【技术实现步骤摘要】
高温烘箱的温度调整设备
本专利技术涉及电子封装
，特别是一种高温烘箱的温度调整设备。通过气体再处理装置中的冷却器来冷却由处理腔室流出的气体，通过加热器来加热该气体再处理装置内的气体，再利用气体回收器将气体送回处理腔室内，大幅度提高了气体的加热及冷却效率，并达到气体回收再利用的目的，有效降低生产成本。
技术介绍
近年来,电子技术日新月异，利用集成电路组件所组成的电子产品，已成为现代人日常生活中不可或缺的工具。在半导体封装的制程的中，冷却制程与加热制程往往扮演着重要的角色，并且经常需要在这些冷却制程与加热制程的间进行切换。例如，从高温冷却至低温或者从高温冷却至低温然后再加热至高温等等，其冷却及/或加热速率愈快，则制程效率愈高。在现有的冷却制程中，经常直接在处理腔室内采用气冷式或水冷式冷却器进行气体冷却，然而由于腔体的热容量太大，导致无法达到快速冷却的效果，另外，在现有的加热制程中，经常直接在处理腔室内采用加热器进行气体加热，同样由于腔体的热容量太大，导致无法达到快速加热的效果，因此，为了达到快速冷却及快速加热的效果，现有冷...
【技术保护点】
1.一种高温烘箱的温度调整设备，其特征在于：包括：/n一烘箱，该烘箱包含一烘箱腔体、至少一进气岐管、至少一排气岐管、一内框套及至少一加热组件，该烘箱腔体内部形成一处理腔室，该处理腔室一侧装设至少一该进气岐管，另一侧装设至少一该排气岐管，至少一该进气岐管外周贯设复数个进气孔，至少一该排气岐管外周贯设复数个排气孔，该烘箱腔体内璧环设该内框套，该内框套内部形成一环状的容置空间，该容置空间内设置至少一该加热组件，透过至少一该加热组件对该内框套加热，再经由该内框套以热辐射方式对该处理腔室加热，在至少一该进气岐管内的气体，经由各该进气孔喷出，扰动该处理腔室内的气体，并由至少一该排气岐管...
【技术特征摘要】
20181205 TW 107144028;20190605 TW 1081198871.一种高温烘箱的温度调整设备，其特征在于：包括：
一烘箱，该烘箱包含一烘箱腔体、至少一进气岐管、至少一排气岐管、一内框套及至少一加热组件，该烘箱腔体内部形成一处理腔室，该处理腔室一侧装设至少一该进气岐管，另一侧装设至少一该排气岐管，至少一该进气岐管外周贯设复数个进气孔，至少一该排气岐管外周贯设复数个排气孔，该烘箱腔体内璧环设该内框套，该内框套内部形成一环状的容置空间，该容置空间内设置至少一该加热组件，透过至少一该加热组件对该内框套加热，再经由该内框套以热辐射方式对该处理腔室加热，在至少一该进气岐管内的气体，经由各该进气孔喷出，扰动该处理腔室内的气体，并由至少一该排气岐管将该处理腔室内的气体排出而形成热对流；及一气体再处理装置，该处理腔室内的气体流入该气体再处理装置，由该气体再处理装置处理该气体。
2.一种高温烘箱的温度调整设备，其特征在于：包括：
一烘箱，该烘箱包含一烘箱腔体、至少一进气岐管、至少一排气岐管及至少一加热套，该烘箱腔体内部形成一处理腔室，该处理腔室一侧装设至少一该进气岐管，另一侧装设至少一该排气岐管，至少一该进气岐管外周贯设复数个进气孔，至少一该排气岐管外周贯设复数个排气孔，该烘箱腔体外璧环设至少一该加热套，至少一该加热套对该烘箱腔体外璧加热，再经由该烘箱腔体以热辐射方式对该处理腔室加热，在至少一该进气岐管内的气体，经由各该进气孔喷出，扰动该处理腔室内的气体，并由至少一该排气岐管将该处理腔室内的气体排出而形成热对流；及一气体再处理装置，该处理腔室内的气体流入该气体再处理装置，由该气体再处理装置处理该气体。
3.一种高温烘箱的温度调整设备，其特征在于：包括：一烘箱，该烘箱包含一烘箱腔体、至少一进气岐管、至少一排气岐管及至少一加热组件，该烘箱腔体内部形成一处理腔室，该处理腔室一侧装设至少一该进气岐管，另一侧装设至少一该排气岐管，至少一该进气岐管外周贯设复数个进气孔，至少一该排气岐管外周贯设复数个排气孔，至少一该加热组件设置于该烘箱腔体内璧与至少一该进气岐管旁侧间，气体在至少一该进气岐管内，经由各该进气孔喷出，让至少一该加热组件以热对流方式对该处理腔室加热；及一气体再处理装置，该处理腔室内的气体流入该气体再处理装置，藉由该气体再处理装置处理该气体。
4.根据权利要求1或权利要求3所述的一种高温烘箱的温度调整设备，其中至少一该加热组件为加热套、加热板、加热丝或加热棒。
5.根据权利要求1、2或权利要求3所述的一种高温烘箱的温度调整设备，更包含一气体输送单元，该气体输送单元包含一气体输入管路、一气体排出管路及一气体...
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