棒形状加工物的纵向截断装置及安装在其的线锯制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种棒形状加工物的纵向截断装置及安装在其的线锯，其通过切断线绳顺利进行将具有棒形状的加工物沿着其纵向截断成加工成为多个部件的加工的截断装置和在该截断装置上安装。本发明专利技术包括：一对内侧辊子，隔着既定间隔相互并排配置；一对外侧辊子，在中间隔着所述一对内侧辊子相互并排地配置；切断线绳，卷绕所述一对内侧辊子和一对外侧辊子，形成相互并排的多个截断线而行使，以使在所述一对内侧辊子之间形成截断部，并且，所述截断部是在将一对内侧辊子与一对外侧辊子的各个上端部相互连接的上侧和将一对内侧辊子与一对外侧辊子的各个下端部相互连接的下侧中选择的某一侧排列多个截断线而形成。

Longitudinal cutting device of bar shaped workpiece and wire saw installed in it

【技术实现步骤摘要】
棒形状加工物的纵向截断装置及安装在其的线锯
本专利技术涉及棒形状加工物的纵向截断装置及安装在其的线锯，更详细地，涉及一种如同将具有圆形棒形状的硅或蓝宝石晶棒沿着其纵向截断而制作籽晶(Seed)杆的加工领域，借助于切断线绳沿着其纵向截断棒形状加工物的截断装置和安装在该截断装置的线锯。
技术介绍
一般而言，线锯(Wiresaw)适用于花岗石、大理石等石材的加工，或生产半导体晶圆。在半导体晶圆的制造工艺中使用的线锯进行为了将晶棒制造成晶圆，以一张单位截断的切片工艺。上述的切片工艺是使得缠绕多个辊子的切断线绳以快速往复行使，并在其上面喷射研磨液(slurry)溶液，通过粘在切断线绳的研磨液和单结晶晶棒的摩擦而截断，可通过线锯同时将单结晶晶棒截断成为几个晶圆，因此，能够提高单位时间的生产效率，而被广泛使用。图1为韩国专利公开号第10-2016-0128115号中记载，表示将晶棒以多个晶圆截断的线锯的构成。参照图1，线锯包括：用于缠绕切断线绳6的卷线轴3a,3b和在卷线轴(3a,3b)缠绕或松解而运行，将加工物的晶棒4截断为多个板状部件(晶圆)的切断线绳6。所述切断线绳6是缠绕在一对辊子1a,1b上，与辊子1a,1b的旋转一同行使而形成截断部，截断部6a,6b是反复围绕一对辊子1a,1b而相互并排的多个截断线而形成，所述截断部6a,6b分别形成于一对辊子(1a,1b)的上侧和下侧。由此，上侧的截断部6a进给的晶棒4被切断为多个晶圆，从上侧的截断部6a与下侧的截断部6b之间形成的空间8接收多个晶圆。但，如图2所示，需将大于上侧的截断部6a与下侧的截断部6b之间的高度(h)的长度的棒状加工物7沿着其纵向进行切片(slicing)时，进给开始进行时，通过上侧截断部6a被切断的棒状加工物7与下侧的截断部6b接触，而发生损伤。因此，以往的线锯是围绕两侧的一对辊子1a,1b之间的切断线绳6运行而将晶圆等较薄的板状部件同时切割成多个，不易进行将相比上侧的截断部6a与下侧的截断部6b之间的间隔更长的长度的棒状加工物7由其纵向切断的加工。
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题本专利技术是从上述的观点导出，本专利技术的目的为能够顺利进行通过切断线绳将具有棒形状的加工物沿着其纵向切断为多个部件的截断装置和在其截断装置上安装的线锯。解决问题的技术方案根据上述构成的本专利技术提供一种线锯，包括：一对内侧辊子，隔着既定间隔相互并排配置；一对外侧辊子，在中间隔着所述一对内侧辊子相互并排地配置；切断线绳，卷绕所述一对内侧辊子和所述一对外侧辊子，形成相互并排的多个截断线而行使，以使在所述一对内侧辊子之间形成截断部，并且，所述截断部是在将所述一对内侧辊子与所述一对外侧辊子的各个上端部相互连接的上侧和将所述一对内侧辊子与所述一对外侧辊子的各个下端部相互连接的下侧中选择的某一侧排列多个截断线而形成，并且，所述多个截断线包括由相互相反的方向行使的截断线。并且，从另一观点的本专利技术提供一种棒形状加工物的纵向截断装置，包括：框架；固定部件，安装在所述框架，用于固定棒形状的加工物；线锯，安装在所述框架，使得通过切断线绳形成的截断部沿着借助于所述固定部件固定的加工物的纵向与所述加工物相对地形成；驱动部件，安装在所述框架，使得所述线锯或所述固定部件向所述线锯与所述加工物相互接近的方向移动，由此，使得所述加工物向所述截断部进入，所述线锯，包括：一对内侧辊子，隔着既定的间隔相互并排地配置；一对外侧辊子，中间隔着所述一对内侧辊子相互并排地配置；切断线绳，卷绕所述一对内侧辊子和所述一对外侧辊子，形成相互并排的多个截断线而行使，以使在所述一对内侧辊子之间形成截断部，所述截断部是在将所述一对内侧辊子与所述一对外侧辊子的各个上端部相互连接的上侧和将所述一对内侧辊子与所述一对外侧辊子的各个下端部相互连接的下侧中选择的某一侧排列多个截断线而形成，并且，所述多个截断线包括由相互相反的方向行使的截断线。并且，本专利技术在上述构成中，构成所述截断部的所述多个截断线是与邻接的截断线的行使方向相互相反。并且，本专利技术在上述构成中，所述一对内侧辊子分别由辊子轴方向顺次地交替形成有：卷绕槽，沿着外周面周围以环形形成，以使所述切断线绳卷绕接触而形成所述截断线；通行槽，沿着外周面周围以环形形成，提供使得所述切断线绳以非接触状态通过的空间，以便所述切断线绳卷绕在所述外侧辊子而形成所述截断线。并且，本专利技术的棒形状加工物的纵向截断装置，所述线锯包括在上端部设置有所述一对内侧辊子和所述一对外侧辊子的主体，在所述主体的中心部形成有由所述加工物的纵向贯通的贯通孔，在所述贯通孔的上侧形成有所述截断部，从而，随着所述加工物进入截断部被截断，所述加工物的被截断的部分向所述贯通孔进入，而能够防止所述线锯与所述加工物的被截断的部分之间发生干扰。专利技术的效果根据上述的构成的本专利技术,能够顺利地进行通过切断线绳将具有棒形状的加工物沿着其纵向以多个部件截断的加工。即，截断部是在连接一对内侧辊子和一对外侧辊子的各个上端部的上侧和连接一对内侧辊子和一对外侧辊子的各个下端部的下侧中选择的某一侧排列多个截断线而形成，由此，即使具有较长长度的棒形状加工物进入进行截断，也能够防止其截断的部分与切断线绳的其他行使的部分发生干扰的现象，而防止其受到损伤。并且，根据本专利技术的加工物的纵向截断装置，在主体的中心部形成有由加工物的纵向贯通的贯通孔，并在该贯通孔的上侧形成有截断部，从而，加工物进入截断部被截断后，加工物的被截断的部分进入贯通孔，而能够防止线锯与加工物的被截断的部分之间的干扰。并且，根据本专利技术的线锯通过设置在内侧辊子的卷绕槽和通行槽的构成，切断线绳卷绕在内侧辊子的截断线和切断线绳以非接触状态通过内侧辊子并卷绕在外侧辊子而形成的截断线都位于相同的平面上，而能够形成平面上的截断部，从而，能够使得多个截断线几乎同时与加工物接触，而进行稳定的切割作业。附图说明图1在以往韩国专利公开号第10-2016-0128115号中记载，为图示将晶棒切断为多个晶圆的线锯的构成说明图；图2为简略图示在图1中在一对辊子上缠绕切断线绳而形成截断部的构成的构成说明图；图3为根据本专利技术的实施例的棒形状加工物的纵向截断装置的截面构成图；图4为表示根据本专利技术的实施例的线锯的构成的剖视图；图5为表示根据本专利技术的实施例的线锯的构成的平面图；图6为将根据本专利技术的实施例的线锯沿着图5的A-A′线截断图示的截面构成图；图7为表示在根据本专利技术的实施例的棒形状加工物的纵向截断装置中加工物被线锯截断的过程的作用说明图；图8为表示根据本专利技术的实施例的线锯中图示内侧辊子的构成的截面构成图；图9为用于说明在根据本专利技术的实施例的线锯中切断线绳被缠绕于内侧辊子、外侧辊子及驱动辊子的构成的剖视构成图；图10为用于说明在根据本专利技术的实施例的线锯中切断线绳被缠绕于内侧辊子及外侧辊子的构成的平面构成图；图11为用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线锯，其特征在于，包括：/n一对内侧辊子，隔着既定间隔相互并排配置；/n一对外侧辊子，在中间隔着所述一对内侧辊子相互并排地配置；/n切断线绳，卷绕所述一对内侧辊子和所述一对外侧辊子，形成相互并排的多个截断线而行使，以使在所述一对内侧辊子之间形成截断部，/n并且，所述截断部是在将所述一对内侧辊子与所述一对外侧辊子的各个上端部相互连接的上侧和将所述一对内侧辊子与所述一对外侧辊子的各个下端部相互连接的下侧中选择的某一侧排列多个截断线而形成，并且，所述多个截断线包括由相互相反的方向行使的截断线。/n

【技术特征摘要】
1.一种线锯，其特征在于，包括：
一对内侧辊子，隔着既定间隔相互并排配置；
一对外侧辊子，在中间隔着所述一对内侧辊子相互并排地配置；
切断线绳，卷绕所述一对内侧辊子和所述一对外侧辊子，形成相互并排的多个截断线而行使，以使在所述一对内侧辊子之间形成截断部，
并且，所述截断部是在将所述一对内侧辊子与所述一对外侧辊子的各个上端部相互连接的上侧和将所述一对内侧辊子与所述一对外侧辊子的各个下端部相互连接的下侧中选择的某一侧排列多个截断线而形成，并且，所述多个截断线包括由相互相反的方向行使的截断线。


2.根据权利要求1所述的一种线锯，其特征在于，
构成所述截断部的所述多个截断线是与邻接的截断线的行使方向相互相反。


3.根据权利要求1或2所述的一种线锯，其特征在于，
所述一对内侧辊子分别由辊子轴方向顺次地交替形成有：
卷绕槽，沿着外周面周围以环形形成，以使所述切断线绳卷绕接触而形成所述截断线；
通行槽，沿着外周面周围以环形形成，提供使得所述切断线绳以非接触状态通过的空间，以便所述切断线绳卷绕在所述外侧辊子而形成所述截断线。


4.一种棒形状加工物的纵向截断装置，其特征在于，包括：
框架；
固定部件，安装在所述框架，用于固定棒形状的加工物；
线锯，安装在所述框架，使得通过切断线绳形成的截断部沿着借助于所述固定部件固定的加工物的纵向与所述加工物相对地形成；
驱动部件，安装在所述框架，使得所述线锯或所述固定部件向所述线锯与所述加工物相互接近的方向移动，由此，使得所述加工物向所述截断部进入，
所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：金亨奎，
申请(专利权)人：玉山机械株，
类型：发明
国别省市：韩国;KR