微波传输盒型窗制造技术

本实用新型专利技术涉及等离子体加热技术领域，提供了一种微波传输盒型窗。该微波传输盒型窗包括矩形输入波导、矩形输出波导、圆形波导和介质窗片，所述圆形波导设置在所述矩形输入波导和所述矩形输出波导之间，所述介质窗片沿着所述圆形波导的径向方向设置在所述圆形波导的内部，所述圆形波导的外周与所述介质窗片相对应的位置设有可供冷却水流通的冷却水通道。本申请，在圆形波导的外周设有冷却水通道，微波传输过程中，通过冷却水持续为介质窗片降温，将介质窗片的温升幅度控制在一定范围内，避免出现介质窗片温度过高导致窗片破损的现象，影响微波传输系统的正常使用。

Microwave transmission box window

【技术实现步骤摘要】
微波传输盒型窗
本技术涉及等离子体加热
，具体涉及一种微波传输盒型窗。
技术介绍
在微波传输过程中，为了保证等离子体所在腔体的真空度，需要在微波传输线与等离子体所在腔体中间连接一个微波密封窗。通过设置微波密封窗一方面保证微波顺利传输至真空腔体，另一方面能够保证腔体的真空度，从而实现微波加热腔体内的等离子体在真空状态下与微波耦合。盒型窗作为微波密封窗的一种，因其宽带较宽，功率容量大，加工工艺成熟，在微波传输及密封领域得到了广泛的应用。现有微波传输系统中的盒型窗的窗体的两端分别与真空侧和非真空侧的连接件密封连接，确保微波在真空中传播。盒型窗内含一片介质窗片，介质窗片本身在微波能量流过时有损耗，而且介质窗片在真空一侧的内表面容易吸附游离碳元素，后者在高平均功率微波作用下损耗较大并产生热量。导致介质窗片的温度升高，热应力增大，有时表现为介质窗片与金属的密封处漏气，更多情况下表现为介质窗片沿微波场强最强方向炸裂。由此可见，现有技术的盒型窗还存在微波传输过程中介质窗片的温度升高导致微波传输系统无法正常使用的技术问题。技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微波传输盒型窗，其特征在于，包括矩形输入波导、矩形输出波导、圆形波导和介质窗片，所述圆形波导设置在所述矩形输入波导和所述矩形输出波导之间，所述介质窗片沿着所述圆形波导的径向方向设置在所述圆形波导的内部，所述圆形波导的外周与所述介质窗片相对应的位置设有可供冷却水流通的冷却水通道。/n

【技术特征摘要】
1.一种微波传输盒型窗，其特征在于，包括矩形输入波导、矩形输出波导、圆形波导和介质窗片，所述圆形波导设置在所述矩形输入波导和所述矩形输出波导之间，所述介质窗片沿着所述圆形波导的径向方向设置在所述圆形波导的内部，所述圆形波导的外周与所述介质窗片相对应的位置设有可供冷却水流通的冷却水通道。


2.根据权利要求1所述的微波传输盒型窗，其特征在于，所述圆形波导的外周设有环形板，所述环形板的内壁上设有环形开槽，所述环形板与所述圆形波导围成所述冷却水通道。


3.根据权利要求2所述的微波传输盒型窗，其特征在于，所述环形板上设有与所述冷却水通道连通的冷却水入口和冷却水出口，所述冷却水入口和所述冷却水出口沿着所述圆形波导的轴线对称设置。


4.根据权利要求1所述的微波传输盒型窗，其特征在于，所述圆形波导包括与所述矩形输入波导连接的第一圆形波导和与所述矩形输出波导连接的第二圆形波导，所述介质窗片设置在所述第一圆形波导和所述第二圆形波导...

【专利技术属性】
技术研发人员：李鹏敏，宋绍栋，马放，刘敏胜，
申请(专利权)人：新奥科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13