精密调节的激光干涉比长基准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种精密调节的激光干涉比长基准装置，包括地基以及地基上的基础承台；所述基础承台上安装有可左右滑动的滑台，滑台上固定有用于装配待测线纹尺的尺架；还包括用于测量的激光干涉测长系统和线纹读数系统；所述基础承台上沿滑台滑动方向铺设有精密承轨，所述精密承轨包括外轨和内轨；所述外轨为平面承轨，所述内轨为V型承轨；所述滑台底部设置有精密滑动副；所述精密滑动副包括与平面承轨配合的平面滑动副以及与V型承轨配合的V型滑动副。具有上述结构的激光干涉比长基准装置，可实现水平面内的水平直线度微米级调整。V型导轨和平面导轨相结合，特性互补，可实现复合导轨全程直线度优于3μm，大大提高了测量精度。

Laser interference length reference device with precise adjustment

【技术实现步骤摘要】
精密调节的激光干涉比长基准装置
本技术涉及一种激光干涉比长基准装置，尤其是一种高精度、高稳定、可溯源的激光干涉比长基准装置。
技术介绍
激光比长装置主要用于测量线纹距离的精密长度测量工具。比长装置一般采用测量显微镜或光电显微镜作为瞄准定位部件，并以精密线纹尺的刻度或光波波长作为已知长度，与被测长度比较而确定量值。比长仪主要用于检定线纹尺，测量分划板上的线距和物理、天文类照相底片上的光波谱线距离，也可用于测量孔径。使用的时候，在尺架上加装被检线纹尺，然后调整光电读数显微镜瞄准线纹尺中轴。待测试环境条件达标后，启动伺服电机，承载尺架的滑台水平移动。当有线纹刻线通过光电读数显微镜瞄准中心时，光电读数显微镜输出一个电脉冲信号，触发控制系统对激光干涉仪采样，当前采样值与初始刻线的采样值相减，得到当前刻线与初始刻线的距离值，该距离值及当前刻线的长度量值。系统控制设备自动重复此过程，实现对线纹尺所有刻线长度量值检测。现有的激光比长装置采用气浮导轨来实现滑台的水平移动，其动态性能不够稳定，导致测量精度降低。技术内容有鉴于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种精密调节的激光干涉比长基准装置，包括地基以及地基上的基础承台；所述基础承台上安装有可左右滑动的滑台，滑台上固定有用于装配待测线纹尺的尺架；还包括用于测量的激光干涉测长系统和线纹读数系统；其特征在于：所述基础承台上沿滑台滑动方向铺设有精密承轨，所述精密承轨包括外轨和内轨；所述外轨为平面承轨，所述内轨为V型承轨；所述滑台底部设置有精密滑动副；所述精密滑动副包括与平面承轨配合的平面滑动副以及与V型承轨配合的V型滑动副。/n

【技术特征摘要】
1.一种精密调节的激光干涉比长基准装置，包括地基以及地基上的基础承台；所述基础承台上安装有可左右滑动的滑台，滑台上固定有用于装配待测线纹尺的尺架；还包括用于测量的激光干涉测长系统和线纹读数系统；其特征在于：所述基础承台上沿滑台滑动方向铺设有精密承轨，所述精密承轨包括外轨和内轨；所述外轨为平面承轨，所述内轨为V型承轨；所述滑台底部设置有精密滑动副；所述精密滑动副包括与平面承轨配合的平面滑动副以及与V型承轨配合的V型滑动副。


2.根据权利要求1所述的一种精密调节的激光干涉比长基准装置，其特征在于：还包括用于驱动滑台滑动的驱动装置，所述驱动装置包括与精密承轨平行的丝杠；...

【专利技术属性】
技术研发人员：汤江文，薛靓，杨桩，蒋丽，徐传娣，
申请(专利权)人：中国测试技术研究院机械研究所，
类型：新型
国别省市：四川;51