一种原位间隙检测装置与检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种原位间隙检测装置与检测方法。该装置包括：用于支撑整体结构的外围框架；用于精密定位、调平、间隙控制和承载样片的工件台模块；用于装载母板、检测调平精度的承载模块；用于测量原位间隙的原位间隙检测模块；用于数据采集、处理与反馈控制的控制系统。该发明专利技术基于白光干涉间隙测量方法，通过外围三点监测母板与样片之间的间隙，并反馈控制工件台模块进行精密调平与间隙控制。同时结合白光干涉间隙测量方法与显微成像方法，对母板与样片中间工作区域进行横向分辨力高、检测精度高的原位间隙检测。

An in-situ gap detection device and method

【技术实现步骤摘要】
一种原位间隙检测装置与检测方法
本专利技术属于精密检测
，具体涉及一种母板与样片之间原位间隙检测装置与检测方法。
技术介绍
随着技术的发展，很多领域都需要对母板和样片进行精密间隙检测与控制，但是往往检测位置都只能在非工作区域。由于母板与样片加工面形偏差、装配变形等原因，通过工作区域外围的检测数据，控制工作区域的间隙分布往往是不可行的。如何实现既不破坏工作区域状态，又能检测工作区域间隙分布的工作成为了一个重要研究方向。对原位间隙进行检测有几个要求十分关键：一是非接触测量，不破坏工作区域状态；二是检测横向分辨力要小，最大限度检测原位间隙分布状态；三是检测完成后不影响正常工作的开展。本专利技术是一种原位间隙检测装置与检测方法，结合白光干涉间隙测量方法与显微成像方法，可对母板与样片中间工作区域进行横向分辨力高、检测精度高的原位间隙检测。
技术实现思路
本专利技术需要解决的技术问题是：提出一种原位间隙检测装置与检测方法，该专利技术基于白光干涉间隙测量方法，通过外围三点监测母板与样片之间的间隙，并反馈控制工件台模块本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种原位间隙检测装置，其特征在于：该装置包括：/n用于支撑整体结构的外围框架(1)；/n用于精密定位、调平、间隙控制和承载样片的工件台模块(2)；/n用于装载母板、检测调平精度的承载模块(3)；/n用于测量原位间隙的原位间隙检测模块(4)；/n用于数据采集、处理与反馈控制的控制系统(5)；/n其中，所述的外围框架(1)应具有较好的强度与刚度，同时应安装有隔震平台(6)以最大程度隔离外界扰动；/n所述工作台模块(2)安装在外围框架(1)的下基板(7)上，所述工作台模块(2)包括：六轴精密位移台(10)、六轴纳米位移台(11)、承片台(12)和样片(13)，其中六轴精密位移台(10)用于样片(...

【技术特征摘要】
1.一种原位间隙检测装置，其特征在于：该装置包括：
用于支撑整体结构的外围框架(1)；
用于精密定位、调平、间隙控制和承载样片的工件台模块(2)；
用于装载母板、检测调平精度的承载模块(3)；
用于测量原位间隙的原位间隙检测模块(4)；
用于数据采集、处理与反馈控制的控制系统(5)；
其中，所述的外围框架(1)应具有较好的强度与刚度，同时应安装有隔震平台(6)以最大程度隔离外界扰动；
所述工作台模块(2)安装在外围框架(1)的下基板(7)上，所述工作台模块(2)包括：六轴精密位移台(10)、六轴纳米位移台(11)、承片台(12)和样片(13)，其中六轴精密位移台(10)用于样片(13)大行程范围的定位与姿态调整；六轴纳米位移台(11)用于高精度的定位与姿态调整，主要包括精密定位、调平和间隙控制；
所述的承载模块(3)安装在外围框架(1)的上基板(9)上，所述的承载模块(3)包括：母板(14)、三路测量光纤(15)和固定框架(16)，其中三路测量光纤(15)垂直于母板(14)，安装在固定框架(16)上，三路测量光纤(15)应安装在非工作区域，呈三角形分布，用于总体监测母板与样片之间的间隙；母板(14)采用真空吸附的方式安装在固定框架(16)上；
所述的原位间隙检测模块(4)安装在外围框架(1)的上基板(9)上，所述的原位间隙检测模块(4)包括：三轴精密位移台(17)、物镜(18)、安装板(19)、显微成像主体(20)、原位检测模块(21)，其中三轴精密位移台...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗先刚，王长涛，赵承伟，龚天诚，罗云飞，张逸云，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51