，其全部内容通过引用包含在本文中。
本专利技术涉及一种传送异常检测系统和传送异常检测方法，该传送异常检测系统和传送异常检测方法能够检测当能够存储诸如晶片等的传送目标对象的集装箱(传送集装箱)被传送设备传送时可能发生的异常。
技术介绍
在半导体制造工艺中，在洁净室中处理晶片以提高产率和质量。使用称为FOUP(前开式统一舱)的存储舱(传送集装箱)来维持晶片周围的适当的大气。晶片容纳在FOUP中并由FOUP管理。在这种半导体制造工艺中，将包含晶片的FOUP安装在高度清洁的内部空间中。与晶片传送室相邻地设置有作为安装设备的装载端口，该装载端口具有在与FOUP的门(以下称为“FOUP门”)紧密接触的同时打开和关闭FOUP门的功能。将包含未处理晶片的FOUP传送到作为安装设备的装载端口或将包含已处理晶片的FOUP从安装设备传送到预定位置的处理由集装箱传送设备(例如，架空运输(本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传送异常检测系统，其能够从集装箱传送设备和安装设备接收信息，所述集装箱传送设备被配置为沿着预定路径传送容纳传送目标对象的传送集装箱，所述安装设备被配置为装载由所述集装箱传送设备传送的所述传送集装箱，所述系统包括：/n确定部，其被配置为：/n基于分配给每个传送集装箱的集装箱标识ID和分配给每个传送设备的传送设备标识ID，记录哪个集装箱传送设备正在传送所述传送集装箱；并且/n通过将由设置在所述集装箱传送设备中的振动检测部获取的所述集装箱传送设备的振动检测信息和由设置在所述安装设备中的集装箱状态检测部获取的所述传送集装箱的状态检测信息进行组合，确定所述集装箱传送设备和所述传送集装箱中的一方或...

【技术特征摘要】
20181214 JP 2018-2341781.一种传送异常检测系统，其能够从集装箱传送设备和安装设备接收信息，所述集装箱传送设备被配置为沿着预定路径传送容纳传送目标对象的传送集装箱，所述安装设备被配置为装载由所述集装箱传送设备传送的所述传送集装箱，所述系统包括：
确定部，其被配置为：
基于分配给每个传送集装箱的集装箱标识ID和分配给每个传送设备的传送设备标识ID，记录哪个集装箱传送设备正在传送所述传送集装箱；并且
通过将由设置在所述集装箱传送设备中的振动检测部获取的所述集装箱传送设备的振动检测信息和由设置在所述安装设备中的集装箱状态检测部获取的所述传送集装箱的状态检测信息进行组合，确定所述集装箱传送设...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤泉，水谷友哉，
申请(专利权)人：昕芙旎雅有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP