一种分体式局部洁净环境制造装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种分体式局部洁净环境制造装置，包括洁净送风模块和洁净空间模块，洁净送风模块包括洁净风箱、风机和过滤组件，洁净空间模块包括层流罩以及呈扁平结构的匀流箱，匀流箱通过风管与洁净风箱连通，匀流箱上均匀分布有匀流箱出风小孔，匀流箱中设置有挡风隔板。采用以上技术方案，洁净送风模块可放置在合适位置，远离作业现场，而位于作业现场的层流罩的重量和体积均得到大幅降低，既适用于在空间较狭窄的作业现场，也可调整其支架用于高空作业，设备的灵活性得到大幅度提升；并且，通过设置匀流箱，不仅保证了气流的均匀性，更保证了气流风速不致显著下降，能够更好地保持层流罩内部的洁净环境。

A separate local clean environment manufacturing device

【技术实现步骤摘要】
一种分体式局部洁净环境制造装置
本技术涉及洁净控制
，具体涉及一种分体式局部洁净环境制造装置。
技术介绍
随着高功率固体激光器的发展，科研人员意识到激光器内部污染物的存在严重影响激光器性能指标，因此对激光器的运行环境和元器件提出了相当高的洁净要求。为保证高功率固体激光器的整体运行性能，必须关注激光器建造和运行过程中的每一个细节，而元器件的现场安装和调试是激光器建造和运行过程中十分重要的一环。出于经济效益的考虑，在激光器元器件现场安装时，会为安装部位营造局部的洁净环境。现有的洁净环境制造装置均采用整体式结构，各级过滤器及风机均安装在层流罩内部，造成层流罩体积较大。然而，大型高功率固体激光器的工作现场环境复杂，安装空间不仅狭窄，而且不规则，有的作业位置甚至悬于半空，致使无法使用现有的洁净层流罩为指定的工作区域提供局部洁净环境。因此，亟待设计一种分体式局部洁净环境制造装置，以满足在复杂工作场所营造局部洁净环境的需要。
技术实现思路
为解决上述的技术问题，本技术提供了一种分体式局部洁净环境制造装置。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分体式局部洁净环境制造装置，其特征在于：包括洁净送风模块和洁净空间模块，所述洁净送风模块包括洁净风箱(1)以及设置在该洁净风箱(1)中的风机(3)和过滤组件，所述洁净空间模块包括层流罩(7)以及呈扁平结构的匀流箱(8)，所述匀流箱(8)的一侧箱壁上具有匀流箱进风口(8a)，并通过风管(6)与洁净风箱(1)的洁净风箱出风口(1b)连通，该匀流箱(8)的另一侧箱壁上均匀分布有用于向匀流箱(8)中送出均匀气流的匀流箱出风小孔(8b)，所述匀流箱(8)具有匀流箱进风口(8a)和匀流箱出风小孔(8b)的两侧箱壁相互正对，且间距小于匀流箱(8)其余任意相互正对的两侧箱壁，所述匀流箱(8)中设置有阻...

【技术特征摘要】
1.一种分体式局部洁净环境制造装置，其特征在于：包括洁净送风模块和洁净空间模块，所述洁净送风模块包括洁净风箱(1)以及设置在该洁净风箱(1)中的风机(3)和过滤组件，所述洁净空间模块包括层流罩(7)以及呈扁平结构的匀流箱(8)，所述匀流箱(8)的一侧箱壁上具有匀流箱进风口(8a)，并通过风管(6)与洁净风箱(1)的洁净风箱出风口(1b)连通，该匀流箱(8)的另一侧箱壁上均匀分布有用于向匀流箱(8)中送出均匀气流的匀流箱出风小孔(8b)，所述匀流箱(8)具有匀流箱进风口(8a)和匀流箱出风小孔(8b)的两侧箱壁相互正对，且间距小于匀流箱(8)其余任意相互正对的两侧箱壁，所述匀流箱(8)中设置有阻挡在匀流箱进风口(8a)与各个匀流箱出风小孔(8b)之间的挡风隔板(8c)。


2.根据权利要求1所述的一种分体式局部洁净环境制造装置，其特征在于：所述层流罩(7)和匀流箱(8)均为长方体结构，所述匀流箱(8)设置在层流罩(7)的其中一个侧壁上，且匀流箱(8)具有匀流箱进风口(8a)的一侧扁平面与层流罩(7)的该竖直平面齐平，具有匀流箱出风小孔(8b)的一侧扁平面位于层流罩(7)中。


3.根据权利要求2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：程晓锋，张惠鸽，朱成银，叶琳，秦朗，游丹，杨存榜，张涛，张可，周国瑞，王洪彬，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：新型
国别省市：四川;51