炉体运输辅助装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种炉体运输辅助装置，用于半导体立式炉设备的运输，包括：弹性充气内胆和内胆底座，弹性充气内胆固定在所述内胆底座上，且所述弹性充气内胆具有能够容纳气体的密闭空腔以及与密闭空腔连通的充气管和排气管，弹性充气内胆在充气状态下能够形成与炉体的炉膛内壁相配合的形状以填充炉膛。通过内胆底座对炉体形成刚性支撑，通过弹性充气内胆能够在炉体径向上对炉体形成支撑，通过防震垫能够在纵向对炉体起到减震作用，有效提高了炉体运输过程中保温隔热层的安全性和平稳性。

Auxiliary device for furnace transportation

【技术实现步骤摘要】
炉体运输辅助装置
本专利技术涉及半导体晶圆热处理设备
，更具体地，涉及一种炉体运输辅助装置。
技术介绍
晶圆的热处理工艺是其制造过程中一个非常重要的环节，常规的热处理工艺包括氧化、退火和LPCVD(低压化学气相沉积)等。炉体是立式炉设备的重要部件，炉体为晶圆的热处理提供所需的高温温度场，炉体本身能够承受几百到上千度的高温，但是炉体周边的其他设备无法承受这种高温，所以炉体一般设有保温隔热层。目前，主流的炉体保温隔热材料为硅酸铝耐火纤维保温块，这种材料保温隔热效果好，但是性脆，易破碎。运输过程中的振动会使保温隔热层的材料掉渣破碎，严重时会使炉体炉膛内的炉丝位移，使整个炉体报废。现有的保护手段是在炉体的炉膛内填充泡沫以保护保温隔热层，但由于是只能从炉口向上填充，炉膛内部最上端得空间无法得到有效填充，导致炉膛顶部的保温隔热材料无法得到保护，另外，泡沫的质地较软，在炉体遇到较剧烈震动时，保护效果有限。因此，需要一种稳定可靠的炉体运输辅助装置，实现保温隔热层的固定，以确保炉体能够安全的运输。
技术实现思路
本专利技术的目的是提出一种炉体运输辅助装置，实现对炉体炉膛内保温隔热层的固定，避免在运输过程中保温隔热层材料的破损。为实现上述目的，本专利技术提出了一种炉体运输辅助装置，用于半导体立式炉设备的运输，包括：弹性充气内胆和内胆底座；所述弹性充气内胆固定在所述内胆底座上，且所述弹性充气内胆具有能够容纳气体的密闭空腔以及与所述密闭空腔连通的充气管和排气管，所述弹性充气内胆在充气状态下能够形成与所述炉体的炉膛内壁相配合的形状以填充所述炉膛。可选地，所述弹性充气内胆为双层结构，所述弹性充气内胆的内层与外层之间形成所述密闭空腔，所述弹性充气内胆的内层与外层之间通过丝网连接。可选地，所述弹性充气内胆的顶端设有顶部支撑结构，在充气状态下，所述顶部支撑结构形成向上突起的圆顶。可选地，所述进气管设于所述弹性充气内胆外壁靠近所述内胆底座的一端，所述进气管设有单向进气阀。可选地，所述出气管设于所述弹性充气内胆外壁靠近所述内胆底座的一端，所述出气管设有通断阀门。可选地，还包括防震垫，所述防震垫设置于所述弹性充气内胆与所述内胆底座之间。可选地，还包括多个调节件，所述防震垫上设有多个通孔，待运输的炉体的底座设置有多个螺纹孔，各所述调节件与各所述通孔一一对应，且各所述调节件与各所述螺纹孔一一对应，所述调节件依次穿过对应的所述螺纹孔和所述通孔与所述内胆底座接触，所述调节件用于调节待运输的所述炉体高度。可选地，所述调节件包括手轮和螺栓，所述螺栓的一端与所述手轮垂直连接，所述螺栓的另一端通过滚珠与所述内胆底座接触。可选地，所述弹性充气内胆和所述防震垫的材质均为氯丁橡胶。可选地，所述内胆底座的材质为不锈钢。本专利技术的有益效果在于：通过设置内胆底座能够对炉体形成刚性支撑，利用弹性充气内胆的弹性，在充气状态下填充整个炉膛内壁，并能够给炉膛内壁一定压力，使设于炉膛内的保温材料和炉丝得到固定和保护，同时弹性充气内胆还能够对炉膛起到一定的减震作用，有效防止炉体运输过程中颠簸或剧烈震动造成的保温隔热材料的损坏。本专利技术的装置具有其它的特性和优点，这些特性和优点从并入本文中的附图和随后的具体实施方式中将是显而易见的，或者将在并入本文中的附图和随后的具体实施方式中进行详细陈述，这些附图和具体实施方式共同用于解释本专利技术的特定原理。附图说明通过结合附图对本专利技术示例性实施例进行更详细的描述，本专利技术的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显，在本专利技术示例性实施例中，相同的参考标号通常代表相同部件。图1示出了根据本专利技术的一个实施例的一种炉体运输辅助装置的主视图。图2示出了根据本专利技术的一个实施例的一种炉体运输辅助装置的俯视图。图3示出了根据本专利技术的一个实施例的一种炉体运输辅助装置的正视图。图4示出了根据本专利技术的一个实施例的一种炉体运输辅助装置的防震垫示意图。图5示出了根据本专利技术的一个实施例的一种炉体运输辅助装置的主视图。图6示出了根据本专利技术的另一个实施例的一种炉体运输辅助装置的防震垫示意图。图7示出了根据本专利技术的另一个实施例的一种炉体运输辅助装置的调节件示意图。图8示出了根据本专利技术的另一个实施例的一种炉体运输辅助装置与炉体配合过程的示意图。附图标记说明：1、弹性充气内胆；2、防震垫；3、调节件；4、内胆底座；5、炉体；11、内层；12、外层；13、圆顶；14、进气管；15、出气管；16、内胆腔；17、单向进气阀；18、通断阀门；21、通孔；31、手轮；32、螺栓；33、滚珠。具体实施方式现有立式炉的炉体炉膛内壁设有加热用炉丝，炉丝与炉膛内壁之间设置有保温隔热层，保温隔热材料层的材质(硅酸铝耐火纤维保温块)易破碎，运输过程中的振动会使保温隔热层的材料掉渣破碎，严重时会使炉体炉膛内的炉丝位移，使整个炉体报废。为解决上述问题，本专利技术提出了一种炉体运输装置，能够有效防止炉体运输过程中颠簸或剧烈震动造成的保温隔热材料的损坏。下面将参照附图更详细地描述本专利技术。虽然附图中显示了本专利技术的优选实施例，然而应该理解，可以以各种形式实现本专利技术而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了使本专利技术更加透彻和完整，并且能够将本专利技术的范围完整地传达给本领域的技术人员。图1示出了根据本专利技术的一个实施例的一种炉体运输辅助装置的主视图，如图1所示，一种炉体运输辅助装置，包括：从上至下依次连接的弹性充气内胆1、防震垫2和内胆底座4，弹性充气内胆1具有能够容纳气体的密闭空腔以及与密闭空腔连通的充气管和排气管，弹性充气内胆1在充气状态下能够形成与炉体5的炉膛内壁相配合的形状以填充炉膛。具体地，通过弹性充气内胆1在充气状态下填充整个炉膛内壁，且给炉膛内壁一定压力，使炉膛内的保温隔热材料层和炉丝得到固定，在炉体5运输过程中，弹性充气内胆1能够在炉体径向上对炉体5形成支撑，内胆底座4能够对炉体5在竖直方向上形成刚性支撑，有效避免炉体5运输过程中由于震动造成保温隔热材料和炉丝的损坏。在运输炉体5之前，通过进气管14对弹性充气内胆1充气填充整个炉膛内壁，在运输完成时通过出气管15排出气体使弹性充气内胆1塌陷，然后将炉体5与弹性充气内胆1分离。本实施例中，弹性充气内胆1为双层结构，弹性充气内胆1的内层11与外层12之间形成密闭空腔，弹性充气内胆1的内层11与外层12之间通过丝网连接。具体地，参考图2，弹性充气内胆1为双层结构，进气管14和出气管15均设于外层12外壁上，内层11与外层12之间通过丝网(未示出)连接，气体(空气)充入内层11与外层12之间形成的密闭空腔后，充气过程中外层12膨胀变形并通过丝网拉扯内层11同时变形。本实施例中的双层结构的弹性充气内胆1由高强度弹性材料氯丁橡胶制成，内层11和外层12之间的丝网由尼龙丝线或尼龙布带制成，能够对炉膛内的保温隔热层形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种炉体运输辅助装置，用于半导体立式炉设备的运输，其特征在于，包括：弹性充气内胆和内胆底座；所述弹性充气内胆固定在所述内胆底座上，且所述弹性充气内胆具有能够容纳气体的密闭空腔以及与所述密闭空腔连通的充气管和排气管，所述弹性充气内胆在充气状态下能够形成与所述炉体的炉膛内壁相配合的形状以填充所述炉膛。/n

【技术特征摘要】
1.一种炉体运输辅助装置，用于半导体立式炉设备的运输，其特征在于，包括：弹性充气内胆和内胆底座；所述弹性充气内胆固定在所述内胆底座上，且所述弹性充气内胆具有能够容纳气体的密闭空腔以及与所述密闭空腔连通的充气管和排气管，所述弹性充气内胆在充气状态下能够形成与所述炉体的炉膛内壁相配合的形状以填充所述炉膛。


2.根据权利要求1所述的炉体运输辅助装置，其特征在于，所述弹性充气内胆为双层结构，所述弹性充气内胆的内层与外层之间形成所述密闭空腔，所述弹性充气内胆的内层与外层之间通过丝网连接。


3.根据权利要求2所述的炉体运输辅助装置，其特征在于，所述弹性充气内胆的顶端设有顶部支撑结构，在充气状态下，所述顶部支撑结构形成向上突起的圆顶。


4.根据权利要求1所述的炉体运输辅助装置，其特征在于，所述进气管设于所述弹性充气内胆外壁靠近所述内胆底座的一端，所述进气管设有单向进气阀。


5.根据权利要求1所述的炉体运输辅助装置，其特征在于，所述出气管设于所述弹性充气内胆外壁靠...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵宏图，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11