【技术实现步骤摘要】
一种密封件
本技术涉及光伏组件加工的
，具体涉及一种密封件。
技术介绍
目前，真空设备(例如PECVD设备和PVD设备等)的腔室内部通过设置冷却结构，从而对腔室进行冷却，该冷却结构通常采用将水冷管缠绕于腔室内，并通过密封接头与腔室外部相连接，在保证腔室的真空密封的同时，将冷却水引入真空腔室内的方式；现有技术中，通常采用密封接头与锁紧部件之间的螺纹配合的方式，将密封接头与腔室紧密连接，但是，当使用锁紧部件对密封接头进行锁紧时，由于密封接头的固定部横切面为圆形结构并且没有限位结构，故固定部会随着锁紧部件一起旋转，从而出现松动的情况，影响真空腔室的真空密封性，引起真空腔室漏气。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种密封件，从而缓解现有的密封接头在安装在腔室时，容易发生松动所带来的技术问题。(一)技术方案本技术提供了一种密封件，用于对腔室室壁的通孔进行密封，包括：密封接头和锁紧部件，所述密封接头包括：固定部和本体，所述固定部和所述本体为固定连接，所述密封接头插设于所述...
【技术保护点】
1.一种密封件，其特征在于，用于对腔室室壁(3)的通孔进行密封，包括：密封接头(1)和锁紧部件(2)，所述密封接头(1)包括：固定部(4)和本体(5)，所述固定部(4)和所述本体(5)为固定连接，所述密封接头(1)插设于所述腔室室壁(3)内，所述固定部(4)设置在所述腔室室壁(3)的一侧，所述本体(5)设置在所述腔室室壁(3)的另一侧，所述锁紧部件(2)设置在与所述固定部(4)相对的所述腔室室壁(3)的一侧，且所述锁紧部件(2)用于将密封接头(1)锁紧在腔室室壁(3)上，所述固定部(4)的横切面形状不是圆形，所述腔室室壁(3)靠近所述固定部(4)的一侧开设有与所述固定部(4...
【技术特征摘要】
1.一种密封件，其特征在于，用于对腔室室壁(3)的通孔进行密封，包括：密封接头(1)和锁紧部件(2)，所述密封接头(1)包括：固定部(4)和本体(5)，所述固定部(4)和所述本体(5)为固定连接，所述密封接头(1)插设于所述腔室室壁(3)内，所述固定部(4)设置在所述腔室室壁(3)的一侧，所述本体(5)设置在所述腔室室壁(3)的另一侧，所述锁紧部件(2)设置在与所述固定部(4)相对的所述腔室室壁(3)的一侧，且所述锁紧部件(2)用于将密封接头(1)锁紧在腔室室壁(3)上，所述固定部(4)的横切面形状不是圆形，所述腔室室壁(3)靠近所述固定部(4)的一侧开设有与所述固定部(4)配合的限位槽(6)，所述固定部(4)设置在所述限位槽(6)内。
2.根据权利要求1所述的一种密封件，其特征在于，所述固定部(4)设置为正方形或椭圆形。
3.根据权利要求1所述的一种密封件，其特征在于，所述限位槽(6)的形状与所述固定部(4)的形状相适配。
4.根据权利要求1所述的一种密封件，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨娜，曹京星，朱建华，
申请(专利权)人：君泰创新北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。