高频窗及其制造方法技术

本发明专利技术的目的是校正由于组件尺寸精度、组装精度或介电常数的变化等所导致的与设计值的误差，并且维持设计值。一种RF窗被提供具有：圆形波导，其包括圆形管道部分和侧壁部分，圆形管道部分具有圆形导管，圆形导管具有圆形横截面，侧壁部分连接到圆形管道部分在轴向方向上的两侧；第一矩形波导，其包括具有矩形横截面的第一矩形导管，并且其连接到侧壁部分之一，以使得第一矩形导管与圆形导管连通；第二矩形波导，其包括具有矩形横截面的第二矩形导管，并且其连接到侧壁部分中的另一侧壁部分，以使得第二矩形导管与圆形导管连通；以及电介质板，其被配置为板形状，被设置在圆形导管中，并且密封地被保持在圆形管道部分中。圆形波导包括塑性可变形部分，塑性可变形部分塑性地可变形，以使得至少圆形波导在轴向方向上的长度可以被改变。

High frequency window and its manufacturing method

The purpose of the invention is to correct the error with the design value caused by the change of component size accuracy, assembly accuracy or dielectric constant, and maintain the design value. An RF window is provided with: a circular waveguide, which comprises a circular pipe part and a side wall part, a circular pipe part having a circular conduit, a circular conduit having a circular cross section, and a side wall part being connected to both sides of the circular pipe part in an axial direction; a first rectangular waveguide, which comprises a first rectangular conduit having a rectangular cross section, and is connected to one of the side wall parts, The second rectangular waveguide includes a second rectangular waveguide having a rectangular cross-section, and is connected to the other side wall part in the side wall part, so that the second rectangular conduit is connected with the circular conduit; and the dielectric plate, which is configured as a plate shape, is arranged in the circular conduit, and is sealed and kept in the circular conduit In the Tao part. The circular waveguide includes a plastic deformable part which is plastic deformable so that at least the length of the circular waveguide in the axial direction can be changed.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】高频窗及其制造方法
(相关申请的描述)本申请基于对日本专利申请No.2017-059345(2017年3月24日提交)的优先权的要求，该申请的全部内容应当通过对其的引用而在本文件中被并入和陈述。本专利技术涉及高频窗及其制造方法。
技术介绍
高频窗被提供在用于微波管(诸如行波管或速调管)的信号(电磁波)的输入输出段。高频窗用于执行电磁波的输入和输出，同时保持微波管的内部(例如，真空)对外部(例如，大气压或充气的外部)是气密的。作为高频窗，主要存在同轴型高频窗和药盒型高频窗。药盒型高频窗一般具有按以下顺序的布置：矩形波导(方波导)、圆形波导(圆柱形波导)、盘形电介质(圆形电介质)、圆形波导、以及矩形波导(例如，参见专利文献1)。圆形电介质经由金属化层从圆形电介质的轴向方向上的两侧被插入在2个圆形波导之间，或者经由圆形电介质的外周面处的金属化层由圆形波导的内周面来支撑。因此，圆形电介质和圆形波导的接合部分的气密性被保持。药盒型高频窗具有不同阻抗的多个级被接合的配置，并且由于带宽(范围)由多次反射来提供，所以期望的带宽(谐振频率、S11)通过调节相应组件的尺寸和介电常数来获得。[引文列表][专利文献][PTL1]日本专利公开No.JP2007-287382A[PTL2]日本专利公开No.JP-H02-30608U
技术实现思路
[技术问题]以下分析由本专利技术的专利技术人给出。因为药盒型高频窗的带宽(谐振频率、S11)由相应组件的尺寸和介电常数决定，所以由于组件尺寸精度、组装精度或介电常数的变化等，而容易出现与设计值(带宽的设计值)的差异。此外，因为当组件尺寸近似为波长时(当组件尺寸很小时)，药盒型高频窗的带宽变宽，所以在具有短波长的高频率处组件尺寸变小。因此，在高频率处，即使是对于组件尺寸上的小差异，与设计值的差异也变大。为了灵活地响应于与设计值的差异，可取的是使校正成为可能以便具有设计值。为了使校正成为可能以便具有设计值，可以考虑使用专利文献2中公开的柔性波导，以替代药盒型高频窗的圆形波导。专利文献2中描述的柔性波导具有这样的结构：在该结构中，通过利用柔性真空波纹管进一步覆盖柔性波导的外周，外力不施加到波导本身，并且当波导的内部被使得为真空时原始形状被保持。然而，通过仅将如专利文献2中的波纹管结构的波导应用到药盒型高频窗的圆形波导，期望的带宽未被获得。本专利技术的主要目的是提供一种高频窗及其制造方法，其中即使由于组件尺寸精度、组装精度或介电常数的变化等而出现与设计值的差异，也有可能进行校正和维护以便具有设计值。[问题的解决方案]根据第一方面的高频窗包括：圆形波导，其具有圆柱形段和侧壁段，圆柱形段具有圆形管道导管，圆形管道导管具有圆形形状的横截面，侧壁段接合到圆柱形段在轴向方向上的两侧；第一矩形波导，其具有第一矩形管道导管，第一矩形管道导管具有矩形形状的横截面，并且第一矩形波导接合到侧壁段之一，以使得第一矩形管道导管与圆形管道导管连通；第二矩形波导，其具有第二矩形管道导管，第二矩形管道导管具有矩形形状的横截面，并且第二矩形波导接合到侧壁段中的另一侧壁段，以使得第二矩形管道导管与圆形管道导管连通；以及电介质板，其被配置为板形状，被设置在圆形管道导管中，并且气密地被保持到圆柱形段，其中圆形波导具有塑性可变形段，塑性可变形段塑性地可变形，以使得至少圆形波导在轴向方向上的长度可以被改变。根据第二方面的用于高频窗的制造方法，其中圆形波导接合在第一矩形波导与第二矩形波导之间，并且圆形波导中的电介质板被保持以分离第一矩形波导侧的空间和第二矩形波导侧的空间，高频窗具有塑性可变形段，塑性可变形段在圆形波导中允许圆形波导在至少轴向方向上的塑性变形，该方法包括：调节圆形波导在轴向方向上的长度，以使得在第一矩形波导侧的空间和第二矩形波导侧的空间均具有规定压力的情况下，当规定频率的电磁波从第二矩形波导传输到第一矩形波导时，S11的值最小，其中当圆形波导在轴向方向上的长度被调节时，塑性可变形段塑性地被变形。[专利技术的有利效果]根据第一方面，即使由于组件尺寸精度、组装精度或介电常数的变化等而出现与设计值的差异，也有可能进行校正和维护以便具有设计值。附图说明图1是沿着轴向方向的横截面，其示意性地示出了根据第一示例实施例的高频窗的配置。图2A是穿过图1的X-X’的横截面，图2B是穿过图1的Y-Y’的横截面，并且图2C是穿过图1的Z-Z’的横截面，它们示意性地示出了根据第一示例实施例的高频窗的配置。图3A是示意性地示出了用于电磁场分析的配置的透视图，并且图3B是示出了根据示例1的高频窗的S11和移位量S和频率之间的关系的曲线图。图4A是示意性地示出了用于电磁场分析的配置的透视图，并且图4B是示出了根据示例2的高频窗的S11和移位量S和频率之间的关系的曲线图。图5是沿着轴向方向的横截面，其示意性地示出了根据第二示例实施例的高频窗的配置。图6A是穿过图5的X-X’的横截面，图6B是穿过图5的Y-Y’的横截面，并且图6C是穿过图5的Z-Z’的横截面，它们示意性地示出了根据第二示例实施例的高频窗的配置。图7A是示意性地示出了用于电磁场分析的配置的透视图，并且图7B是示出了根据示例3的高频窗的S11和移位量S和频率之间的关系的曲线图。图8A是示意性地示出了用于电磁场分析的配置的透视图，并且图8B是示出了根据示例4的高频窗的S11和移位量S和频率之间的关系的曲线图。图9是沿着轴向方向的横截面，其示意性地示出了根据第三示例实施例的高频窗的配置。图10是沿着轴向方向的横截面，其示意性地示出了根据第四示例实施例的高频窗的配置。图11是沿着轴向方向的横截面，其示意性地示出了根据第五示例实施例的高频窗的配置。图12A是穿过图11的X-X’的横截面，图12B是穿过图11的Y-Y’的横截面，并且图12C是穿过图11的Z-Z’的横截面，它们示意性地示出了根据第五示例实施例的高频窗的配置。具体实施方式在后文中，将参考附图来解释示例性实施例。当对附图的参考标号被附加在本申请中时，它们仅旨在帮助理解并且不旨在限于所图示的(多种)模式。以下实施例仅是示例，并且它们不旨在限制本专利技术。<第一示例实施例>将参考附图来解释根据第一示例实施例的高频窗。图1是沿着轴向方向的横截面，其示意性地示出了根据第一示例实施例的高频窗的配置。图2A是穿过图1的X-X’的横截面，图2B是穿过图1的Y-Y’的横截面，并且图2C是穿过图1的Z-Z’的横截面，它们示意性地示出了根据第一示例实施例的高频窗的配置。高频窗100是一种装置，其用于执行信号(电磁波)的输入和输出，同时维持微波管的内部(例如，真空)对外部(例如，大气压或充气的外部)的气密性。高频窗100也称为RF(射频)窗和药盒型高频窗。高频窗100被提供在真空管装置的输入输出段处。高频窗100具有这样本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高频窗，包括：/n圆形波导，所述圆形波导具有圆柱形段和侧壁段，所述圆柱形段具有圆形管道导管，所述圆形管道导管具有圆形形状的横截面，所述侧壁段被接合到所述圆柱形段在轴向方向上的两侧；/n第一矩形波导，所述第一矩形波导具有第一矩形管道导管，所述第一矩形管道导管具有矩形形状的横截面，并且所述第一矩形波导被接合到所述侧壁段中的一个侧壁段，以使得所述第一矩形管道导管与所述圆形管道导管连通；/n第二矩形波导，所述第二矩形波导具有第二矩形管道导管，所述第二矩形管道导管具有矩形形状的横截面，并且所述第二矩形波导被接合到所述侧壁段中的另一侧壁段，以使得所述第二矩形管道导管与所述圆形管道导管连通；以及/n电介质板，所述电介质板被配置为板形状，被设置在所述圆形管道导管中，并且气密地被保持到所述圆柱形段；其中/n所述圆形波导具有塑性可变形段，所述塑性可变形段塑性地可变形，以使得至少所述圆形波导在轴向方向上的长度能够被改变。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170324 JP 2017-0593451.一种高频窗，包括：
圆形波导，所述圆形波导具有圆柱形段和侧壁段，所述圆柱形段具有圆形管道导管，所述圆形管道导管具有圆形形状的横截面，所述侧壁段被接合到所述圆柱形段在轴向方向上的两侧；
第一矩形波导，所述第一矩形波导具有第一矩形管道导管，所述第一矩形管道导管具有矩形形状的横截面，并且所述第一矩形波导被接合到所述侧壁段中的一个侧壁段，以使得所述第一矩形管道导管与所述圆形管道导管连通；
第二矩形波导，所述第二矩形波导具有第二矩形管道导管，所述第二矩形管道导管具有矩形形状的横截面，并且所述第二矩形波导被接合到所述侧壁段中的另一侧壁段，以使得所述第二矩形管道导管与所述圆形管道导管连通；以及
电介质板，所述电介质板被配置为板形状，被设置在所述圆形管道导管中，并且气密地被保持到所述圆柱形段；其中
所述圆形波导具有塑性可变形段，所述塑性可变形段塑性地可变形，以使得至少所述圆形波导在轴向方向上的长度能够被改变。


2.根据权利要求1所述的高频窗，其中所述塑性可变形段被配置为：即使在所述圆形波导的内部与外部之间出现压力差，也维持所述圆形波导在所述轴向方向上的所述长度。


3.根据权利要求1或2所述的高频窗，其中所述塑性可变形段是膜片，所述膜片在所述圆柱形段的至少一部分中的整个周边上的范围中、在所述圆形波导的径向方向上向外侧突出。


4.根据权利要求3所述的高频窗，其中所述膜片被布置在所述圆柱形段中在所述圆柱形段和所述侧壁段的接合部分附近。


5.根据权利要求1或2所述的高频窗，其中所述塑性可变形段是膜片，所述膜片在所述侧壁段中的一个或两者的至少一部分中的整个周边上的范围中、向所述圆形波导的轴向外侧突出。


6.根据权利要求5所述的高频窗，其中所述膜片被布置在所述侧壁段中在所述侧壁段和所述圆柱形段的接合...

【专利技术属性】
技术研发人员：笠原明彦，中野隆，
申请(专利权)人：NEC网络传感器系统株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP