【技术实现步骤摘要】
MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表
本专利技术实施例涉及气体检测
，尤其涉及一种MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表。
技术介绍
随着物联网通讯技术的飞速发展，气体的测量和监控进入一个新的发展阶段。流量仪表正趋向于自动化、智能化、远程化和集成化。流量检测芯片是实现智能燃气流量仪表的核心部件。目前市面上的气体流量仪表的功能过于单一，大部分仪表只有气体流量测量功能，而且一般都采用机械式流量测量组件，因而很难实现多功能、高附加值的智能化流量测量和监控。近年来可燃性气体以及有毒气体爆燃事故频发，用户对安全方面的要求越来越高，安监部门对可燃气体以及有毒气体的安全使用和管理也愈加重视。但如果用户需要实现气体环境参数比如：管道气压、气体温度、气体湿度等实时监控，需要在流量仪表上加装各种探测仪表或将多种分离的传感器贴在同一或不同基板上。这种方式不仅成本高、体积大、功耗高，而且多种器件之间的干扰会影响仪表的测量精度和可靠性。因此，亟需一种实现气体环境参数实时监控的MEMS气体流量检测芯片。
【技术保护点】
1.一种MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，包括：/n基底；/n流量传感器以及至少一个环境参数传感器集成在所述基底的正面。/n
【技术特征摘要】
1.一种MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，包括：
基底；
流量传感器以及至少一个环境参数传感器集成在所述基底的正面。
2.根据权利要求1所述的MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，所述基底包括硅基材料或者玻璃基材料。
3.根据权利要求1所述的MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，至少一个所述环境参数传感器包括第一温度传感器、压力传感器、湿度传感器、气体浓度传感器以及加速度传感器中的一个或多个。
4.根据权利要求3所述的MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，所述基底的正面设置有至少一个第一凹槽；悬空结构，设置在所述第一凹槽之上。
5.根据权利要求4所述的MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，所述悬空结构覆盖至少部分所述基底除去所述第一凹槽的部分。
6.根据权利要求4所述的MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，所述悬空结构包括悬臂结构或者桥式结构，在气体流向的方向上，气体通过所述第一凹槽未被所述悬空结构覆盖的第一部分，进入所述第一凹槽，从所述第一凹槽未被所述悬空结构覆盖的第二部分穿出。
7.根据权利要求4所述的MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，所述流量传感器、湿度传感器、气体浓度传感器以及加速度传感器中的一个或多个，设置在所述悬空结构之上。...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖素艳，
申请(专利权)人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。