样品对准转轴轴线的调整方法技术

本发明专利技术公开了样品对准转轴轴线的调整方法，包括制作样品夹嘴、将带有样品的样品杆插入透射电镜等步骤。转轴自转时，通过调整样品对准转轴轴线，使样品的待观测区域始终在透射电镜观测视野内。

Adjustment method of sample alignment with axis of rotating shaft

【技术实现步骤摘要】
样品对准转轴轴线的调整方法
本专利技术涉及电子显微镜、透射电镜下使用的样品杆。
技术介绍
透射电子显微镜（TEM）可以看到在普通光学显微镜下无法看清的小于0.2μm的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超微结构。1932年Ruska专利技术了以电子束为光源的透射电子显微镜，目前TEM的分辨力可达0.2nm。原位观察技术在透射电子显微学研究中有着悠久的历史。通过在样品上施加各种物理作用，利用透射电子显微镜（透射电镜）来观察材料的微观结构和化学状态的变化，可以直观地研究材料或器件在实际使用过程中的性能表现，对于材料性能的研究有着重要的实际意义。透射电镜中的原位技术其难度在于不但要将物理作用准确地施加在样品上，同时还要满足一系列苛刻的条件，比如要维持电镜系统的超高真空度，保证样品台极高的稳定度，且不能干扰成像光路，整个结构必须紧凑以适用于透射电镜狭小的样品室等。因此，原位电镜技术的难点主要体现在原位样品杆的研究和制作上。瑞典K.Svensson等人在2003年发表的文章《Compactdesignofatransmissionelect本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.样品对准转轴轴线的调整方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1、制作样品夹嘴，将样品装夹在样品夹嘴内，再将样品夹嘴装入样品夹具；/nS2、将带有样品的样品杆插入透射电镜，找到样品的一个待观测区域，并选取样品的待观测区域的一个特征点；/nS3、使转轴自转到0°，记录样品特征点投影到电镜屏幕上的位置为D1；使转轴自转到180°，记录样品特征点投影到电镜屏幕上的位置为D2；/nS4、驱动纳米定位器，沿使用Y方向驱动，将样品特征点投影到电镜屏幕上的位置移动到D1和D2的中心位置Dz；/nS5、使转轴自转到90°，驱动纳米定位器，沿Z方向驱动将样品特征点投影到电镜屏幕上的位置移动到Dz；/nS6、使...

【技术特征摘要】
1.样品对准转轴轴线的调整方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、制作样品夹嘴，将样品装夹在样品夹嘴内，再将样品夹嘴装入样品夹具；
S2、将带有样品的样品杆插入透射电镜，找到样品的一个待观测区域，并选取样品的待观测区域的一个特征点；
S3、使转轴自转到0°，记录样品特征点投影到电镜屏幕上的位置为D1；使转轴自转到180°，记录样品特征点投影到电镜屏幕上的位置为D2；
S4、驱动纳米定位器，沿使用Y方向驱动，将样品特征点投影到电镜屏幕上的位置移动到D1和D2的中心位置Dz；
S5、使转轴自转到90°，驱动纳米定位器，沿Z方向驱动将样品特征点投影到电镜屏幕上的位置移动到Dz；
S6、使转轴自转到0°，驱动纳米定位器，沿Y方向驱动将样品特征点投影到电镜屏幕上的位置移动到Dz；
S7、重复S5-S6，直到来回旋转时样品特征点投影到电镜屏幕上的位置在电镜下的横向位置不变；
S8、增大透射电镜放大倍数，并重复S3-S7。


2.如权利要求1所述的样品夹嘴，其特征在于：样品夹嘴包括用于装载样品的夹紧部，以及连接部，夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宏涛，张奕志，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33