【技术实现步骤摘要】
一种基于微纳光纤的微流控芯片流速传感器
本专利技术涉及一种微流控芯片的流速测量装置,属于光纤传感领域。
技术介绍
在过去的几十年中,在流体物理学、微反应器、生物激光技术等领域中,微流控技术已经成为了相关科学研究的重要平台。在上述领域的研究中,通常需要对微流进行精确的测量与控制,这使得人们对高精度、多功能的微流控芯片流速传感器的需求越来越高。目前,多采用结构复杂、集成度高的微流控芯片流速传感器以实现对微流的高灵敏探测,但是复杂结构的加工需要精密的仪器,增加了芯片的成本;同时复杂结构也会污染样品,干扰微流。因此,如何实现结构简单的高精度微流控芯片流速传感器,成为了最近的研究热点。目前使用的微流控芯片流速传感器一般通过检测热传递、悬臂梁的形变或流体对管壁的压力来实现对流速变化的传感。热传递法通过在通道内相隔一段距离放置热源和热传感器,二者之间热传递的速度与流速有关,通过检测传感点的温度便可以获得此时通道内的流速。热传递法测量流速可以实现高灵敏度的温度传感,但是在测量中需要较长的时间达到热平衡,响应时间较长。使用悬臂梁的流速 ...
【技术保护点】
1.一种基于微纳光纤的微流控芯片流速传感器,其特征是:包括微流控芯片、微纳光纤和柔性薄膜,柔性薄膜的厚度小于等于100μm,所述柔性薄膜的折射率小于微纳光纤的折射率;柔性薄膜包覆微流控芯片的流体通道,并且柔性薄膜在流体通道的入口和出口处分别设有开口,流体通道的待测位置处有微纳光纤的拉伸部分横跨流体通道,微纳光纤的拉伸部分、拉锥过渡区以及两端未拉伸部分的局部包埋于柔性薄膜内。/n
【技术特征摘要】
1.一种基于微纳光纤的微流控芯片流速传感器,其特征是:包括微流控芯片、微纳光纤和柔性薄膜,柔性薄膜的厚度小于等于100μm,所述柔性薄膜的折射率小于微纳光纤的折射率;柔性薄膜包覆微流控芯片的流体通道,并且柔性薄膜在流体通道的入口和出口处分别设有开口,流体通道的待测位置处有...
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