【技术实现步骤摘要】
用于透射电镜原位压力试验的压头及其制作方法
本专利技术涉及在透射电镜中进行压力原位实验时，能够装载在透射电镜样品杆上的原位实验系统。
技术介绍
透射电子显微镜（Transmissionelectronmicroscope，缩写TEM），简称透射电镜，是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像，影像将在放大、聚焦后在成像器件（如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件）上显示出来。透射电子显微镜的分辨率比光学显微镜高的很多，可以达到0.1～0.2nm，放大倍数为几万～百万倍。因此，使用透射电子显微镜可以用于观察样品的精细结构，甚至可以用于观察仅仅一列原子的结构，比光学显微镜所能够观察到的最小的结构小数万倍。TEM在中和物理学和生物学相关的许多科学领域都是重要的分析方法，如癌症研究、病毒学、材料科学、以及纳米技术、半导体研究等等。透射电镜的原位实验是指在透射电镜内部对待研究的材料或组织施加特定的作用（比如...
【技术保护点】
1.制作用于透射电镜原位压力试验的压头的方法，其特征在于：该方法包括以下操作：获取基棒，选取一颗金刚石颗粒，将金刚石颗粒固定在基棒的端部，待加工压头的金刚石区域裸露，用FIB在金刚石的裸露区域切出直径5~20μm的圆柱；使圆柱与FIB离子束垂直，加工圆柱的压力平面。/n
【技术特征摘要】
1.制作用于透射电镜原位压力试验的压头的方法，其特征在于：该方法包括以下操作：获取基棒，选取一颗金刚石颗粒，将金刚石颗粒固定在基棒的端部，待加工压头的金刚石区域裸露，用FIB在金刚石的裸露区域切出直径5~20μm的圆柱；使圆柱与FIB离子束垂直，加工圆柱的压力平面。
2.如权利要求1所述的制作用于透射电镜原位压力试验的压头的方法，其特征在于：先使用飞秒激光器在金刚石的裸露区域加工出10~50μm直径的凸台，再用FIB加工出直径5~20μm的圆柱。
3.如权利要求1或2所述的制作用于透射电镜原位压力试验的压头34的方法，其特征在于：FIB和、或飞秒激光器加工时，保留区域与基棒同心。
4.如权利要求1所述的制作用于透射电镜原位压力试验的压头的方法，其特征在于：获得基体后，在基体的端部挖一个凹坑，凹坑与基体对中，将金刚石颗粒部分放入凹坑内，凹坑以外的金刚石颗粒裸露。
5.如权利要求4所述的制作用于透射电镜原位压力试验的压头的方法，其特征在于：凹坑为球窝、圆...
【专利技术属性】
技术研发人员：聂安民，张奕志，王宏涛，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。