一种柔性多功能传感器制造技术

技术编号:24603181 阅读:59 留言:0更新日期:2020-06-21 05:37
本发明专利技术公开了一种柔性多功能传感器。本发明专利技术包括层压在一起的上层传感器和下层传感器,上层传感器包括一对金属叉指电极,喷涂在该对金属叉指电极上的氧化石墨烯以及位于该对金属叉指电极下的上柔性衬底。下层传感器包括一对金属电极,喷涂在该对金属电极之间的还原氧化石墨烯以及位于该对金属电极下的下柔性衬底,所述的金属叉指电极与金属电极形成平行极板,结合上层柔性衬底作为电介质构成压力传感器。本发明专利技术能实现温度、湿度、压力、接近度四种信号测量。

A flexible multifunctional sensor

【技术实现步骤摘要】
一种柔性多功能传感器
本专利技术涉及一种新型的多功能柔性传感器,该传感器基于柔性工艺制作,并能够对温度、湿度、压力、接近度四种信号产生响应。
技术介绍
传统的电子器件依赖于刚性的印刷电路版技术,该技术有利于保护电子元器件,使其在使用过程中不会轻易损坏,但不可避免的制约了电子器件的延展性和柔韧性。柔性电子技术是将有机/无机材料电子器件制作在柔性材料上的新兴电子技术,用以设计各种形状、更贴近人体以及易于使用的电子产品。利用柔性材料或柔性结构设计对电子器件原有功能结构进行替换即构成了柔性电子技术的核心。柔性电子器件与刚性电子器件相比最大的不同与优势即是可以在承受较大变形时其电子电路本身不受影响,具备形状可弯曲、可伸缩等柔性性能,在受力情况下电子器件仍可以正常工作。目前,对柔性器件的研究主要集中在单一功能或者双重功能上,而对三种功能及以上的器件报道较少。
技术实现思路
本专利技术通过柔性工艺,制作了一种新型的能够测量温度、湿度、压力、接近度四种信号的柔性多功能传感器。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性多功能传感器,包括层压在一起的上层传感器和下层传感器,其特征在于:/n上层传感器包括一对金属叉指电极,喷涂在该对金属叉指电极上的氧化石墨烯以及位于该对金属叉指电极下的上柔性衬底,所述的氧化石墨烯对湿度敏感,所述的金属叉指电极对接近觉敏感;/n下层传感器包括一对金属电极,喷涂在该对金属电极之间的还原氧化石墨烯以及位于该对金属电极下的下柔性衬底,所述的还原氧化石墨烯对温度敏感;/n所述的金属叉指电极与金属电极形成平行极板,结合上层柔性衬底作为电介质构成压力传感器。/n

【技术特征摘要】
1.一种柔性多功能传感器,包括层压在一起的上层传感器和下层传感器,其特征在于:
上层传感器包括一对金属叉指电极,喷涂在该对金属叉指电极上的氧化石墨烯以及位于该对金属叉指电极下的上柔性衬底,所述的氧化石墨烯对湿度敏感,所述的金属叉指电极对接...

【专利技术属性】
技术研发人员:董林玺管臻智
申请(专利权)人:杭州电子科技大学
类型:发明
国别省市:浙江;33

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