【技术实现步骤摘要】
一种电子行业含氟废水深度处理及回用系统和工艺
本专利技术涉及的是一种电子行业含氟废水深度处理的技术,具体涉及一种电子行业含氟废水深度处理及回用系统和工艺,属于水处理
技术介绍
电子行业(如半导体、面板、光伏等)产品生产过程由于酸洗作业和湿法刻蚀工序等使用氢氟酸、氟化铵等物料,进而会产生含有氟离子的废水。这类含氟废水通常为工艺第二道、第三道清洗水,具有水量大、杂质较少、进水呈酸性(pH约为1~3)等特点。现有技术常采用加钙化混沉淀、投加除氟剂等方式去除水中氟离子。其中,加钙化混工艺只能将水中的F去除到10~20mg/L左右,无法满足现有排放标准,且存在加药量大、污泥产量高、水中残留的钙离子结垢对后续工艺造成损害等问题;投加除氟剂工艺是指向一级加钙化混出水中投加除氟剂,除氟剂中的铝、铁等有效成分与氟离子一起形成污泥沉淀下来,可使水中F降至3或者1mg/L以下,满足现有排放要求,但除氟剂由于成本较高,投加量大,一般常应用于水量较小的项目。中国专利CN201010525143.6《光伏废水除氟方法》 ...
【技术保护点】
1.一种电子行业含氟废水深度处理及回用工艺,其特征在于,包括以下工艺步骤:/n第一步:含氟废水调节系统:含氟废水经泵提升至含氟废水调节池均匀水质水量,调节pH为7~8;/n第二步:反渗透过滤系统:含氟废水调节池出水依次经过多介质过滤器、活性炭过滤器和软化装置,去除水中悬浮物质、部分有机物以及钙镁硬度,然后经软化装置处理后的硬度小于1mg/L的含氟废水,调节pH后进入RO系统,RO系统回收率>70%,RO系统渗透出水返回前端纯水系统进行回用,反渗透浓水进入高浓度含氟废水一级化混系统;/n第三步:高浓度含氟废水一级化混系统:反渗透浓水为经浓缩后的高浓度含氟废水,调节pH为7~9 ...
【技术特征摘要】
1.一种电子行业含氟废水深度处理及回用工艺,其特征在于,包括以下工艺步骤:
第一步:含氟废水调节系统:含氟废水经泵提升至含氟废水调节池均匀水质水量,调节pH为7~8;
第二步:反渗透过滤系统:含氟废水调节池出水依次经过多介质过滤器、活性炭过滤器和软化装置,去除水中悬浮物质、部分有机物以及钙镁硬度,然后经软化装置处理后的硬度小于1mg/L的含氟废水,调节pH后进入RO系统,RO系统回收率>70%,RO系统渗透出水返回前端纯水系统进行回用,反渗透浓水进入高浓度含氟废水一级化混系统;
第三步:高浓度含氟废水一级化混系统:反渗透浓水为经浓缩后的高浓度含氟废水,调节pH为7~9后,投加单一类型的除氟剂,充分反应20~30min,与废水中的氟离子形成氟化钙沉淀,加入聚丙烯酰胺反应0.25h,絮凝沉淀2~3h后出水,水中氟浓度15~20mg/L,进入高浓度含氟废水二级深度除氟系统;
第四步:高浓度含氟废水二级深度除氟系统:投加复合型深度除氟剂,反应时间0.5h,调节出水pH为6~7,加入聚丙烯酰胺反应0.25h,絮凝沉淀2~3h后出水进入除氟树脂系统,此时废水中氟浓度为3~6mg/L;
第五步:除氟树脂系统:高浓度含氟废水二级深度除氟系统出水进入多介质过滤器,去除水中胶体和悬浮物质,过滤出水进入除氟树脂塔深度处理,利用树脂的含铝基团吸附水中氟离子,树脂出水稳定处理至1mg/L以下,树脂浓水回高浓度含氟废水一级化混系统继续处理。
2.如权利要求1所述的一种电子行业含氟废水深度处理及回用工艺,其特征在于,所述第二步的反渗透过滤系统中,所述多介质过滤器前设有pH调节单元、杀菌剂加药单元和混凝剂加药单元,含氟废水在流入多介质过滤器前,调节pH至中性,并投加混凝剂后,含氟废水流入多介质过滤器,随后经多介质过滤器过滤后的含氟废水再流入活性炭过滤器。
3.如权利要求1所述的一种电子行业含氟废水深度处理及回用工艺,其特征在于,所述第三步的高浓度含氟废水一级化混系统中,所述单一类型的除氟剂为质量浓度30%的氯化钙溶液或质量浓度10%的氢氧化钙溶液。
4.如权利要求3所述的一种电子行业含氟废水深度处理及回用工艺,其特征在于,所述氯化钙添加量为摩尔比Ca/F=0.6~0.65,聚丙烯酰胺浓度为3mg/L。
5.如权利要求1所述的一种电子行业含氟废水深度处理及回用工艺,其特征在于,所述第四步高浓度含氟废水二级深度除氟系统中,所述复合型深度除氟剂浓度为200~500mg/L,所述聚丙烯酰胺浓度为3mg/L。
6.如权利要求5所述的一种电子行业含氟废水深度处理及回用工艺,其特征在于,所述复合型深度除氟剂由聚合氯化铝、活性氧化铝、...
【专利技术属性】
技术研发人员:熊江磊,罗嘉豪,高亚光,周伟,曹海龙,
申请(专利权)人:江苏中电创新环境科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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