一种基于磁光表面等离激元共振的生物蛋白传感器制造技术

本发明专利技术涉及光学传感领域，具体涉及一种基于磁光表面等离激元共振的生物蛋白传感器，具有周期性孔洞结构。本发明专利技术器件实现对P偏振光响应工作，当电磁波斜入射到器件表面激发六方周期孔洞结构SPP模式，由于表面等离激元对介质环境具有较高的敏感性，在滴加不同浓度BSA生物蛋白条件下器件SPP模式发生移动。同时利用Ce:YIG材料的磁光性能，外加横向磁场(外磁场方向垂直于入射面)，通过器件表面SPP模式的激发增强TMOKE，根据TMOKE峰位的移动探测BSA的浓度关系。主要应用于生物蛋白质检测、折射率传感器。

A biosensor based on magneto-optical surface plasmon resonance

【技术实现步骤摘要】
一种基于磁光表面等离激元共振的生物蛋白传感器
本专利技术涉及光学传感领域，具体涉及一种基于磁光表面等离激元共振的生物蛋白传感器，具有周期性孔洞结构。
技术介绍
入射电磁波与贵金属表面自由电子的集体振荡耦合被称为表面等离激元共振(SurfacePlasmonResonances，SPR)，由于表面等离激元共振可在纳米尺度上控制光的性质，因此被广泛使用于集成纳米光子学和小型化光电器件。表面等离激元共振(SPR)又可被分为：传播型表面等离激元(PropagatingSurfacePlasmon，PSP)和局域型表面等离激元(LocalizedSurfacePlasmon，LSP)。LSP是指带电粒子的振荡被局域在一个较小的范围内，而PSP的振荡具有一定的传播距离。由于表面等离激元共振(SPR)对介质环境的微小变化具有内在的敏感性，因此已将其广泛应用于传感应用中。同时，表面等离激元的激发会引起介质周围局域场的增强，利用该性质可以得到表面增强拉曼散射(Surface-EnhancedRamanScattering，SERS)，在测试过程中得到非常强的拉曼本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于磁光表面等离激元共振的生物蛋白传感器，其特征在于：/n结构由下至上依次为衬底层、YIG种子薄膜层、连续磁光介质Ce:YIG层和六方周期Au孔洞结构层；/n所述衬底层为能使YIG结晶的衬底材料；/n所述六方周期Au孔洞结构层周期为500～550nm，孔洞直径为340～400nm，厚度为30～50nm；六方周期Au孔洞结构层分别满足入射光波矢与空气层和Ce:YIG薄膜界面层的SPP波矢匹配，以激发Au和Ce:YIG表面传播型表面等离激元；/n所述连续磁光介质Ce:YIG层厚度50～80nm，YIG种子层薄膜层厚度为40～80nm；且YIG和Ce:YIG均为结晶态，YIG以及Ce:YIG...

【技术特征摘要】
1.一种基于磁光表面等离激元共振的生物蛋白传感器，其特征在于：
结构由下至上依次为衬底层、YIG种子薄膜层、连续磁光介质Ce:YIG层和六方周期Au孔洞结构层；
所述衬底层为能使YIG结晶的衬底材料；
所述六方周期Au孔洞结构层周期为500～550nm，孔洞直径为340～400nm，厚度为30～50nm；六方周期Au孔洞结构层分别满足入射光波矢与空气层和Ce:YIG薄膜界面层的SPP波矢匹配，以激发Au和Ce:YIG表面传播型表面等离激元；
所述连续磁光介质Ce:YIG层厚度50～80nm，YIG种子层薄膜层厚度为40～80nm；且YIG和Ce:YIG均为结晶态，YIG以及Ce:YIG作为磁光...

【专利技术属性】
技术研发人员：毕磊，杨润，秦俊，邓龙江，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川;51