一种砷烷提纯装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于砷烷提纯技术领域，尤其为一种砷烷提纯装置，包括反应釜、冷凝仓、气化仓和吸附仓，所述反应釜顶端设置有壳体，所述壳体内部固定连接有正反电机，所述反应釜表面穿设有轴承，所述正反电机输出轴的底端固定连接有转轴，所述转轴穿设在轴承内部，所述转轴表面固定连接有搅拌桨，所述反应釜顶端固定连接有进料口，所述进料口顶端设置有翻盖；本实用新型专利技术通过设置正反电机和转轴，使得人们在使用该装置对砷烷气体进行提纯的过程中，通过控制开关启动正反电机，使得正反电机通过转轴带动搅拌桨进行转动，从而使得反应釜内部的砷化锌和稀硫酸充分反应，从而使得人们在对砷烷气体进行提纯的过程，砷烷的生产率得以提高。

An Arsene purification device

【技术实现步骤摘要】
一种砷烷提纯装置
本技术属于砷烷提纯
，具体涉及一种砷烷提纯装置。
技术介绍
砷烷在室温和大气压下是一种无色、剧毒、可燃气体，有大蒜气味.与空气混合形成可燃混合气，砷烷是一种非常重要的电子气体，作为“N”型掺杂剂，在外延和离子注入工艺中起着十分关键的作用，同时砷烷也是合成化合物半导体砷化镓、磷砷化镓的重要原料，而砷烷中的杂质主要有氧气，水，二氧化碳等，目前砷烷的提纯方法，主要采用镓铟合金液体深吸附脱水、氧来得到电子级的砷烷，这种吸附方式不可再生，且重金属难于获得，导致整套系统成本很高，推广将受局限，另一方面，这些重金属合金本身都具有毒性，而且深度吸附的吸附效率较低，从而导致现有砷烷提纯装置的提纯效率不高的缺陷。
技术实现思路
为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术提供了一种砷烷提纯装置，具有提纯效率高的特点。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种砷烷提纯装置，包括反应釜、冷凝仓、气化仓和吸附仓，所述反应釜顶端设置有壳体，所述壳体内部固定连接有正反电机，所述反应釜表面穿设有轴承，所述正反电机输出轴的底端固定连接有转轴，所述转轴穿设在轴承内部，所述转轴表面固定连接有搅拌桨，所述反应釜顶端固定连接有进料口，所述进料口顶端设置有翻盖，所述反应釜底端设置有第一排料口，所述第一排料口表面固定连接有第一电磁阀，所述反应釜底端设置有支撑腿，所述反应釜侧面设置有第一导气管，所述第一导气管另一端固定连接有第一真空泵，所述第一导气管共有两个，另一个所述第一导气管固定连接在第一真空泵侧面，另一个所述第一导气管另一端固定连接在冷凝仓侧面。优选的，所述冷凝仓内部设置有液氮盘管，所述冷凝仓侧面设置有液氮进口，所述液氮进口与液氮盘管固定连接，所述冷凝仓设置有回流管，所述冷凝仓顶端设置有壳体，所述壳体内部设置有第二真空泵，所述第二真空泵与回流管固定连接，所述回流管的另一端固定连接在反应釜侧面。优选的，所述冷凝仓侧面固定连接有排液管，所述排液管另一端固定连接有低温泵，所述排液管共有两个，另一个所述排液管固定连接在低温泵侧面，另一个所述排液管另一端固定连接在气化仓侧面，所述气化仓内部设置有电热丝，所述气化仓底端固定连接有第二排料口，所述第二排料口表面固定连接有第二电磁阀。优选的，所述吸附仓侧面固定连接有第二导气管，所述第二导气管另一端固定连接有第三真空泵，所述第二导气管共有两个，另一个所述第二导气管固定连接在第三真空泵侧面，另一个所述第二导气管另一端固定连接在气化仓侧面，所述吸附仓内部设置有隔离板，所述隔离板上表面放置有干燥剂，所述隔离板下表面设置有二氧化碳吸附剂。优选的，所述吸附仓侧面设置有合页，所述吸附仓通过合页活动连接有仓门，所述仓门侧面设置有锁扣，所述仓门和吸附仓通过锁扣固定连接，所述吸附仓侧面固定连接有第三导气管，所述第三导气管另一端固定连接有第四真空泵，所述第三导气管共有两个，另一个所述第三导气管固定连接在第四真空泵侧面，另一个所述第三导气管另一端固定连接有收集罐。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术，通过设置正反电机和转轴，使得人们在使用该装置对砷烷气体进行提纯的过程中，通过控制开关启动正反电机，使得正反电机通过转轴带动搅拌桨进行转动，从而使得反应釜内部的砷化锌和稀硫酸充分反应，从而使得人们在对砷烷气体进行提纯的过程，砷烷的生产率得以提高；通过设置回流管和第二真空泵，使得人们在使用该装置对砷烷进行提纯的过程中，通过控制开关启动第二真空泵，使得将冷凝仓内部的冷凝气体通过回流管抽入反应釜内部再次循环利用，从而进一步克服了现有砷烷提纯装置的砷烷提纯效率不高的缺陷，达到提高砷烷提纯效率的目的。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1为本技术正视图的结构示意图；图2为本技术正视图中剖视图的结构示意图；图3为本技术中侧视图的结构示意图；图中：1、反应釜；2、冷凝仓；3、气化仓；4、吸附仓；5、液氮盘管；6、正反电机；7、轴承；8、转轴；9、搅拌桨；10、进料口；11、第一排料口；12、第一电磁阀；13、第一导气管；14、第一真空泵；15、第二真空泵；16、回流管；17、排液管；18、低温泵；19、电热丝；20、第二排料口；21、第二电磁阀；22、第二导气管；23、第三真空泵；24、二氧化碳吸附剂；25、隔离板；26、干燥剂；27、第四真空泵；28、第三导气管；29、收集罐；30、控制开关；31、仓门；32、锁扣；33、合页；34、液氮进口。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供以下技术方案：一种砷烷提纯装置，包括反应釜1、冷凝仓2、气化仓3和吸附仓4，所述反应釜1顶端设置有壳体，所述壳体内部固定连接有正反电机6，所述反应釜1表面穿设有轴承7，所述正反电机6输出轴的底端固定连接有转轴8，所述转轴8穿设在轴承7内部，所述转轴8表面固定连接有搅拌桨9，通过设置正反电机6和转轴8，使得人们在使用该装置对砷烷气体进行提纯的过程中，通过控制开关30启动正反电机6，使得正反电机6通过转轴8带动搅拌桨9进行转动，从而使得反应釜1内部的砷化锌和稀硫酸充分反应，从而使得人们在对砷烷气体进行提纯的过程，砷烷的生产率得以提高，所述反应釜1顶端固定连接有进料口10，所述进料口10顶端设置有翻盖，所述反应釜1底端设置有第一排料口11，所述第一排料口11表面固定连接有第一电磁阀12，通过设置第一排料口11和第一电磁阀12，使得人们在使用该装置对砷烷提纯后，通过控制开关30启动第一电磁阀12，在第一电磁阀12和第一排料口11的作用下，使得反应后的残留物通过第一排料口11第一排出，从而使得人们在使用该装置对砷烷提纯的过程更加轻松，所述反应釜1底端设置有支撑腿，所述反应釜1侧面设置有第一导气管13，所述第一导气管13另一端固定连接有第一真空泵14，所述第一导气管13共有两个，另一个所述第一导气管13固定连接在第一真空泵14侧面，另一个所述第一导气管13另一端固定连接在冷凝仓2侧面，所述反应釜1表面设置有控制开关30，所述控制开关30内部设置有微处理器。具体的，所述冷凝仓2内部设置有液氮盘管5，所述冷凝仓2侧面设置有液氮进口34，所述液氮进口34与液氮盘管5固定连接，所述冷凝仓2设置有回流管16，所述冷凝仓2顶端设置有壳体，所述壳体内部设置有第二真空泵15，所述第二真空泵15与回流管16固定连接，通过设置回流管16和第二真空泵15，使得人们在使用该装置对砷烷进行提纯的过程中，通过控制开关30启动第二真空泵1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种砷烷提纯装置，包括反应釜(1)、冷凝仓(2)、气化仓(3)和吸附仓(4)，其特征在于：所述反应釜(1)顶端设置有壳体，所述壳体内部固定连接有正反电机(6)，所述反应釜(1)表面穿设有轴承(7)，所述正反电机(6)输出轴的底端固定连接有转轴(8)，所述转轴(8)穿设在轴承(7)内部，所述转轴(8)表面固定连接有搅拌桨(9)，所述反应釜(1)顶端固定连接有进料口(10)，所述进料口(10)顶端设置有翻盖，所述反应釜(1)底端设置有第一排料口(11)，所述第一排料口(11)表面固定连接有第一电磁阀(12)，所述反应釜(1)底端设置有支撑腿，所述反应釜(1)侧面设置有第一导气管(13)，所述第一导气管(13)另一端固定连接有第一真空泵(14)，所述第一导气管(13)共有两个，另一个所述第一导气管(13)固定连接在第一真空泵(14)侧面，另一个所述第一导气管(13)另一端固定连接在冷凝仓(2)侧面。/n

【技术特征摘要】
1.一种砷烷提纯装置，包括反应釜(1)、冷凝仓(2)、气化仓(3)和吸附仓(4)，其特征在于：所述反应釜(1)顶端设置有壳体，所述壳体内部固定连接有正反电机(6)，所述反应釜(1)表面穿设有轴承(7)，所述正反电机(6)输出轴的底端固定连接有转轴(8)，所述转轴(8)穿设在轴承(7)内部，所述转轴(8)表面固定连接有搅拌桨(9)，所述反应釜(1)顶端固定连接有进料口(10)，所述进料口(10)顶端设置有翻盖，所述反应釜(1)底端设置有第一排料口(11)，所述第一排料口(11)表面固定连接有第一电磁阀(12)，所述反应釜(1)底端设置有支撑腿，所述反应釜(1)侧面设置有第一导气管(13)，所述第一导气管(13)另一端固定连接有第一真空泵(14)，所述第一导气管(13)共有两个，另一个所述第一导气管(13)固定连接在第一真空泵(14)侧面，另一个所述第一导气管(13)另一端固定连接在冷凝仓(2)侧面。


2.根据权利要求1所述的一种砷烷提纯装置，其特征在于：所述冷凝仓(2)内部设置有液氮盘管(5)，所述冷凝仓(2)侧面设置有液氮进口(34)，所述液氮进口(34)与液氮盘管(5)固定连接，所述冷凝仓(2)设置有回流管(16)，所述冷凝仓(2)顶端设置有壳体，所述壳体内部设置有第二真空泵(15)，所述第二真空泵(15)与回流管(16)固定连接，所述回流管(16)的另一端固定连接在反应釜(1)侧面。


3.根据权利要求2所述的一种砷烷提纯装置，其特征在于：所述冷凝仓(2)侧面固定连接有排液管(17)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈国富，龚施健，
申请(专利权)人：博纯材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35